Login processing...

Trial ends in Request Full Access Tell Your Colleague About Jove
Click here for the English version

Engineering

Radiofrekvens Magnetron Sputtering av GdBa2Cu3O7δ/ La0,67Sr0,33MnO3 kvasi lipidens filmer på SrTiO3 (STO) singel-kristall substrat

doi: 10.3791/58069 Published: April 12, 2019

Summary

Här presenterar vi ett protokoll för att växa LSMO nanopartiklar och (Gd) BCO filmer på (001) SrTiO3 (STO) singel-kristall substrat av radiofrekvens (RF)-sputtring.

Abstract

Här visar vi en metod för beläggning ferromagnetiska La0,67Sr0,33MnO3 (LSMO) nanopartiklar på (001) SrTiO3 (STO) singel-kristall substrat av radiofrekvens (RF) magnetron sputtering. LSMO nanopartiklar sattes in med diametrar från 10 till 20 nm och höjder mellan 20 och 50 nm. Samtidigt, (Gd) Ba2Cu3O7δ ((Gd) BCO) filmer var fabricerade på båda odekorerade prydas av minnesmärken och LSMO nanopartiklar inredda STO substrat med RF magnetron sputtering. Denna rapport beskriver också egenskaperna för GdBa2Cu3O7δ/ La0,67Sr0,33MnO3 kvasi lipidens filmer strukturer (t.ex. kristallin fas, morfologi kemisk sammansättning); magnetisering, magneto-transport och supraledande transportegenskaper utvärderades också.

Introduction

or Start trial to access full content. Learn more about your institution’s access to JoVE content here

De hål-dopade manganite La0,67Sr0,33MnO3 (LSMO) har unika egenskaper såsom wide-band luckor, halv-metalliska ferromagnetism, och intrasslad elektroniska påstår, som ger utomordentliga möjligheter för potentiella spinntronik program1,2,3,4. För närvarande, många forskare strävar efter att utnyttja de unika egenskaperna hos LSMO att bebo vortex rörelsen för hög temperatur supraledande (HTS) filmer, såsom (åter) Ba2Cu3O7δ filmer (REBCO, RE = sällsynta – jordens element)5,6,7,8,9,10,11,12. Nanoskala dekoration av substrat ytorna med ferromagnetiska nanopartiklar ger väldefinierade platser för att inducera magnetiska fästa centers förväntade densitet13,14. Förmågan att kontrollera täthet och geometri av nanopartiklarna på mycket strukturerade ytor, såsom på singel-kristall substrat och starkt texturerat metall substrat är dock mycket svårt. Vanligast, nanopartiklar syntetiseras och på ytor med metall organiska nedbrytning metoder15belagda och Pulsade laser nedfall metoder16,17. Även om pulse laser nedfall metoder kan ge nanopartiklar belagd på olika substrat, är det svårt att inse stort område homogen nanopartiklar nedfall. Metall organiska nedbrytning metoder är de riktigt stort område nedfall av nanopartiklar. Men är nanopartiklarna ofta ojämn och lätt skadat av små fysiska påfrestningar.

Bland dessa tekniker har RF-magnetron sputtering många fördelar. Sputtring har en hög Beläggningshastighet, låg kostnad, och avsaknaden av giftiga utsläpp. Det är också lätt att expandera till stor skala området substrat18,19. Denna metod ger ett steg bildandet av La0,67Sr0,33MnO3 (LSMO) nanopartiklar och nanopartiklarna är lätta att deponeras på singel-kristall substrat. RF magnetron sputtering kan skapa stort område nanopartiklar jämnt på ett varierat utbud av substrat, oavsett ytstruktur och ytjämnhet20. Partikel kontroll kan uppnås genom att justera sputtring tid. Homogenitet kan uppnås genom att justera target-substrat avstånd. Nackdelen med RF-magnetron sputtering är dess lägre ökningstakt för vissa oxider21. I denna strategi, mål atomer (eller molekyler) är oftas av målet av argon ion och sedan nanopartiklar sätts på substrat i vapor phase22. Nanopartiklar formation uppstår på substratet i en enda steg23. Denna metod gäller teoretiskt material inklusive supraledande tunn film, motstånd film, semiconductor film, ferromagnetiska tunn film etc. dock hittills, rapporter om protokoll för insättning ferromagnetiska nanopartiklar är mycket knappa.

