Login processing...

Trial ends in Request Full Access Tell Your Colleague About Jove
Click here for the English version

Engineering

Radio Frequency Magnetron Sputtering af GdBa2Cu3O7δ/ La0,67Sr0,33MnO3 kvasi tolagede film på SrTiO3 (STO) Single-krystal substrater

doi: 10.3791/58069 Published: April 12, 2019

Summary

Her præsenterer vi en protokol til at vokse LSMO nanopartikler og (Gd) BCO film på (001) SrTiO3 (STO) single-krystal substrater af radiofrekvens (RF)-sputtering.

Abstract

Her viser vi en metode til belægning ferromagnetiske La0,67Sr0,33MnO3 (LSMO) nanopartikler på (001) SrTiO3 (STO) single-krystal substrater af radiofrekvens (RF) magnetron sputtering. LSMO nanopartikler blev deponeret diametre fra 10 til 20 nm og højder mellem 20 og 50 nm. På samme tid (Gd) Ba2Cu3O7δ ((Gd) BCO) film blev fabrikeret på begge udekoreret og LSMO nanopartikel dekoreret STO substrater ved hjælp af RF magnetron sputtering. Denne betænkning også beskriver egenskaberne for GdBa2Cu3O7δ/ La0,67Sr0,33MnO3 kvasi tolagede film strukturer (fx krystallinske fase, morfologi kemiske sammensætning); magnetisering, magneto-transport og superledende egenskaber for transport blev også vurderet.

Introduction

or Start trial to access full content. Learn more about your institution’s access to JoVE content here

Hul-doped manganite La0,67Sr0,33MnO3 (LSMO) har unikke egenskaber som wide-band huller, halv-metallic ferromagnetism, og viklet ind elektronisk stater, som giver ekstraordinære muligheder for potentiale spintroniske programmer1,2,3,4. I øjeblikket, mange forskere endeavoring at drage fordel af de unikke egenskaber af LSMO til at bebo vortex bevægelsen for høj temperatur superledende film, (HTS), som (RE) Ba2Cu3O7δ film (REBCO, RE = sjældne - jorden element)5,6,7,8,9,10,11,12. Nanoskala dekoration af substrat overflader med ferromagnetiske nanopartikler vil levere veldefinerede steder for at fremkalde magnetiske pinning Centre af forventede tæthed13,14. Muligheden for at styre densitet og geometri af nanopartikler på stærkt tekstureret overflader, såsom på single-krystal substrater og stærkt profilerede metal substrater er imidlertid meget vanskeligt. Mest almindeligt, nanopartikler er syntetiseret og belagt på overflader ved hjælp af metal organisk nedbrydning metoder15, og pulserende laser deposition metoder16,17. Selvom pulsen laser deposition metoder kan give nanopartikler belagt på forskellige substrater, er det svært at indse stort område homogene nanopartikler deposition. Hvad angår metal organisk nedbrydning metoder er de ordentlig for stort område aflejring af nanopartikler. Nanopartikler er imidlertid ofte ikke ensartet og let beskadiget af små fysiske belastninger.

Blandt disse teknikker har RF-magnetron sputtering mange fordele. Sputtering har en høj deposition sats, lav pris, og en mangel på giftige gas emission. Det er også nemt at udvide til store skala område substrater18,19. Denne metode giver trinvis dannelsen af La0,67Sr0,33MnO3 (LSMO) nanopartikler, og nanopartikler er let at blive deponeret på single-krystal substrater. RF magnetron sputtering kan skabe store område nanopartikler ensartet på en bred vifte af substrater, uanset overfladestruktur og overfladeruhed20. Kontrolelementet partikel kan opnås ved at indstille spruttende tid. Ensartethed kan opnås ved at indstille mål-substrat afstand. Ulempen ved RF-magnetron sputtering er dens lavere vækst for nogle oxider21. I denne tilgang, target atomer (eller molekyler) er spruttede ud af målet af argon ion, og derefter nanopartikler deponering på substrater i vapor fase22. Nanopartikler dannelsen sker på underlaget i et enkelt trin23. Denne metode er teoretisk gælder for alle materialer, herunder superledende tynde film, modstand film, halvleder film, ferromagnetiske tynd film osv imidlertid til dato, rapporter om protokoller for deponering ferromagnetiske nanopartikler er meget sparsomme.

