Vi beskriver här en metod för att fabricera Ti3C2 MXene microelectrode arrayer och utnyttja dem för in vivo neural inspelning.
Implanterbar mikroelektrod teknik har ofta använts för att belysa neural dynamik på mikroskala för att få en djupare förståelse av neurala underbyggnad av hjärnsjukdom och skada. Eftersom elektroder miniatyriseras till omfattningen av enskilda celler, begränsar en motsvarande ökning av gränssnittet impedans kvaliteten på inspelade signaler. Dessutom är konventionella elektrodmaterial styva, vilket resulterar i en betydande mekanisk obalans mellan elektroden och den omgivande hjärnvävnaden, vilket framkallar ett inflammatoriskt svar som så småningom leder till en nedbrytning av enhetens prestanda. För att ta itu med dessa utmaningar har vi utvecklat en process för att tillverka flexibla mikroelektroder baserade på Ti3C2 MXene, ett nyligen upptäckt nanomaterial som besitter anmärkningsvärt hög volymetrisk kapacitans, elektrisk ledningsförmåga, ytfunktionalitet och processbarhet i vattenspridningar. Flexibla matriser av Ti3C2 MXene mikroelektroder har anmärkningsvärt låg impedans på grund av den höga ledningsförmågan och hög specifik yta av Ti3C2 MXene filmer, och de har visat sig vara utsökt känsliga för inspelning neuronal aktivitet. I detta protokoll beskriver vi en ny metod för mikromönster Ti3C2 MXene i mikroelektrodarrayer på flexibla polymera substrat och beskriver deras användning för in vivo mikro-elektrokortikografiinspelning. Denna metod kan enkelt utvidgas för att skapa MXene elektrod arrayer av godtycklig storlek eller geometri för en rad andra tillämpningar inom bioelektronik och det kan också anpassas för användning med andra ledande bläck förutom Ti3C2 MXene. Detta protokoll möjliggör enkel och skalbar tillverkning av mikroelektroder från lösningsbaserade ledande bläck, och möjliggör specifikt utnyttjande av de unika egenskaperna hos hydrofila Ti3C2 MXene för att övervinna många av de hinder som länge har hindrat den utbredda antagandet av kolbaserade nanomaterial för högtrohet neurala mikroelektroder.
Förstå de grundläggande mekanismerna bakom neurala kretsar, och hur deras dynamik ändras i sjukdom eller skada, är ett kritiskt mål för att utveckla effektiva therapeutics för ett brett spektrum av neurologiska och neuromuskulära sjukdomar. Mikroelektrod teknik har använts ofta för att belysa neural dynamik på fina rumsliga och tidsmässiga skalor. Att få stabila inspelningar med hög signal-brusförhållande (SNR) från mikroskala elektroder har dock visat sig vara särskilt utmanande. Eftersom elektrodernas dimensioner reduceras för att närma sig cellulär skala, försämrar en motsvarande ökning av elektrodimpedanssignalkvalitet1. Dessutom har många studier visat att styva elektroder som består av konventionella kisel och metall elektroniska material producerar betydande skador och inflammation i nervvävnaden, vilket begränsar deras användbarhet för långsiktig inspelning2,3,4,5. Med tanke på dessa fakta har det funnits ett betydande intresse av att utveckla mikroelektroder med nya material som kan minska elektrodvävnadsgränssnittets impedans och kan införlivas i mjuka och flexibla formfaktorer.
En vanlig metod för att minska elektrodvävnadgränssnittsimpedansen ökar det område över vilket joniska arter i den extracellulära vätskan kan interagera med elektroden, eller elektrodens “effektiva yta”. Detta kan uppnås genom nanomönster6,ytga7, eller galvanisering med porösa tillsatser8,9. Nanomaterial har fått stor uppmärksamhet inom detta område eftersom de erbjuder i sig höga specifika ytor och unika kombinationer av gynnsamma elektriska och mekaniska egenskaper10. Till exempel har kolnanorör använts som beläggning för att avsevärt minska elektrodimpedans11,12,13,grafenoxid har bearbetats till mjuka, flexibla fristående sondelektroder14, och laser-pyrolyzed porösa grafen har använts för flexibla, låg-impedance mikro-elektrocorticography (mikro-ECoG) elektroder15. Trots deras löfte, en brist på skalbara monteringsmetoder har begränsat den utbredda antagandet av nanomaterial för neurala sammanflätade elektroder. Kolbaserade nanomaterial i synnerhet är vanligtvis hydrofoba, och kräver därmed användning av ytaktiva ämnen16, supersyror17, eller ytfunktionisering18 för att bilda vattenspridningför lösning-bearbetning tillverkningsmetoder, medan alternativa metoder för tillverkning, såsom kemisk ånga nedfall (CVD), vanligtvis kräver höga temperaturer som är oförenliga med många polymera substrat19,20,21 ,22.