Här visar vi nedfall av GdBa2Cu3O7δ/La0,67Sr0,33MnO3 kvasi lipidens filmer på SrTiO3 (STO) singel-kristall substrat av RF magnetron sputtering metoden. Två typer av mål material, GdBa2Cu3O7δ och La0,67Sr0,33MnO3 mål används i processen. SrTiO3 (STO) singel-kristall substrat var belagda med GdBa2Cu3O7δfilmer och GdBa2Cu3O7δ/La0,67Sr 0,33 MnO3 kvasi lipidens filmer.

I detta protokoll sätts GdBa2Cu3O7δ/La0,67Sr0,33MnO3 kvasi lipidens filmer med RF magnetron sputtering på STO (001) substrat. Målet diameter är 60 mm och avståndet mellan målet och substrat är ca 10 cm. Värmare är lampor placerade 1 cm ovanför substratesna. Maxtemperatur är 850° C i detta system. Det finns 5 olika substrat i detta system. RF magnetron sputtering GdBa2Cu3O7δ/La0,67Sr0,33MnO3 kvasi lipidens filmer består av två steg, vilka är utarbetandet av substrat och den RF magnetron sputtring processen. En bild av sputtring systemet visas i figur S1.

Subscription Required. Please recommend JoVE to your librarian.

Protocol

or Start trial to access full content. Learn more about your institution’s access to JoVE content here

1. substrat och Target förberedelse

Obs: Det här avsnittet beskrivs utarbetandet av fräsande nedfall kammaren och de enda kristall SrTiO3 (STO) substratesna.

  1. Använd 10 mm x 10 mm SrTiO3 (STO) singel-kristall substrat under den RF magnetron sputtering processen.
  2. Sekventiellt ren substratesna i isopropanol och avjoniserat vatten för 10 min varje vid rumstemperatur i ultraljudsbad. Torka sedan substratesna med kväve, vilket är för enhetlig beläggning av substrat och bra film följsamhet.
  3. Montera de (001) STO substratesna i substrat innehavare med silver pulver ledande lim. Lägg dessa i en vakuumkammare.
  4. Montera LSMO målet i magnetron injektion pistolen, och sedan montera pistolen. Testa motståndet med en ohmmeter, att undvika kortslutning mellan magnetron och omgivande sköld. Stäng vakuumkammare är stängd och pumpen ner.
  5. När dammsugaren är lägre än 1 x 10-4 Pa, Värm substratesna till 850 ° C med hjälp av en värme hastighet av 15 ° C/min. Ställ in mål-substrat avståndet till 8 cm.
  6. Ange massflödesregulator 10 sccm o och 5 sccm ar som arbetar gasflödet. Använda Ar / O blandad gas att hålla O katjoniska baserat (3) för La0,67Sr0,33MnO3 -material under tillväxt.
  7. Innan nedfall, pre sputter LSMO målet för 20 min 30 W. High power kommer att leda till sprickor i målet och med låg effekt kommer att leda till mer tid för en ren yta, så vi väljer 20 min för 30 W.

2. LSMO nanopartiklar nedfall

Obs: Det här avsnittet beskrivs nedfall av de LSMO nanopartiklarna genom RF-magnetron sputtering.

  1. Att få en kammare trycket 25 Pa, justera molekylära pumpen splint ventilen. Om omedelbar värdet blir större än 25 Pa, rotera den moturs; om det blir mindre än 25Pa, rotera den medsols. Fortsätt tills trycket har avgjort att ett stabilt värde.
  2. Kontrollera att substrat temperaturen förblir vid 850 ° C och är stabil.
  3. Öka kraften i magnetron från 30 till 80 W. vänta 10 min, tills plasma är stabiliserad.
  4. Öppna slutaren och deponera LSMO på uppvärmd substratet.
    Obs: Vi använde sputtring gånger av 5, 10, 30 och 60 s för fyra prover.
  5. Stänga slutaren. Stänga av strömmen till magnetron. Stäng gasventilen och stänga av värmaren strömmen.
  6. Cool proven till rumstemperatur. Ovanligt, tar detta minst två timmar i detta system. Ventilera kammaren med torrt kväve, öppna den och ta bort proverna.

