Login processing...

Trial ends in Request Full Access Tell Your Colleague About Jove
Click here for the English version

Engineering

Радио частоты магнетронного распыления GdBa2Cu3O7δ/ La0.67Sr0,33MnO3 квази бислой фильмы на SrTiO3 (STO) монокристаллических подложек

doi: 10.3791/58069 Published: April 12, 2019

Summary

Здесь, мы представляем протокол расти LSMO наночастиц и (Gd) BCO фильмы (001) SrTiO3 (STO) одиночн кристалл субстратов радиочастотного (RF)-распыления.

Abstract

Здесь мы демонстрируем метод покрытия ферромагнитных La0.67Sr0,33MnO наночастиц3 (LSMO) на (001) SrTiO3 (STO) одиночн кристалл субстратов, радиочастотного (RF) магнетронного распыления. LSMO наночастиц были сданы диаметром от 10 до 20 Нм и высот между 20 и 50 Нм. В то же время неоформленным (Gd) Ba2Cu3O7δ ((Gd) BCO) фильмы были сфабрикованы на обоих и наночастиц LSMO оформленный STO подложках с использованием РФ магнетронного распыления. В настоящем докладе также описываются свойства GdBa2Cu3O7δ/ La0.67Sr0,33MnO3 квази бислой фильмов структур (например, кристаллической фазы, морфология Химический состав); были также оценены намагниченности, магнито транспорт и сверхпроводящие свойства транспорта.

Introduction

or Start trial to access full content. Learn more about your institution’s access to JoVE content here

Отверстие легированных манганит La0.67Sr0,33MnO3 (LSMO) обладают уникальными свойствами, таких как широкополосный пробелы, половина металлик Ферромагнетики и запутанные электронных состояний, которые предусматривают чрезвычайные возможности для потенциальных электрических приложений1,2,3,4. В настоящее время, многие исследователи пытаются воспользоваться уникальными свойствами LSMO населяют вихревого движения для высокотемпературных сверхпроводящих (HTS) фильмов, таких как (пере) Ba2Cu3O7δ фильмы (REBCO, RE = элемент земли – редкие)5,6,,78,9,10,,1112. Наноразмерных отделки поверхности субстрата с ферромагнитным наночастиц даст четко определенных сайтов для стимулирования магнитного закрепления центры ожидаемых плотность13,14. Однако способность контролировать плотность и геометрии наночастиц на весьма текстурированной поверхности, такие как на одиночн кристалл субстратов и высоко текстурированными металлические субстраты очень сложно. Чаще всего наночастицы синтезированы и покрытием на поверхности с помощью металлических разложение органических методов15и импульсного лазера осаждения методы16,17. Хотя методы осаждения лазерного импульса может предоставить наночастиц покрытием на различных подложках, трудно реализовать большой площади однородной наночастиц осаждения. Что касается металлических разложения органических методов они являются надлежащими для большой площади осаждения наночастиц. Однако наночастицы, часто неоднородной и легко поврежденных малых физических напряжений.

Среди этих методов RF-магнетронного распыления имеет много преимуществ. Магнетронное имеет высокий наплавки, низкая стоимость и отсутствие выброса токсичных газов. Кроме того это легко расширить до крупных масштабах области субстратов18,19. Этот метод обеспечивает единый этапа формирования La0.67Sr0,33MnO наночастиц3 (LSMO), и наночастиц легки для того быть депонирована монокристаллических подложек. RF магнетронного распыления можно создавать большие площади наночастиц равномерно на разнообразных субстратах, независимо от того, текстура поверхности и шероховатость поверхности20. Элемент управления частиц может быть достигнуто путем регулировать время распыления. Однородность может быть достигнуто путем регулировать расстояние цели субстрат. Недостаток RF-магнетронного распыления заключается в ее нижней темпы роста для некоторых окислов21. В этом подходе целевой атомов (или молекулы) распыленных из целевого аргон Ион, и затем наночастиц залегают на подложках в фазе пара22. Формирование наночастиц происходит на подложке в один шаг23. Теоретически этот метод применим для любых материалов, включая сверхпроводящих тонкой пленки, пленки, полупроводниковой плёнке, ферромагнитных тонкой пленки и т.д. однако до настоящего времени доклады о протоколах для напыления ферромагнитных наночастицы являются весьма скудными.