Her, vise vi aflejring af GdBa2Cu3O7δ/La0,67Sr0,33MnO3 kvasi tolagede film på SrTiO3 (STO) single-krystal substrater af RF magnetron sputtering metode. To slags mål materialer, GdBa2Cu3O7δ og La0,67Sr0,33MnO3 mål bruges i processen. SrTiO3 (STO) single-krystal substrater var belagt med GdBa2Cu3O7δfilm og GdBa2Cu3O7δ/La0,67Sr 0,33 MnO3 kvasi tolagede film.

I denne protokol, er GdBa2Cu3O7δ/La0,67Sr0,33MnO3 kvasi tolagede film deponeret hos RF magnetron sputtering på STO (001) substrater. Mål diameter 60 mm og afstanden mellem mål og substrater er ca 10 cm. Ovne er pærer placeret 1 cm over substraterne. Den maksimale temperatur er 850° C i dette system. Der er 5 forskellige substrater i dette system. RF magnetron sputtering GdBa2Cu3O7δ/La0,67Sr0,33MnO3 kvasi tolagede film består af to trin, som er forberedelsen af substrater og RF magnetron sputtering proces. Et billede af den spruttende system er vist i figur S1.

Subscription Required. Please recommend JoVE to your librarian.

Protocol

or Start trial to access full content. Learn more about your institution’s access to JoVE content here

1. underlaget og Target forberedelse

Bemærk: Dette afsnit beskriver forberedelse af sputter deposition kammer og enkelt crystal SrTiO3 (STO) substrater.

  1. Bruge 10 mm x 10 mm SrTiO3 (STO) single-krystal substrater under RF magnetron sputtering proces.
  2. Sekventielt ren substrater i isopropanol og deioniseret vand i 10 min. ved stuetemperatur i ultralydsbad. Derefter tørre substrater med nitrogen, som er for ensartet overdækning af substrat og overholdelse af god film.
  3. Montere de (001) STO substrater i substrat indehavere med sølv pulver ledende lim. Indlæse disse i en vakuumkammer.
  4. Mount LSMO mål i magnetron injektion pistol, og derefter samle pistol. Teste modstanden med et ohmmeter, at undgå en kortslutning mellem magnetron og de omkringliggende skjold. Luk den vakuumkammer er lukket og pumpen ned.
  5. Når vakuum, der er lavere end 1 x 10-4 Pa, varme substrater til 850 ° C ved hjælp af en opvarmning på 15 ° C/min. sæt mål-substrat afstanden til 8 cm.
  6. Indstille massestrøm controller til 10 sccm af O og 5 sccm af Ar som arbejder gasstrømmen. Bruge Ar / O blandet gas at holde O kationiske ratio (3) for La0,67Sr0,33MnO3 materiale under vækst.
  7. Før deposition, pre sputter LSMO mål i 20 min. på 30 W. High power vil føre til revner i målet og benytter energibesparende vil føre til mere tid for en ren overflade, så vælger vi 20 min for 30 W.

2. LSMO nanopartikel Deposition

Bemærk: Dette afsnit beskriver aflejring af LSMO nanopartikler af RF-magnetron sputtering.

  1. At opnå en kammeret pres 25 Pa, justere molekylære pumpe skinne ventil. Hvis værdien instant bliver større end 25 Pa, rotere det mod uret; Hvis det bliver mindre end 25Pa, rotere den med uret. Fortsætte indtil trykket er udlignet med en stabil værdi.
  2. Check at substrat temperaturen stadig er på 850 ° C og er stabil.
  3. Øge kraften af magnetron fra 30 til 80 W. vente 10 min, indtil plasmaet er stabiliseret.
  4. Åbn lukkeren og indbetale LSMO på den opvarmede substrat.
    Bemærk: Vi brugte spruttende gange 5, 10, 30 og 60 s for fire prøver.
  5. Lukke lukkeren. Slukke for til magnetron. Lukker gas ventil og varmer slukke.
  6. Cool prøver for stuetemperatur. Usædvanligt, tager det mindst to timer i dette system. Lufte kammer med tør nitrogen, åbne den og fjerne prøverne.