Nyligen har en klass av tvådimensionella (2D) nanomaterial, känd som MXenes, beskrivits som erbjuder en exceptionell kombination av hög ledningsförmåga, flexibilitet, volymetrisk kapacitans, och inneboende hydrofilicitet, vilket gör dem till en lovande klass av nanomaterial för neurala sammanflätade elektroder23. MXenes är en familj av 2D övergång metall karbider och nitrider som oftast produceras genom selektivt etsning A-elementet från skiktade prekursorer. Dessa är vanligtvis MAX faser med den allmänna formeln Mn +1AXn, där M är en tidig övergång metall, A är en grupp 12−16 element av det periodiska systemet, X är kol och / eller kväve, och n = 1, 2 eller 324. Tvådimensionella MXene-flingor har ytavslutande funktionella grupper som kan inkludera hydroxyl (−OH), syre (−O) eller fluor (−F). Dessa funktionella grupper gör MXenes i sig hydrofila och möjliggör flexibel ytmodifiering eller funktionalisering. Av den stora klassen av MXenes har Ti3C2 varit den mest omfattande studerade och kännetecknade25,26,27. Ti3C2 visar anmärkningsvärt högre volymetrisk kondensatans (1 500 F/cm3)28 än aktiverad grafen (~60−100 F/cm3)29,karbida-härledda kol (180 F/cm3)30och grafengelfilmer (~260 F/cm3)31. Dessutom visar Ti3C2 extremt hög elektronisk ledningsförmåga (~10,000 S/cm)32, och dess biokompatibilitet har visats i flera studier33,34,35,36. Den höga volymetriska kapacitans en Ti3C2-filmer är fördelaktig för biologisk avsenande och stimuleringstillämpningar, eftersom elektroder som uppvisar kapacitiv laddningsöverföring kan undvika potentiellt skadliga hydrolysera reaktioner.
Vår grupp har nyligen visat flexibla, tunnfilm Ti3C2 mikroelektrod arrayer, beredd med hjälp av lösningbearbetningsmetoder, som kan registrera både mikro-elektrokortikografi (mikro-ECoG) och intrakortikal neuronal spiking aktivitet in vivo med hög SNR36. Dessa MXene elektroder visade signifikant minskad impedans jämfört med storlek-matchade guld (Au) elektroder, som kan hänföras till den höga ledningsförmågan hos MXene och den höga ytan av elektroderna. I detta protokoll beskriver vi de viktigaste stegen för att tillverka planar microelectrode arrayer av Ti3C2 MXene på flexibla parylen-C substrat och utnyttja dem in vivo för intraoperativ mikro-ECoG inspelning. Denna metod utnyttjar mxenes hydrofila karaktär, vilket möjliggör användning av lösningsbearbetningsmetoder som är enkla och skalbara utan att det krävs användning av ytaktiva ämnen eller supersyror för att uppnå stabila vattensuspensioner. Denna enkla processbarhet kan möjliggöra kostnadseffektiv produktion av MXene biosensorer i industriella skalor, vilket har varit en stor begränsning för ett utbrett införande av produkter baserade på andra kolnanomaterial. Den viktigaste innovationen i elektrodtillverkningen ligger i användningen av ett offerpolymeriskt skikt för att mikromönster MXene efter spin-beläggning, en metod anpassad från litteratur på lösning-bearbetade poly (3,4-ethylenedioxythiophene):poly (styren sulfonat) (PEDOT:PSS) mikroelektroder37, men som inte tidigare hade beskrivits för mönster MXene. De exceptionella elektriska egenskaperna hos Ti3C2, tillsammans med dess processbarhet och 2D morfologi gör det till ett mycket lovande material för neurala gränssnitt. Ti3C2 erbjuder i synnerhet en väg mot att övervinna den grundläggande avvägningen mellan elektrodgeometriskt område och elektrokemiskt gränssnittsimpedans, en primär begränsande faktor för mikroskala elektrodprestanda. Dessutom kan tillverkningsförfarandet som beskrivs i detta protokoll anpassas för att producera MXene elektrodarrayer av varierande storlekar och geometrier för olika inspelningsparadigm, och kan också enkelt anpassas för att införliva andra ledande bläck förutom MXene.