Здесь мы демонстрируем осаждения GdBa2Cu3O7δ/Ла0,67Sr0,33MnO3 квази бислой фильмов на SrTiO3 (STO) одиночн кристалл субстратов по РФ магнетронного распыления метод. Два вида целевых материалов, GdBa2Cu3O7δ и La0.67Sr0,33MnO3 цели используются в процессе. SrTiO3 (STO) одиночн кристалл субстратов были покрыты GdBa2Cu3O7δфильмов и GdBa2Cu3O7δ/Ла0,67Sr 0,33 MnO3 квази бислой фильмов.

В этом протоколе GdBa2Cu3O7δ/Ла0,67Sr0,33MnO3 квази бислой фильмы залегают с РФ магнетронного распыления на сто (001) подложках. Цель диаметр 60 мм, расстояние между объектом и субстраты составляет около 10 см. Нагреватели являются луковицы, 1 см выше субстратах. Максимальная температура составляет 850° C в этой системе. В этой системе есть 5 различных субстратах. RF магнетронного распыления GdBa2Cu3O7δ/Ла0,67Sr0,33MnO3 квази бислой фильмов состоит из двух этапов, которые являются подготовка субстратов и РФ магнетрона магнетронное процесса. Картину распыления системы показан на рисунке S1.

Subscription Required. Please recommend JoVE to your librarian.

Protocol

or Start trial to access full content. Learn more about your institution’s access to JoVE content here

1. субстрат и целевой подготовки

Примечание: В этом разделе описывается подготовка камеры распыления осаждения и монокристаллов SrTiO3 (STO) субстратов.

  1. Используйте 10 мм х 10 мм SrTiO3 (STO) монокристаллических подложек во время РФ магнетронного распыления процесса.
  2. Последовательно чистой подложки в изопропиловый спирт и деионизированной воды за 10 мин при комнатной температуре в ультразвуковой ванне. Затем высушите субстратов с азотом, который предназначен для равномерное покрытие субстрата и хороший фильм присоединения.
  3. Монтировать (001) STO субстратов в субстрат Держатели с Серебряный порошок наносится токопроводящий клей. Загрузите их в вакуумной камере.
  4. Маунт LSMO цели в пушка инъекции магнетрона, а затем собрать пистолет. Проверьте сопротивление с омметр, чтобы избежать короткого замыкания между магнетрона и окружающие щит. Close, который закрыт вакуумной камеры и насоса вниз.
  5. После того, как вакуум меньше чем 1 x 10-4 ПА, тепло субстратов до 850 ° C, с помощью скорости нагрева 15 ° C/мин набора целевых субстрат расстояние до 8 см.
  6. Установите контроллер массового потока 10 sccm O и 5 sccm Ar работы газового потока. Использовать Ar / O смешанный газ держать O Катионный соотношение (3) для La0.67Sr0,33MnO3 материала во время роста.
  7. До осаждения, предварительно распыления целевой LSMO за 20 минут на 30, W. высокой мощности приведет к щели в целевом и с использованием малой мощности приведет к больше времени на чистую поверхность, поэтому мы выбираем 20 мин за 30 Вт.

2. LSMO наночастиц осаждения

Примечание: Этот раздел описывает осаждения наночастиц LSMO, РФ магнетронного распыления.

  1. Для получения давления в камере 25 Pa, отрегулируйте молекулярный насос клапан шины. Если мгновенное значение становится больше, чем 25 Pa, повернуть его по часовой стрелке; Если это становится меньше, чем 25Pa, поверните его по часовой стрелке. Продолжайте, пока давление осела в стабильное значение.
  2. Убедитесь, что температура рабочеи жидкости остается при температуре 850 ° C и является стабильным.
  3. Увеличение мощности магнетрона от 30 до 80 W. ждать 10 минут, пока не стабилизируется плазмы.
  4. Откройте затвор и хранение LSMO на с подогревом субстрата.
    Примечание: Мы использовали распыления раз 5, 10, 30 и 60 s для четырех образцов.
  5. Закройте затвор. Выключайте питание для магнетрона. Закрыть клапан газового и выключайте питание обогревателя.
  6. Прохладный образцов до комнатной температуры. Необычно это занимает по крайней мере два часа в этой системе. Вентиляционные камеры с сухим азотом, открыть его и удалите образцы.