3. GdBa2Cu3O7−δ aflejring

  1. Mount GdBa2Cu3O7−δmål i magnetron pistol, så Saml pistol. Deponere ethvert (Gd) BCO film, ved hjælp af trin svarer til trin 1,4-2,8. Bruge lignende deposition betingelser for (Gd) BCO film som LSMO nanopartikler, undtagen den spruttende tid, som bør være 30 min. Efter dette, væksten vil være, og næste trin er den efter udglødning.
  2. Faldet prøve temperatur til 500° C. Derefter Åbn gas ventil for ilt til at give et kammer Tryk på 75.000 Pa. holde prøver ved denne temperatur i en time.
    Bemærk: Temperaturen for 500 ° C og et kammer Tryk på 75.000 Pa er for ensartet opnåelse af LSMO nanopartikler.
  3. Cool prøver for stuetemperatur. Lufte kammer med tør nitrogen, åbne den og fjerne prøverne.

Subscription Required. Please recommend JoVE to your librarian.

Representative Results

or Start trial to access full content. Learn more about your institution’s access to JoVE content here

Tykkelsen af (Gd) BCO film på begge nøgne og LSMO indrettet STO substratet var 500nm, som blev målt ved en overflade profilometer. Filmtykkelse var kontrolleret af sputtering tid. Figur 1a b viser AFM billedet af LSMO nanopartikler (sputtering tid af 10 s) på 1,0 cm x 1,0 cm single-krystal STO substrater til at bevise, at den LSMO nanopartikler dyrket på substrater til STO ensartet. Overfladen og måle ruhed af filmene var karakteriseret ved atomic force mikroskopi (AFM) arbejder i trykke tilstand. Diameteren af disse LSMO nanopartikler varierede fra 10 til 20 nm. Deres højde varierede fra 20 til 50 nm. Med en passende justering af deponerede parametre såsom vækst temperaturer og target-substrat afstand, kunne forskellige overflade topografi opnås, som vist i figur 1 cd. Ved lav temperatur (650 ° C), blev partikel og linje blandet topografi opnået, som det ses i figur 1 c. Desuden kan en lille target-substrat afstand (6 cm) føre til en høj tæthed af LSMO partikler med lille størrelse (fig. 1 d). Strukturen af LSMO nanopartikler (sputtering tid af 10 s) og (Gd) BCO film (figur 2) blev målt af X-ray diffractometer (XRD) måling med Cu K stråling drives på 40 kV og 20 mA. I figur 3, resultaterne fremgår for to repræsentative (Gd) BCO prøver som beskrevet ovenfor: (Gd) BCO film på udekoreret og LSMO indrettet substrater. De superledende overgang temperatur (Tc) var tæt på 90.5 for ren GBCO film og 90.3 K til LSMO/GBCO film. Denne næsten lig Tc værdi angiver LSMO nanopartikler ikke skader de superledende ejendomme (Tc) til (Gd) BCO film. Højere hældningen angiver mindre Tc bredde for ren GBCO film sammenlignet med LSMO/GBCO film. Magnetisering hysterese sløjfer for disse to prøver er afbildet i figur 4. Til sammenligning, er M-H loop område meget større fra 0 til 6 T på 30K (Gd) BCO film fremstillet på LSMO dekoreret substrat. Den samme tendens er fundet på 50 og 77 K.

Repræsentant Jørgensen-H distributioner er også vist for hver prøve i figur 5. For en given magnetfelt, er disse distributioner beregnet som
Equation
hvor en og b er længde og bredde af den analyserede prøve. Et magnetfelt, som er vinkelret på prøve, en < b, anvendes under testprocessen. I vores tilfælde, en og b er 3 mm og 4 mm, henholdsvis. ΔM symbolerne i formlen er forskellen mellem øvre og nedre værdier af en magnetisk hysteresesløjfe på den samme H, som vist i figur 4. Den kritiske strømtæthed og dens dependences af feltets hjælp vil give mere information til effekten af LSMO nanopartikler på flux pinning egenskaber. Disse data i figur 5a tyder på at de (Gd) BCO film deponeres på LSMO dekoreret substrat besidder en højere Jc værdi fra 1,3 til 6 T på 30 K. Desuden, som vist i figur 5b, dekoreret (Gd) BCO filmen fremstillet på LSMO substrat viser en højere Jc værdi fra 0 til 6 T på 77 K. De to fænomener i figur 5 tyder på, at en yderligere fastgørelse mekanisme findes i (Gd) BCO film på LSMO dekoreret substrater. Vi kaldte det som magnetisk fastgørelse, som skyldes LSMO nanopartikler deponeret på underlaget.

