Engineering
This content is Open Access.
Chapters
Summary
Please note that all translations are automatically generated.
Hier wordt een procedure gepresenteerd voor het meten van fundamentele materiaaleigenschappen door middel van micromechanische spanningstests. Beschreven zijn de methoden voor de fabricage van micro-trekmonsters (waardoor snelle fabricage van micromonsters uit bulkmateriaalvolumes mogelijk is door fotolithografie, chemisch etsen en gericht ionenbundelfrezen te combineren), wijziging van de indrukkerpunt en micromechanische spanningstests (inclusief een voorbeeld).