3. GdBa2Cu3O7−δ осаждения пленок

  1. Маунт GdBa2Cu3O7−δцели в магнетрона пистолет, а затем собрать пистолет. Внесите любые (Gd) BCO фильмы, используя аналогичные шаги 1.4-2.8 шаги. Используйте подобные условия осаждения пленок (Gd) BCO для LSMO наночастиц, за исключением распыления время, которое должно быть 30 мин. После этого рост будет над, и следующий шаг после отжига.
  2. Снизьте температуру образца до 500° C. Затем откройте газовый клапан для кислорода, чтобы дать давление в камере 75 000 Па провести образцы при этой температуре на один час.
    Примечание: Температура для 500 ° C и давление в камере 75 000 ПА предназначены для равномерно достижения LSMO наночастиц.
  3. Прохладный образцов до комнатной температуры. Вентиляционные камеры с сухим азотом, открыть его и удалите образцы.

Subscription Required. Please recommend JoVE to your librarian.

Representative Results

or Start trial to access full content. Learn more about your institution’s access to JoVE content here

Толщина пленки (Gd) BCO на оба голые и LSMO оформленный STO субстрат был 500nm, который был измерен поверхности профилометра. Толщина пленки контролировался магнетронное время. Рисунок 1a b показывает AFM изображение LSMO наночастиц (напыление время 10 s) на 1,0 x 1,0 см одиночн кристалл STO субстратов доказать, что наночастицы LSMO, выращенных на сто субстратов равномерно. Поверхности и измерения шероховатости фильмов характеризовалась атомно-силовой микроскопии (АСМ) работы в режиме разговоров. Диаметр этих наночастиц LSMO составляли от 10 до 20 Нм. Их высота варьировал от 20 до 50 Нм. С соответствующей корректировкой на хранение параметров, таких как рост температуры и цель субстрат расстояние может быть достигнуто различными топографии поверхности, как показано на рисунке 1 cd. При низкой температуре (650 ° C) частица и смешанного рельефа линии было получено, как показано на рисунке 1 c. Кроме того на расстоянии небольшой целевой подложка (6 см) может привести к высокой плотности частиц LSMO с небольшого размера (рис. 1 d). Структура наночастиц LSMO (напыление время 10 s) и (Gd) BCO фильмов (Рисунок 2) был измерен рентгеновский дифрактометр (XRD) измерение с Cu K излучения на 40 кв и 20 мА. На рисунке 3, результаты отображаются на двух репрезентативных выборок (Gd) BCO как описано выше: (Gd) BCO фильмов на недекорированной и LSMO оформленный субстратов. Температура сверхпроводящего перехода (Tc) был близок 90,5 K для чистой GBCO фильма и 90,3 K для LSMO/GBCO фильмов. Это почти равное значение Tc указывает, что наночастицы LSMO не навреди сверхпроводящие свойства (Tc) (Gd) BCO фильмов. Выше склон указывают меньше ширины Tc для чистой GBCO фильма, по сравнению с LSMO/GBCO фильмов. Петли гистерезиса намагниченности для этих двух образцов строятся на рисунке 4. Для сравнения область петли M-H гораздо больше от 0 до 6 Т в 30K для фильмов (Gd) BCO сфабрикованы на подложке LSMO стиле. Та же тенденция находится на 50 и 77 K.

Представитель J-H дистрибутивов также отображаются для каждого образца, на рисунке 5. Для данного магнитного поля эти дистрибутивы рассчитываются как
Equation
где и b являются длину и ширину испытуемого образца. Магнитное поле, которое перпендикулярно плоскости образца, < b, применяется во время процесса тестирования. В нашем случае и b 3 мм и 4 мм, соответственно. ΔM символы в формуле это разница между верхнего и нижнего значений магнитного гистерезиса петлю на же H, как показано на рисунке 4. Критическая плотность тока и его зависимости в области помощи даст больше информации для воздействия наночастиц LSMO на закрепление свойства потока. Эти данные в Рисунок 5a свидетельствуют, что фильм (Gd) BCO, хранение на подложке LSMO оформленный обладают более высокое значение Jc от 1,3 до 6 Т в 30 K. Кроме того, как показано на рисунке 5bфильм (Gd) BCO, изготовленные на LSMO оформленный субстрата шоу выше Jc значение от 0 до 6 Т в 77 K. Эти два явления на рисунке 5 свидетельствует о том, что дополнительный механизм закрепления существуют в фильмах (Gd) BCO на LSMO оформленный субстратов. Мы назвали его как магнитного закрепления, который из-за LSMO наночастиц на хранение на подложке.