Fastgørelse kraft tætheden blev beregnet af Fp = Jc × B. Det beregnede resultat er vist i figur 6ab. Der er en overgangsstedet ved 1.3T for Fp (max) værdi på 30 K (figur 6a), hvorover, indrettede prøven har større Fp værdi. Fp (max) værdi på 77K flyttet til en højere værdi, H (fra 0,6 T til 2,5 T) for prøve med dekoration, som er vist i fig. 6b. Denne forskel viser også, der er forskellige mekanismer for (Gd) BCO film med og uden LSMO dekoration til fastgørelse.

Vi målte den kritiske strømtæthed afhængighed magnetfelt orientering for at opnå yderligere interessante oplysninger om vortex pinning egenskaber. Figur 7 viser de kantede afhængighed af Jc på 0.3T og 77 K (Gd) BCO film med og uden LSMO dekoration. Det konstateres, at de mest fremtrædende stigning af Jc er langs c-aksen. Dette tyder på, at det er mere effektivt på et felt orientering af H / / c for LSMO dekoreret (Gd) BCO film. For at forklare fænomenet, vi viser en skematisk i indsatser af figur 7, som viser threading forskydninger genereres på H / / c retning. Vi mener, at de threading forskydninger langs c-aksen i en (Gd) BCO film med LSMO dekoration er ansvarlig for dette fænomen.

Figure 1
Figur 1: Atomic Force mikroskopisk billede af LSMO nanopartikler dekoreret STO substrater. a et 2D-billede, (b) 3D billede, c 3D billede af prøven dyrkes ved lav temperatur (650 ° C) og (d) 3D-billede af prøven dyrkes på små mål-substrat afstand (6 cm). Genoptrykt med tilladelse fra tidligere arbejde12. Copyright 2018 Elsevier. Venligst klik her for at se en større version af dette tal.

Figure 2
Figur 2: XRD mønster af (Gd) BCO tynde film fabrikeret på udekoreret og LSMO nanopartikel dekoreret STO substrater. Genoptrykt med tilladelse fra tidligere arbejde12. Copyright 2018 Elsevier. Venligst klik her for at se en større version af dette tal.

Figure 3
Figur 3: DC magnetisering målinger af superledende overgangen Tc for (Gd) BCO tynde film fabrikeret på udekoreret og LSMO nanopartikel dekoreret STO substrater. Genoptrykt med tilladelse fra tidligere arbejde12. Copyright 2018 Elsevier. Venligst klik her for at se en større version af dette tal.

Figure 4
Figur 4: magnetisering hysterese sløjfer for (Gd) BCO tynde film på den udekoreret og LSMO nanopartikel dekoreret STO substrater ved tre forskellige temperaturer. (a) 30 K, (b) 50 K og (c) 77 K. Genoptrykt med tilladelse fra tidligere arbejde12. Copyright 2018 Elsevier. Venligst klik her for at se en større version af dette tal.

Figure 5
Figur 5: feltet afhængighed af Jc (de kritiske strømtæthed) for (Gd) BCO tynd film på udekoreret og LSMO indrettet STO substrater på a 30 K og b 77 K. Genoptrykt med tilladelse fra tidligere arbejde12. Copyright 2018 Elsevier. Venligst klik her for at se en større version af dette tal.

Figure 6
Figur 6: Variation af Fp som en funktion af det anvendte magnetfelt (Gd) BCO film deponeres på udekoreret og LSMO-nanopartikel-dekoreret STO substrater. (en) 30 K og (b) 77 K. Reprinted med tilladelse fra tidligere arbejde12. Copyright 2018 Elsevier. Venligst klik her for at se en større version af dette tal.

