Engineering
A subscription to JoVE is required to view this content.
You will only be able to see the first 2 minutes.
The JoVE video player is compatible with HTML5 and Adobe Flash. Older browsers that do not support HTML5 and the H.264 video codec will still use a Flash-based video player. We recommend downloading the newest version of Flash here, but we support all versions 10 and above.
If that doesn't help, please let us know.
锂氮化锂表面声波设备的制造
Chapters
Summary June 18th, 2020
Please note that all translations are automatically generated.
Click here for the English version.
在压电基板上生产数字电极传感器（镍氢锂）时，介绍了两种制造技术，即升降和湿蚀刻，这种传感器广泛用于产生表面声波，现在在微到纳米级流体中具有广泛的效用。作为生产的电极被显示，以有效地诱导兆赫顺序雷利表面声波。
Transcript
我们的协议展示了在压电基材上制造典型表面声波器件的细节，对于寻求进入这一新兴领域的人尤其有价值。在清洁过程中，使任何碎屑远离表面至关重要。要预先分解晶圆，请将晶圆放在100摄氏度的加热板上3分钟。
然后将晶圆移动到铝箔。将晶圆放在旋转涂布器上。使用滴管，将负光光处理片放在覆盖约 75% 晶圆表面面积的晶圆上。
要产生约 1.3 微米的光光处理层厚度，请以 5 秒的加速速度在转速为 3，000 rpm/秒的自旋涂装机：500 rpm 上执行以下程序，然后执行 3，500 rpm 的加速度，加速 3，000 rpm/秒。"将晶圆放在100摄氏度的加热板上，将其烘烤。将加热板温度升高至 150 摄氏度，并保持该温度一分钟。
然后将晶圆从热板中移出，让晶圆在空气中冷却至室温。请勿在 150 摄氏度下将晶圆直接放在加热板上。加热后让水在空气中冷却。
要使光抗剂暴露在紫外能量下，请将晶圆转移到掩码对齐器上。将面罩对齐器设置为在 375 纳米下提供光，使光处理仪暴露在每平方厘米 400 毫焦耳的能量剂量下。要烘烤晶圆，请将晶圆放在100摄氏度的加热板上。
三分钟后，将晶圆转移到铝箔上，冷却至室温。将晶圆放入装满纯 RD6 开发人员的烧杯中。让晶圆浸入 15 秒钟，同时轻轻摇动烧杯。
从开发者那里取出晶圆，并将其浸入去化水中一分钟。然后在去化水流下冲洗晶圆。最后，使用干氮流从晶圆中去除剩余的水。
在100摄氏度下再次烘烤水。三分钟后，将晶圆转移到铝箔上，冷却至室温。将晶圆放入溅射沉积系统中，将晶室排入负6毫托雷的5倍至10毫tor的压力。
接下来，在2.5毫托雷方向流动。然后溅出具有200瓦功率的铬，用于五纳米的粘附层。为了形成导电电极，将铝沉积在400纳米和300瓦的功率水平。
将晶圆转移到烧杯中，将其浸入丙酮中。以中等强度对烧杯进行声波化五分钟。用去压水冲洗晶圆，然后用氮液干燥晶圆。
将晶圆在 100 摄氏度的加热板上放置三分钟。然后将其转移到一块铝箔上，等待其冷却到室温。将晶圆放入溅射沉积系统中，将晶室排入负6毫托雷的5倍至10毫tor的压力。
在2.5毫托雷时流气，然后用200瓦的功率溅出铬，用于5纳米的粘附层。接下来，在功率水平为 300 瓦时溅出 400 纳米的金子，形成导电电极。将晶圆放在旋转涂布器上。
使用滴管将正光光处理物沉积到晶圆表面面积约 75% 的晶圆上。要产生约 1.2 微米的光处理层厚度，请以 3，000 rpm/秒的加速速度在旋转涂布器：500 rpm 上执行以下程序，持续 10 秒，然后是 4，000 rpm，加速度为 3，000 rpm/秒。时间为 30 秒。然后在100摄氏度的加热板上放置晶圆。
一分钟后，将晶圆转移到铝箔上，冷却至室温。将晶圆转移到掩码对齐器。将面罩对齐器设置为在 375 纳米下提供光，使光处理仪暴露在每平方厘米 150 毫焦耳的能量剂量下。
将晶圆放入装满纯 AZ300MIF 的烧杯中。将晶圆留在烧杯中 300 秒，轻轻摇动烧杯。从开发者那里取出晶圆，并将其浸入水中一分钟。
然后在去化流下冲洗晶圆。最后，使用干氮流从晶圆中去除剩余的水。接下来，将晶圆浸入金蚀中90秒，轻轻摇动烧杯。
在去压水流下冲洗晶圆后，使用干氮流从晶圆中去除剩余的去化水。除了丙酮、光光剂和开发剂之外，最危险的试剂是需要更高保护的金属动作，如氯丁橡胶手套和围裙。最后，将晶圆浸入铬等中20秒，轻轻摇动烧杯。
在去压水流下冲洗晶圆。再次，使用干氮流去除剩余的水。IT 是使用所述方法制造的。
手指和手指本身之间的间距都是10微米的宽度，导致波长为40微米。将正弦信号应用于 IDT，并采用激光多普勒振动计测量产生的表面声波的振幅和频率。共振频率为96.5844兆赫，略低于100兆赫的设计频率。
基板表面的振动图显示了从 IT 传播的表面声波。根据最大振幅与最小振幅之间的比值，常波比计算为2.06。演示了 SAW 装置激活的塞西液滴运动。
0.2微升的水滴被移在离 IDT 约一毫米远的锂硝酸锂上。当锯传播并遇到液滴时，它会在雷利角度泄漏到液体中。喷射角度确认是否存在表面声波。
这些技术可用于制造兆赫或表面声波设备。如果需要更高的频率声波执行器，需要调整该过程。该协议提供了两种可靠的方法，用于制备用于微到纳米级荧光研究的高频表面声波器件。
Related Videos
You might already have access to this content!
Please enter your Institution or Company email below to check.
has access to
Please create a free JoVE account to get access
Login to access JoVE
Please login to your JoVE account to get access
We use/store this info to ensure you have proper access and that your account is secure. We may use this info to send you notifications about your account, your institutional access, and/or other related products. To learn more about our GDPR policies click here.
If you want more info regarding data storage, please contact gdpr@jove.com.
Please enter your email address so we may send you a link to reset your password.
We use/store this info to ensure you have proper access and that your account is secure. We may use this info to send you notifications about your account, your institutional access, and/or other related products. To learn more about our GDPR policies click here.
If you want more info regarding data storage, please contact gdpr@jove.com.
Your JoVE Unlimited Free Trial
Fill the form to request your free trial.
We use/store this info to ensure you have proper access and that your account is secure. We may use this info to send you notifications about your account, your institutional access, and/or other related products. To learn more about our GDPR policies click here.
If you want more info regarding data storage, please contact gdpr@jove.com.
Thank You!
A JoVE representative will be in touch with you shortly.
Thank You!
You have already requested a trial and a JoVE representative will be in touch with you shortly. If you need immediate assistance, please email us at subscriptions@jove.com.
Thank You!
Please enjoy a free 2-hour trial. In order to begin, please login.
Thank You!
You have unlocked a 2-hour free trial now. All JoVE videos and articles can be accessed for free.
To get started, a verification email has been sent to email@institution.com. Please follow the link in the email to activate your free trial account. If you do not see the message in your inbox, please check your "Spam" folder.