MXene-syntesen och delaminationsförfarandet som beskrivs i detta protokoll (HF/HCl/LiCl) byggdes från den MILDa etsningsmetoden som använde ett LiF/HCl (in situ HF) etchant medium26. Den MILDa metoden gör det möjligt för stora Ti3C2-flingor (flera μm i lateral storlek) att spontant delaminated under tvätt när pH ~5−6 har uppnåtts. Jämfört med etsning med HF ensam, detta resulterar i material med högre kvalitet och förbättrade materialegenskaper, såsom elektr…
The authors have nothing to disclose.
Detta arbete stöddes av National Institutes of Health (bidrag nr. R21-NS106434), Citizens United for Research in Epilepsy Taking Flight Award, Mirowski Family Foundation och Neil och Barbara Smit (F.V.); National Science Foundation Graduate Research Fellowship Program (bevilja nr. DGE-1845298 till N.D. och B.M.); Arméns forskningskontor (samarbetsavtal nummer W911NF-18-2-0026 till K.M.); och av den amerikanska armén via Surface Science Initiative Program vid Edgewood Chemical Biological Center (PE 0601102A Project VR9 till Y.G. och K.M.). Detta arbete utfördes delvis vid Singh Center for Nanotechnology, som stöds av National Science Foundation National Nanotechnology Coordinated Infrastructure Program (NNCI-1542153).
00-90 screw | McMaster-Carr | 90910A630 | Skull screw around which ground wire is wrapped |
128ch stimulation/recording controller | Intan Technologies | A component of the neural recording system. | |
175 mL polypropylene (PP) conical centrifuge tubes | Falcon | REF: 352076 | Used for washing |
18 position 0.5 mm pitch ZIF connector | Molex | 505110-1892 | Used to interface the flexible Parylene microelectrode array with the PCB adapter board. |
18 position dual row male nano-miniature (.025"/.64mm) connector | Omnetics Connector Corporation | A79008-001 | Used to interface the PCB adapter board to the recording headstage. |
3ML Disposable Plastic Set Transfer Graduated Pipettes | Rienar | Rienar-3ML-20PCS | Used for transferring etchant or MXene solutions |
50 mL polyproylene (PP) concial centrifuge tube | Falcon | REF: 352070 | Used for washing and size selection |
Al etchant Type A | Transene | 060-0026000-QT | For removing Al etch mask layer after final Parylene-C etch. |
Aluminum Powder, -325 Mesh, 99.5% (metals basis), particle size < 44 µm | Alfa Aesar | CAS: 7429-90-5 | Used for MAX synthesis |
AutoCAD software | Autodesk Inc. | Design software for drawing photomasks. Free alternatives include DraftSight and LayoutEditor. | |
Buffered Oxide Etchant 6:1 | JT Baker | 1178-03 | For removing SiO2 layer to expose MXene electrode contacts at the end of the fabrication procedure. |
Buprenorphine SR | Wildlife Pharmaceuticals | Analgesia for rat surgery | |
Centrifuge | Hermle | Benchmark Z 446 | Used for washing and size selection |
Dexdomitor | Midwest Veterinary Supply | 193.13250.3 | Anesthesia for rat surgery |
Drill burr | Fine Science Tools | 19007-07 | Burrs for drill |
Electric drill | Foredom | K.1070 | Micromotor drill for craniotomies |
Electron beam evaporator | Kurt J. Lesker Company | Used to evaporate Ti, Au, and SiO2 during fabrication. Most university clean rooms have this or a similar tool. | |
Ground wire | A-M Systems | 781500 | Bare silver wire |
Headspace Vial, glass | Supelco | REF: 27298 | Used for storing MXene solutions |
Hydrochloric acid (12.1N) | Fisher Scientific | CAS: 7647-01-0 | Corrosive; etchant material |
Hydrofluoric Acid, (48-51% solution in H2O) | Acros | CAS: 7664-39-3 | Etchant material |
Jupiter II RIE system | March Plasma Systems Inc. | Planar RIE etching system used to etch the Parylene-C using O2 plasma. Most university clean rooms have a comparable planar RIE etching system. | |