Figure 7
Figur 7: afhængighed af Jc på 0,3 T og 77 K orientering af det anvendte magnetfelt, i forhold til filmens normale retning. Indsatsen viser skematisk diagram over threading forskydninger genereres langs c-aksen i LSMO dekoreret (Gd) BCO tynd film. Genoptrykt med tilladelse fra tidligere arbejde12. Copyright 2018 Elsevier. Venligst klik her for at se en større version af dette tal.

Figure 7
Figur S1: billede af RF sputtering system. Venligst klik her for at se en større version af dette tal.

Subscription Required. Please recommend JoVE to your librarian.

Discussion

or Start trial to access full content. Learn more about your institution’s access to JoVE content here

Her har vi vist, at denne metode kan bruges til at forberede LSMO ferromagnetiske nanopartikler af ensartet fordeling på SrTiO3 (STO) single-krystal substrater. (Gd) BCO film også kan blive deponeret på begge nøgne og LSMO indrettet STO substrat. Med en passende justering af deponerede parametre såsom vækst temperaturer og target-substrat afstand, bør denne metode være nyttige for deponerede forskellige slags magnetiske og ikke-magnetiske partikler eller lag, for eksempel, CeO2, YSZ) yttrium-stabiliseret zirconia)24, og ITO (Indium tin oxid).

Et kritisk trin i protokollen er spruttende tidspunktet for deposition af LSMO partikler. I protokollen, der er behov for den rette spruttende tid. Hvis den spruttende tid er for lang, vil dette udgøre kontinuerlig LSMO tynd film ikke nanopartikler. På den anden side, hvis den spruttende tid er for kort, tætheden af LSMO nanopartikler er ikke nok og det vil påvirke nuværende regnskabsmæssige evne til top GBCO film. GBCO film, for at opnå epitaxy, er brug af en enkelt krystal substrat nødvendig. I vores tilfælde behøver LSMO nanopartikler ikke at nå epitaxy, men blot har brug for større tæthed og den rigtige størrelse til at forbedre top GBCO superledende egenskaber. I denne betænkning, er spruttende gange bruges til at styre de forskellige morfologi for LSMO nanopartikler.

En ulempe for vores deposition afdeling er, at fordi der er ingen i situ QCM (kvarts krystal microbalance) sensor, kan vi overvåge i realtid filmtykkelse og deposition under vækstprocessen. I vores tilfælde, kan tykkelsen af GBCO film styres ved sputtering gange. Deposition er af GBCO film præsenteres her ca. 15 nm/min. Endelig, som nævnt i indledningen, fabrikation af LSMO nanopartikler er blevet med held opnået af enten metal organisk nedbrydning metoder (MOD) eller pulserende laser deposition metoder (PLD). Metoden PLD besidder langsommere depositionen og indebærer en større investering, mens MOD metode resultater ensartet partikel distribution og lav reproduktion. Hvad angår RF sputtering deposition, kan det give partikler med ensartet fordeling og lavere investeringer med hensyn til PLD metode. Denne nanopartikel deposition procedure kan også skaleres op til pels større flader nemt.

Afslutningsvis, vi udviser en RF spruttende metode til at oprette ferromagnetiske LSMO nanopartikler på STO substrat, og GBCO superledende film på nøgne og LSMO dekoreret STO substrat. Disse ferromagnetiske LSMO nanopartikler har aldrig blevet syntetiseret af RF sputtering deposition før. Denne RF spruttende metode kan coat nanopartikler ensartet på SrTiO3 (STO) single-krystal substrater eller høje tekstureret substrater med forskellige partikel tæthed og størrelse17,25. Denne funktion giver mulighed for fremtidig anvendelse af RF sputtering ferromagnetiske nanopartikler i elektronik hjælpemidler på single-krystal substrater eller fleksibelt og stærkt tekstureret substrater.

Subscription Required. Please recommend JoVE to your librarian.

Disclosures

Forfatterne har ikke noget at oplyse.

Acknowledgments

Dette arbejde blev støttet af den National Natural Science Foundation of China (nr. 51502168; No.11504227) og Shanghai Municipal Natural Science Foundation (No.16ZR1413600). Forfatterne takke taknemmeligt de medvirkende analyse Center i Shanghai Jiao Tong University og Ma-tek analytisk lab for kompetente tekniske bistand.

