本論文では、微小電気機械システム(MEMS)の構造及び装置の柔軟な製造のための3D加法micromanufacturing戦略(と呼ばれる「マイクロ石造 ')を導入しています。このアプローチは、急速熱アニール·イネーブル材接合技術と組み合わせてミクロ/ナノスケール材料の転写印刷ベースの組立体を含む。