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Fabbricazione di dispositivi a onde acustiche superficiali su Liithium Niobate
 

Fabbricazione di dispositivi a onde acustiche superficiali su Liithium Niobate

Article doi: 10.3791/61013
June 18th, 2020

Summary June 18th, 2020

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Due tecniche di fabbricazione, il decollo e l'incisione a umido, sono descritte nella produzione di trasduttori di elettrodi interdigitali su un substrato piezoelettrico, il litio niobate, ampiamente usato per generare onde acustiche superficiali che ora trovano un'ampia utilità nei fluidici micro-nanoscala. Gli elettrodi prodotti sono mostrati per indurre in modo efficiente onde acustiche della superficie di Rayleigh ordine megahertz.

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