Закрепление плотность силы был рассчитан путем Fp = Jc × б. Вычисляемый результат показан на рисунке 6ab. Существует точка пересечения в 1.3T для Fp (Макс) значения в 30 K (рис. 6А), выше которой, украшенные образец имеет большее значение Fp. Fp (Макс) значение в 77K переехал к более высокому значению H (от 0,6 T до 2,5 Т) для образца с отделкой, которая показана на рисунке 6b. Это различие также указывает, существуют различные закрепление механизмов (Gd) BCO фильм с и без LSMO украшения.

Мы измерили критическая плотность тока зависимость от ориентации магнитного поля для получения дальнейших интересную информацию о вихря, закрепление свойства. Рисунок 7 показывает угловая зависимость Jc в 0.3T и 77 K (Gd) BCO фильм с и без LSMO украшения. Установлено, что наиболее известных Jc увеличивается вдоль оси c. Это свидетельствует о том, что он является более эффективным в поле Ориентация ч / / c для LSMO украшенные (Gd) BCO фильм. Для объяснения этого явления, мы показываем схема в врезные Рисунок 7, которая показывает резьбы дислокаций ч / / c направлении. Мы считаем, что ответственность за это явление потоков дислокаций вдоль оси c в фильме (Gd) BCO с LSMO отделкой.

Figure 1
Рисунок 1: Atomic силы микроскопических изображений наночастиц LSMO оформленный STO субстратов. (a) 2D изображения, (b) 3D изображение, (c) 3D изображение образца, выращенных при низкой температуре (650 ° C) и (d) 3D изображение образца, выращенных на расстоянии небольшой целевой подложка (6 см). Перепечатано с разрешения от предыдущей работы12. Авторское право 2018 Elsevier. Пожалуйста, нажмите здесь, чтобы посмотреть большую версию этой фигуры.

Figure 2
Рисунок 2: LSMO наночастиц оформлены STO субстратов и XRD шаблон (Gd) BCO тонкой пленки, изготовленные на недекорированное. Перепечатано с разрешения от предыдущей работы12. Авторское право 2018 Elsevier. Пожалуйста, нажмите здесь, чтобы посмотреть большую версию этой фигуры.

Figure 3
Рисунок 3: постоянного тока намагничивания измерения сверхпроводящего перехода Tc (Gd) BCO тонкой пленки, изготовленные на недекорированной и наночастиц LSMO оформленный STO субстратов. Перепечатано с разрешения от предыдущей работы12. Авторское право 2018 Elsevier. Пожалуйста, нажмите здесь, чтобы посмотреть большую версию этой фигуры.

Figure 4
Рисунок 4: петли гистерезиса намагниченности (Gd) BCO тонких пленок на недекорированной и наночастиц LSMO оформленный STO субстратов на трех различных температурах. (a) 30 K, 50 K (b) и (c) 77-K. Перепечатано с разрешения от предыдущей работы12. Авторское право 2018 Elsevier. Пожалуйста, нажмите здесь, чтобы посмотреть большую версию этой фигуры.

Figure 5
Рисунок 5: поле зависимость Jc (критическая плотность тока) для тонких пленок (Gd) BCO на недекорированной и LSMO оформленный STO субстратов () 30 K и (b) 77 K. Перепечатано с разрешения от предыдущей работы12. Авторское право 2018 Elsevier. Пожалуйста, нажмите здесь, чтобы посмотреть большую версию этой фигуры.

Figure 6
Рисунок 6: вариация Fp как функции прикладной магнитного поля (Gd) BCO фильмов на хранение на подложках STO недекорированной и оформленный в LSMO стиле наночастиц. () 30 K и (b) 77 K. печатается с разрешения от предыдущей работы12. Авторское право 2018 Elsevier. Пожалуйста, нажмите здесь, чтобы посмотреть большую версию этой фигуры.