Materials

Name Company Catalog Number Comments
Sputter Deposition System Shenyang scientific instruments Limited by Share Ltd Bespoke
SrTiO3 Single Crystal Substrate Hefei Ke crystal material technology Co., Ltd Single-sided epi-polished (001) orientation
La0.67Sr0.33MnO3 sputtering target Hefei Ke crystal material technology Co., Ltd Bespoke 60 mm diameter
GdBa2Cu3O7δ sputtering target Hefei Ke crystal material technology Co., Ltd Bespoke 60 mm diameter
Atomic Force Microscope Brüker Dimension Icon
X-ray Diffractometer Brüker D8 Discover
Physical Property Measurement System Quantum Design PPMS 9

DOWNLOAD MATERIALS LIST

References

  1. Gong, J., Zheng, D., Li, D., Jin, C., Bai, H. Lattice distortion modified anisotropic magnetoresistance in epitaxial La0.67Sr0.33MnO3 thin films. Journal of Alloys and Compounds. 735, 1152-1157 (2018).
  2. Wang, J., Han, Z., Bai, J., Luo, B., Chen, C. Magnetoelectric coupling in oxygen deficient La0.67Sr0.33MnO3-δ/BaTiO3 composite film. Physica B: Condensed Matter. 534, 141-144 (2018).
  3. Duan, Z., et al. Facile fabrication of micro-patterned LSMO films with unchanged magnetic properties by photosensitive sol-gel method on LaAlO3 substrates. Ceramics International. 42, (12), 14100-14106 (2016).
  4. Xu, P., Huffman, T. J., Kwak, I. H., Biswas, A., Qazilbash, M. M. Temperature dependent infrared nano-imaging of La0.67Sr0.33MnO3 thin film. Journal of Physics-Condensed Matter. 30, (2), (2018).
  5. Bulaevskii, L. N., Chudnovsky, E. M., Maley, M. P. Magnetic pinning in superconductor-ferromagnet multilayers. Applied Physics Letters. 76, (18), 2594-2596 (2000).
  6. Chen, C. Z., et al. Flux pinning of stress-induced magnetic inhomogeneity in the bilayers of YBa2Cu3O7−δ/La0.67Sr0.33MnO3−δ. Journal of Applied Physics. 106, (9), 093902 (2009).
  7. Chen, C. Z., et al. Robust high-temperature magnetic pinning induced by proximity in YBa2Cu3O7−δ/La0.67Sr0.33MnO3 hybrids. Journal of Applied Physics. 109, (7), 073921 (2011).
  8. Huang, J., et al. Magnetic properties of (CoFe2O4)x:(CeO2)1−x vertically aligned nanocomposites and their pinning properties in YBa2Cu3O7−δ thin films. Journal of Applied Physics. 115, (12), 123902 (2014).
  9. Lange, M., Bael, M. J. V., Bruynseraede, Y., Moshchalkov, V. V. Nanoengineered Magnetic-Field-Induced Superconductivity. Physical Review Letters. 90, (19), 197006 (1970).
  10. Rakshit, R. K., Budhani, R. C., Bhuvana, T., Kulkarni, V. N., Kulkarni, G. U. Inhomogeneous vortex-state-driven enhancement of superconductivity in nanoengineered ferromagnet-superconductor heterostructures. Physical Review B. 77, (5), 052509 (2008).
  11. Guo, H., Ward, T. Z. Fabrication of Spatially Confined Complex Oxides. Journal of Visualized Experiments. 77, e50573 (2013).
  12. Wang, Y., Li, Y., Liu, L., Xu, D. Improvement of flux pinning in GdBa2Cu3O7-delta thin film by nanoscale ferromagnetic La0.67Sr0.33MnO3 pretreatment of substrate surface. Ceramics International. 44, (1), 225-230 (2018).
  13. Martín, J. I., Vélez, M., Nogués, J., Schuller, I. K. Flux Pinning in a Superconductor by an Array of Submicrometer Magnetic Dots. Physical Review Letters. 79, (10), 1929-1932 (1997).
  14. Morgan, D. J., Ketterson, J. B. Asymmetric Flux Pinning in a Regular Array of Magnetic Dipoles. Physical Review Letters. 80, (16), 3614-3617 (1998).
