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Fabricação de eletrodos bem na ponta da agulha hipodérmica usando revestimento de pulverizador fotorresiste e Fotomáscara flexível para aplicações biomédicas
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Fabrication of Fine Electrodes on the Tip of Hypodermic Needle Using Photoresist Spray Coating and Flexible Photomask for Biomedical Applications

Fabricação de eletrodos bem na ponta da agulha hipodérmica usando revestimento de pulverizador fotorresiste e Fotomáscara flexível para aplicações biomédicas

DOI:
10.3791/56622-v

•

08:15 min

•

November 28, 2017

•

, ,
1Department of Biomedical Science and Engineering,Gwangju Institute of Science and Technology (GIST), 2School of Mechanical Engineering,Gwangju Institute of Science and Technology (GIST)

Chapters

  • 00:05Title
  • 00:50Needle Preparation: Insulation, Sputtering, and Spray Coating
  • 02:59UV Exposure and Developing
  • 04:24Chromium/Gold Wet Etching and Removal of Residual Photoresist and Passivation
  • 05:44Results: Fine Electrode Fabrication
  • 07:33Conclusion

Summary

Automatic Translation

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O método de fabricação de eletrodos interdigitantes bem (gap e largura: 20 µm) na ponta de uma agulha hipodérmica (diâmetro: 720 µm) é demonstrada usando um revestimento de pulverizador e película flexível Fotomáscara no processo de fotolitografia.

Tags

FabricationFine ElectrodesHypodermic NeedlePhotoresistSpray CoatingFlexible PhotomaskBiomedical ApplicationsMicro Diode SensorDrug DeliveryBiopsySurgeryCauterizing ElectrophotometerHeat Shrink TubeSputteringChromiumGoldSoft BakingPhotolithographyAlignmentCCD Display Monitor

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