3. GdBa2Cu3O7−δ filmen nedfall

  1. Montera GdBa2Cu3O7−δmålet i magnetron pistolen och sedan återmontera pistolen. Deponera någon (Gd) BCO filmer, med steg liknar steg 1.4-2.8. Använd liknande nedfall villkor för (Gd) BCO filmer när det gäller de LSMO nanopartiklarna, utom sputtring tiden som bör vara 30 min. Efter detta, tillväxten kommer att vara över, och nästa steg är efter glödgning.
  2. Minska provtemperaturen till 500° C. Sedan, öppna gasventilen för syre för att ge en kammare trycket av 75 000 Pa. Hold proverna vid denna temperatur i en timme.
    Obs: Temperaturen för 500 ° C och 75 000 kammare trycket Pa är för att ett enhetligt sätt uppnå LSMO nanopartiklar.
  3. Cool proven till rumstemperatur. Ventilera kammaren med torrt kväve, öppna den och ta bort proverna.

Subscription Required. Please recommend JoVE to your librarian.

Representative Results

or Start trial to access full content. Learn more about your institution’s access to JoVE content here

Tjocklek (Gd) BCO filmer på båda nakna och LSMO inredda STO substrat var 500nm, vilket mättes genom en yta profilometer. Filmtjockleken kontrollerades av sputtring tid. Figur 1a b visar AFM bilden av LSMO nanopartiklar (sputtring tid 10 s) på 1,0 x 1.0 cm singel-kristall STO substrat att bevisa att de LSMO nanopartiklar odlas på STO substrat jämnt. Ytan och att mäta ojämnheter på filmerna präglades av atomic force microscopy (AFM) arbetar i att trycka på Mode. Diametern på dessa LSMO nanopartiklar varierade från 10 till 20 nm. Deras höjd varierade från 20 till 50 nm. Med en lämplig justering av deponerade parametrar, såsom tillväxt temperaturer och target-substrat avstånd, kunde olika ytans topografi uppnås, som visas i figur 1 cd. Vid en låg temperatur (650 ° C) erhölls partikel- och linje blandat topografi, som kan ses i figur 1 c. Dessutom kan ett litet mål-substrat avstånd (6 cm) leda till en hög täthet av LSMO partiklar med liten storlek (figur 1 d). Strukturen på de LSMO nanopartiklarna (sputtring tid 10 s) och (Gd) BCO filmer (figur 2) mättes genom röntgen diffractometer (XRD) mätning med Cu K strålning drivs på 40 kV och 20 mA. I figur 3, resultaten redovisas för två representativa (Gd) BCO prover enligt ovan: (Gd) BCO filmer på odekorerat och LSMO inredda substrat. Supraledande övergångstemperaturen (Tc) var nära 90,5 K för ren GBCO film och 90,3 K för LSMO/GBCO filmer. Här nästan lika Tc värdet anger LSMO nanopartiklar inte skadar egenskapen supraledande (Tc) för (Gd) BCO filmer. Högre lutningen ange mindre Tc bredd för ren GBCO film jämfört med LSMO/GBCO filmer. Magnetisering hysteres slingor för dessa två prover är ritade i figur 4. Som jämförelse är M-H loop området mycket större mellan 0 till 6 T på 30K för (Gd) BCO filmer tillverkade på LSMO inredda substrat. Samma trend finns på 50 och 77 K.

Representant J-H distributioner visas också för varje prov i figur 5. För en viss magnetfält beräknas dessa fördelningar som
Equation
där en och b är längden och bredden av testade provet. Ett magnetfält, som är vinkelrät mot planet som prov, en < b, appliceras under testprocessen. I vårt fall en och b är 3 mm och 4 mm, respektive. ΔM symboler i formeln är skillnaden mellan övre och nedre värden av en magnetisk hysteres slinga i samma h, som visas i figur 4. Kritisk strömtäthet och dess beroenden av fälthjälp ger mer information för effekten av LSMO nanopartiklar på flux fästa boenden. Dessa data i figur 5a tyder på att (Gd) BCO filmen deponeras på LSMO inredda substrat besitter en högre Jc värde från 1,3 till 6 T på 30 K. Dessutom som visas i Figur 5b, inredda (Gd) BCO filmen tillverkad i LSMO substrat visar ett högre Jc värde från 0 till 6 T på 77 K. De två fenomenen i figur 5 tyder på att en ytterligare fastnålnings mekanism finns i (Gd) BCO filmer på LSMO inredda substrat. Vi utnämnde den till magnetiska sätter, vilket beror på LSMO nanopartiklar deponeras på substratet.