  15. Gutierrez, J., et al. Anisotropic c-axis pinning in interfacial self-assembled nanostructured trifluoracetate-YBa2Cu3O7−x films. Applied Physics Letters. 94, (17), 172513 (2009).
  16. Tran, D. H., et al. Enhanced critical current density in GdBa2Cu3O7-δ thin films with substrate surface decoration using Gd2O3 nanoparticles. Thin Solid Films. 526, (0), 241-245 (2012).
  17. Jha, A. K., Khare, N., Pinto, R. Interface engineering using ferromagnetic nanoparticles for enhancing pinning in YBa2Cu3O7-delta thin film. Journal of Applied Physics. 110, (11), (2011).
  18. Casotti, D., et al. Ageing effects on electrical resistivity of Nb-doped TiO2 thin films deposited at a high rate by reactive DC magnetron sputtering. Applied Surface Science. 455, 267-275 (2018).
  19. Li, Y., et al. Preparation of single-phase Ti2AlN coating by magnetron sputtering with cost-efficient hot-pressed Ti-Al-N targets. Ceramics International. 44, (14), 17530-17534 (2018).
  20. Mahdhi, H., Djessas, K., Ben Ayadi, Z. Synthesis and characteristics of Ca-doped ZnO thin films by rf magnetron sputtering at low temperature. Materials Letters. 214, 10-14 (2018).
  21. Shen, H., Wei, B., Zhang, D., Qi, Z., Wang, Z. Magnetron sputtered NbN thin film electrodes for supercapacitors. Materials Letters. 229, 17-20 (2018).
  22. Sinnarasa, I., et al. Influence of thickness and microstructure on thermoelectric properties of Mg-doped CuCrO2 delafossite thin films deposited by RF-magnetron sputtering. Applied Surface Science. 244-250 (2018).
  23. Thi-Thuy-Nga, N., Chen, Y. -H., Chen, Z. -M., Cheng, K. -B., He, J. -L. Microstructure near infrared reflectance, and surface temperature of Ti-O coated polyethylene terephthalate fabrics prepared by roll-to-roll high power impulse magnetron sputtering system. Thin Solid Films. 1-8 (2018).
  24. Wang, Y., Xu, D., Li, Y., Liu, L. Texture and morphology developments of Yttria-stabilized zirconia (YSZ) buffer layer for coated conductors by RF sputtering. Surface & Coatings Technology. 232, 497-503 (2013).
  25. Petrisor, T. Jr, et al. Magnetic pinning effects of epitaxial LaxSr1-xMnO3 nanostructured thin films on YBa2Cu3O7-delta layers. Journal of Applied Physics. 112, (5), (2012).
Radio Frequency Magnetron Sputtering af GdBa<sub>2</sub>Cu<sub>3</sub>O<sub>7</sub><sub>−</sub><sub>δ</sub>/ La<sub>0,67</sub>Sr<sub>0,33</sub>MnO<sub>3</sub> kvasi tolagede film på SrTiO<sub>3</sub> (STO) Single-krystal substrater
Play Video
PDF DOI DOWNLOAD MATERIALS LIST

Cite this Article

Wang, Y., Li, Z., Liu, Y., Li, Y., Liu, L., Xu, D., Luo, X., Gao, T., Zhu, Y., Zhou, L., Xu, J. Radio Frequency Magnetron Sputtering of GdBa2Cu3O7−δ/ La0.67Sr0.33MnO3 Quasi-bilayer Films on SrTiO3 (STO) Single-crystal Substrates. J. Vis. Exp. (146), e58069, doi:10.3791/58069 (2019).More

Wang, Y., Li, Z., Liu, Y., Li, Y., Liu, L., Xu, D., Luo, X., Gao, T., Zhu, Y., Zhou, L., Xu, J. Radio Frequency Magnetron Sputtering of GdBa2Cu3O7δ/ La0.67Sr0.33MnO3 Quasi-bilayer Films on SrTiO3 (STO) Single-crystal Substrates. J. Vis. Exp. (146), e58069, doi:10.3791/58069 (2019).

Less
Copy Citation Download Citation Reprints and Permissions
View Video

Get cutting-edge science videos from JoVE sent straight to your inbox every month.

Waiting X
simple hit counter