Kapton standard polyimide tape, 1/4" | DuPont | Used to add thickness to the Au bonding pad region of the flexible Parylene microelectrode array for insertion into the ZIF connector. | |
Ketamine | Hospital of the Univ. of Penn. | Anesthesia for rat surgery | |
KLA P-7 Stylus Profilometer | KLA Corporation | Used the measure 2D profiles to confirm complete etching through the sacrificial parylene-C layer in step 2.4.2. Most university clean rooms have this or a comparable stylus profilometer tool. | |
Lithium chloride, 99% for analysis, anhydrous | Acros | CAS: 7447-41-8 | Hygroscopic; delamination material |
MA6 mask aligner | Karl Suss Microtec AG | Used to align each photomask to the pattern on the wafer and expose the wafer to UV light. Most university clean rooms have this or a similar tool. | |
Micro-90 cleaning solution | International Products Corporation | M-9050-12 | Used as the anti-adhesive layer to enable removal of the sacrificial Parylene-C layer to pattern the MXene |
NR71-3000p photoresist | Futurrex Inc. | NR71-3000p | Negative photoresist used to define Ti/Au traces and MXene patterns in the devices. |
Ophthalmic ointment | Midwest Veterinary Supply | 193.63200.3 | To prevent corneal drying during surgery |
Parylene deposition system | Specialty Coating Systems | Used to evaporate thin conformal films of Parylene-C | |
Parylene-C dimer | Specialty Coating Systems | 980130-c-01lbe | Flexible polymer used as bottom and top passivating layers for the flexible MXene devices |
Photomasks (chrome on soda lime glass) | University of Pennsylvania | Our photomasks were produced in the University clean room using a Heidelberg DWL66+ laser writer system, however several vendors manufacture photomasks from provided design files. | |
Povidone-iodine solution | Medline | MDS093901 | To help prevent infection around scalp incision |
Printed Circuit Board (PCB) | Advanced Circuits | Used to interface between the MXene electrode array and the measurement electronics such as the potentiostat and the Intan recording system. Advanced Circuits and other vendors manufacture and assemble PCBs based on the provided design files. | |
RD6 Developer | Futurrex Inc. | RD6 Developer | Used to develop NR71-3000p negative photoresist following UV exposure |
Reference 600 potentiostat | Gamry Instruments | Used to measure the electrodes' impedance to assess quality of the devices | |
Remover PG | MicroChem Corp. | G050200 | Used to remove NR71-3000p following metal deposition to perform lift-off patterning |
RHS2000 Stim SPI interface cable | Intan Technologies | A component of the neural recording system. | |
RHS2116 amplifier board | Intan Technologies | A component of the neural recording system. | |
Si wafers | Wafer World | 2885 | Substrate for fabrication |
Spin Coater | Cost Effective Equipment | For coating wafers with resists and applying the Micro-90 and MXene layers. Most university clean rooms have spin coaters. | |
Stereotaxic frame | Kopf Instruments | Model 902 | For positioning the rat for neurosurgery |
Teflon-coated magnetic stir bar | Corning | REF: 1233W95 | Used to stir during etching and intercalation |
Titanium carbide, 99.5% (metals basis), particle size ~2 µm | Alfa Aesar | CAS: 12070-08-5 | Used for MAX synthesis |
Titanium powder, -325 mesh, 99% (metals basis), particle size < 44µm | Alfa Aesar | CAS: 7440-32-6 | Used for MAX synthesis |
Ultrasonic bath sonicator | Reynolds Tech | For removing metal and photoresist particles during lift-off processes to pattern metals. | |
UV vis spectrophotometer | ThermoScientific | Evolution 201 | Used to determine concentration and observe absorption peak |
Zetasizer, Particle Size Analysis | Malvern Panalytical | Nano ZS | Used to determine particle lateral size distibution |