Figure 7
Рисунок 7: зависимость Jc на 0,3 T и 77 K ориентации прикладной магнитного поля, относительно нормальное направление фильма. Врезные показывает, что схема потоков дислокаций, созданных вдоль оси c в LSMO стиле (Gd) BCO тонкой пленки. Перепечатано с разрешения от предыдущей работы12. Авторское право 2018 Elsevier. Пожалуйста, нажмите здесь, чтобы посмотреть большую версию этой фигуры.

Figure 7
Рисунок S1: рисунок напыления системы РФ. Пожалуйста, нажмите здесь, чтобы посмотреть большую версию этой фигуры.

Subscription Required. Please recommend JoVE to your librarian.

Discussion

or Start trial to access full content. Learn more about your institution’s access to JoVE content here

Здесь мы продемонстрировали, что этот метод может использоваться для подготовки LSMO ферромагнитных наночастиц равномерного распределения на SrTiO3 (STO) одиночн кристалл субстратов. (Gd) BCO фильмы также могут быть зачислены на обоих голые и LSMO оформленный STO субстрата. С соответствующей корректировкой на хранение параметров, таких как рост температуры и цель субстрат расстояние этот метод должны быть полезны для хранение различных видов магнитных и немагнитных частицы или слои, например, Генеральный директор2, (YSZ Иттрий стабилизированный циркония)24и Ито (оксид олова Индия).

Важнейшим шагом в протоколе является распыление время для осаждения частиц LSMO. В протоколе требуется надлежащее время распыления. Если время распыления слишком долго, это будет являться непрерывной LSMO тонкой пленки не наночастиц. С другой стороны если время распыления является слишком коротким, плотность наночастиц LSMO недостаточно, и это будет влиять на текущие нося способность для лучших GBCO фильмов. Для GBCO фильмов для достижения Эпитаксия, требуется использование монокристаллов субстрата. В нашем случае LSMO наночастицы не нужно достичь Эпитаксия, но просто нужно больше плотность и правильного размера для повышения верхней GBCO сверхпроводящие свойства. В настоящем докладе распыление раз используются для управления различными морфологии для LSMO наночастиц.

Одним из недостатков нашей палате в осаждения является, что потому, что существует не в situ QCM (кварцевый микровзвешивания) датчик, мы не может контролировать в режиме реального времени, толщина пленки и осаждения во время процесса роста. В нашем случае толщина GBCO фильмов можно управлять путем распыления раз. Скорость осаждения GBCO фильмов, представленных здесь составляет около 15 Нм/мин. Наконец, как упоминалось во введении, изготовление наночастиц LSMO был успешно достигается либо металлических разложения органических методов (MOD) или пульсирующие лазерные методы осаждения (PLD). PLD метод обладает медленнее осаждения и включает в себя более крупных инвестиций, а мод метод результаты форма частиц и низкой воспроизводства. Что касается РФ распыление осаждения он может предоставить частицы равномерное распределение и снижение инвестиций в отношении метода PLD. Кроме того эта процедура наночастиц осаждения может быть увеличен для покрытия больших поверхностей легко.

В заключение мы демонстрируем РФ распыления метод для создания ферромагнитных наночастиц LSMO на сто субстрата и GBCO сверхпроводящих пленок на голые и LSMO оформленный STO субстрата. Эти ферромагнитных наночастиц LSMO никогда не был синтезирован РФ распыление осаждения до. Этот метод распыления РФ может пальто наночастиц равномерно на SrTiO3 (STO) одиночн кристалл субстратов или высокой текстурированной субстратов с различными плотность и размер17,25. Эта функция позволяет для будущего применения РФ магнетронное ферромагнитных наночастиц в электронных устройств на одиночн кристалл субстратов или гибкий и сильно текстурированных субстратов.

Subscription Required. Please recommend JoVE to your librarian.

Disclosures

Авторы не имеют ничего сообщать.

Acknowledgments

Эта работа была поддержана Фонд национального естественных наук Китая (№ 51502168; No.11504227) и Шанхайской муниципальной естественных наук фонд (No.16ZR1413600). С благодарностью, Авторы благодарят университет инструментального анализа центр Шанхая Цзяо Тун и Ма tek аналитической лаборатории для квалифицированной технической помощи.

