/
/
Brug synkrotronstråling Microtomography at undersøge Multi-skala Tre-dimensionelle Mikroelektroniske pakker
A subscription to JoVE is required to view this content. Sign in or start your free trial.
Chapters
- 00:05Title
- 01:28Steps for Performing Tomography Scans at Beamline 8.3.2 (ALS, LBNL)
- 04:02Setting up the Scan Parameters Using the Data Acquisition Computer
- 04:54Results: Multi-scale Features Imaged in an Entire Micro-electronic Package Using Synchrotron Radiation Microtomography
- 06:11Conclusion
Til denne undersøgelse synkrotronstråling mikro-tomografi, en ikke-destruktiv tredimensional billeddannelse teknik, der anvendes til at undersøge en hel mikroelektroniske pakke med en tværsnitsareal på 16 x 16 mm. På grund af synkrotronen høje flux og lysstyrke prøven blev afbildet på bare 3 minutter med en 8,7 um rumlig opløsning.