Materials

Name Company Catalog Number Comments
Sputter Deposition System Shenyang scientific instruments Limited by Share Ltd Bespoke
SrTiO3 Single Crystal Substrate Hefei Ke crystal material technology Co., Ltd Single-sided epi-polished (001) orientation
La0.67Sr0.33MnO3 sputtering target Hefei Ke crystal material technology Co., Ltd Bespoke 60 mm diameter
GdBa2Cu3O7δ sputtering target Hefei Ke crystal material technology Co., Ltd Bespoke 60 mm diameter
Atomic Force Microscope Brüker Dimension Icon
X-ray Diffractometer Brüker D8 Discover
Physical Property Measurement System Quantum Design PPMS 9

DOWNLOAD MATERIALS LIST

References

  1. Gong, J., Zheng, D., Li, D., Jin, C., Bai, H. Lattice distortion modified anisotropic magnetoresistance in epitaxial La0.67Sr0.33MnO3 thin films. Journal of Alloys and Compounds. 735, 1152-1157 (2018).
  2. Wang, J., Han, Z., Bai, J., Luo, B., Chen, C. Magnetoelectric coupling in oxygen deficient La0.67Sr0.33MnO3-δ/BaTiO3 composite film. Physica B: Condensed Matter. 534, 141-144 (2018).
  3. Duan, Z., et al. Facile fabrication of micro-patterned LSMO films with unchanged magnetic properties by photosensitive sol-gel method on LaAlO3 substrates. Ceramics International. 42, (12), 14100-14106 (2016).
  4. Xu, P., Huffman, T. J., Kwak, I. H., Biswas, A., Qazilbash, M. M. Temperature dependent infrared nano-imaging of La0.67Sr0.33MnO3 thin film. Journal of Physics-Condensed Matter. 30, (2), (2018).
  5. Bulaevskii, L. N., Chudnovsky, E. M., Maley, M. P. Magnetic pinning in superconductor-ferromagnet multilayers. Applied Physics Letters. 76, (18), 2594-2596 (2000).
  6. Chen, C. Z., et al. Flux pinning of stress-induced magnetic inhomogeneity in the bilayers of YBa2Cu3O7−δ/La0.67Sr0.33MnO3−δ. Journal of Applied Physics. 106, (9), 093902 (2009).
  7. Chen, C. Z., et al. Robust high-temperature magnetic pinning induced by proximity in YBa2Cu3O7−δ/La0.67Sr0.33MnO3 hybrids. Journal of Applied Physics. 109, (7), 073921 (2011).
  8. Huang, J., et al. Magnetic properties of (CoFe2O4)x:(CeO2)1−x vertically aligned nanocomposites and their pinning properties in YBa2Cu3O7−δ thin films. Journal of Applied Physics. 115, (12), 123902 (2014).
  9. Lange, M., Bael, M. J. V., Bruynseraede, Y., Moshchalkov, V. V. Nanoengineered Magnetic-Field-Induced Superconductivity. Physical Review Letters. 90, (19), 197006 (1970).
  10. Rakshit, R. K., Budhani, R. C., Bhuvana, T., Kulkarni, V. N., Kulkarni, G. U. Inhomogeneous vortex-state-driven enhancement of superconductivity in nanoengineered ferromagnet-superconductor heterostructures. Physical Review B. 77, (5), 052509 (2008).
  11. Guo, H., Ward, T. Z. Fabrication of Spatially Confined Complex Oxides. Journal of Visualized Experiments. 77, e50573 (2013).
  12. Wang, Y., Li, Y., Liu, L., Xu, D. Improvement of flux pinning in GdBa2Cu3O7-delta thin film by nanoscale ferromagnetic La0.67Sr0.33MnO3 pretreatment of substrate surface. Ceramics International. 44, (1), 225-230 (2018).
  13. Martín, J. I., Vélez, M., Nogués, J., Schuller, I. K. Flux Pinning in a Superconductor by an Array of Submicrometer Magnetic Dots. Physical Review Letters. 79, (10), 1929-1932 (1997).
  14. Morgan, D. J., Ketterson, J. B. Asymmetric Flux Pinning in a Regular Array of Magnetic Dipoles. Physical Review Letters. 80, (16), 3614-3617 (1998).
  15. Gutierrez, J., et al. Anisotropic c-axis pinning in interfacial self-assembled nanostructured trifluoracetate-YBa2Cu3O7−x films. Applied Physics Letters. 94, (17), 172513 (2009).
  16. Tran, D. H., et al. Enhanced critical current density in GdBa2Cu3O7-δ thin films with substrate surface decoration using Gd2O3 nanoparticles. Thin Solid Films. 526, (0), 241-245 (2012).
  17. Jha, A. K., Khare, N., Pinto, R. Interface engineering using ferromagnetic nanoparticles for enhancing pinning in YBa2Cu3O7-delta thin film. Journal of Applied Physics. 110, (11), (2011).
  18. Casotti, D., et al. Ageing effects on electrical resistivity of Nb-doped TiO2 thin films deposited at a high rate by reactive DC magnetron sputtering. Applied Surface Science. 455, 267-275 (2018).
  19. Li, Y., et al. Preparation of single-phase Ti2AlN coating by magnetron sputtering with cost-efficient hot-pressed Ti-Al-N targets. Ceramics International. 44, (14), 17530-17534 (2018).
  20. Mahdhi, H., Djessas, K., Ben Ayadi, Z. Synthesis and characteristics of Ca-doped ZnO thin films by rf magnetron sputtering at low temperature. Materials Letters. 214, 10-14 (2018).
  21. Shen, H., Wei, B., Zhang, D., Qi, Z., Wang, Z. Magnetron sputtered NbN thin film electrodes for supercapacitors. Materials Letters. 229, 17-20 (2018).
  22. Sinnarasa, I., et al. Influence of thickness and microstructure on thermoelectric properties of Mg-doped CuCrO2 delafossite thin films deposited by RF-magnetron sputtering. Applied Surface Science. 244-250 (2018).
  23. Thi-Thuy-Nga, N., Chen, Y. -H., Chen, Z. -M., Cheng, K. -B., He, J. -L. Microstructure near infrared reflectance, and surface temperature of Ti-O coated polyethylene terephthalate fabrics prepared by roll-to-roll high power impulse magnetron sputtering system. Thin Solid Films. 1-8 (2018).
  24. Wang, Y., Xu, D., Li, Y., Liu, L. Texture and morphology developments of Yttria-stabilized zirconia (YSZ) buffer layer for coated conductors by RF sputtering. Surface & Coatings Technology. 232, 497-503 (2013).
  25. Petrisor, T. Jr, et al. Magnetic pinning effects of epitaxial LaxSr1-xMnO3 nanostructured thin films on YBa2Cu3O7-delta layers. Journal of Applied Physics. 112, (5), (2012).
Радио частоты магнетронного распыления GdBa<sub>2</sub>Cu<sub>3</sub>O<sub>7</sub><sub>−</sub><sub>δ</sub>/ La<sub>0.67</sub>Sr<sub>0,33</sub>MnO<sub>3</sub> квази бислой фильмы на SrTiO<sub>3</sub> (STO) монокристаллических подложек
Play Video
PDF DOI DOWNLOAD MATERIALS LIST

Cite this Article

Wang, Y., Li, Z., Liu, Y., Li, Y., Liu, L., Xu, D., Luo, X., Gao, T., Zhu, Y., Zhou, L., Xu, J. Radio Frequency Magnetron Sputtering of GdBa2Cu3O7−δ/ La0.67Sr0.33MnO3 Quasi-bilayer Films on SrTiO3 (STO) Single-crystal Substrates. J. Vis. Exp. (146), e58069, doi:10.3791/58069 (2019).More

Wang, Y., Li, Z., Liu, Y., Li, Y., Liu, L., Xu, D., Luo, X., Gao, T., Zhu, Y., Zhou, L., Xu, J. Radio Frequency Magnetron Sputtering of GdBa2Cu3O7δ/ La0.67Sr0.33MnO3 Quasi-bilayer Films on SrTiO3 (STO) Single-crystal Substrates. J. Vis. Exp. (146), e58069, doi:10.3791/58069 (2019).

Less
Copy Citation Download Citation Reprints and Permissions
View Video

Get cutting-edge science videos from JoVE sent straight to your inbox every month.

Waiting X
simple hit counter