Fastnålnings kraft tätheten beräknades genom Fp = Jc × B. Det beräknade resultatet visas i figur 6ab. Det finns ett gränsövergångsställe på 1.3T för Fp (max) värde på 30 K (figur 6a), över vilken, inredda provet har större värde för Fp. Fp (max) värdet på 77K flyttade till ett högre värde på H (från 0,6 T till 2,5 T) för prov med dekoration, som visas i figur 6b. Denna skillnad visar också det finns olika fästa mekanismer för (Gd) BCO film med och utan LSMO dekoration.

Vi mätte kritisk strömtäthet beroendet av magnetfält orientering för att erhålla ytterligare intressant information om vortex fästa boenden. Figur 7 visar kantiga beroendet av Jc på 0.3T och 77 K för (Gd) BCO film med och utan LSMO dekoration. Det visar sig att den mest framträdande ökningen av Jc är c-axeln. Detta tyder på att det är mer effektivt på en fältet orientering av H / / c för LSMO inredda (Gd) BCO film. För att förklara fenomenet, vi visar en schematisk i infällt i figur 7, som visar gängning dislokationer genereras på H / / c riktning. Vi anser att de trädande dislokationer längs c-axeln i en (Gd) BCO film med LSMO dekoration är ansvarig för detta fenomen.

Figure 1
Figur 1: Atomic Force mikroskopiska bilden av LSMO nanopartiklar inredda STO substrat. (a) 2D-bild, (b) 3D-bild, (c) 3D-bild av provet odlas på en låg temperatur (650 ° C) och (d) 3D-bild av provet odlas på små mål-substrat avstånd (6 cm). Återges med tillstånd från tidigare arbete12. Copyright 2018 Elsevier. Klicka här för att se en större version av denna siffra.

Figure 2
Figur 2: XRD mönster av (Gd) BCO tunna filmer fabricerade på odekorerat och LSMO nanopartiklar inredda STO substrat. Omtryckt med tillåtelse från tidigare arbete12. Copyright 2018 Elsevier. Klicka här för att se en större version av denna siffra.

Figure 3
Figur 3: DC magnetisering mätningar av supraledande övergången Tc för (Gd) BCO tunna filmer fabricerade på odekorerat och LSMO nanopartiklar inredda STO substrat. Omtryckt med tillåtelse från tidigare arbete12. Copyright 2018 Elsevier. Klicka här för att se en större version av denna siffra.

Figure 4
Figur 4: magnetisering hysteres öglor för (Gd) BCO tunna filmer på den outsmyckade och LSMO nanopartiklar inredda STO substrat vid tre olika temperaturer. (a) 30 K, (b) 50 K och (c) 77 K. Omtryckt med tillåtelse från tidigare arbete12. Copyright 2018 Elsevier. Klicka här för att se en större version av denna siffra.

Figure 5
Figur 5: fältet beroendet av Jc (kritisk strömtäthet) för (Gd) BCO tunna filmer på odekorerat och LSMO inredda STO substrat på (a) 30 K och b 77 K. Omtryckt med tillåtelse från tidigare arbete12. Copyright 2018 Elsevier. Klicka här för att se en större version av denna siffra.

Figure 6
Figur 6: ändring av Fp som en funktion av tillämpad magnetfältet (Gd) BCO filmerna deponeras på odekorerat och LSMO-Nanopartikel-inredda STO substrat. (en) 30 K och (b), 77 K. Reprinted med tillstånd från tidigare arbete12. Copyright 2018 Elsevier. Klicka här för att se en större version av denna siffra.

Figure 7
Figur 7: beroendet av Jc på 0,3 T och 77 K på läggning av tillämpad magnetfältet, i förhållande till filmens normala riktning. Infällt visar en Schematisk bild av gängning dislokationer genereras längs c-axeln i LSMO inredda (Gd) BCO tunn film. Omtryckt med tillåtelse från tidigare arbete12. Copyright 2018 Elsevier. Klicka här för att se en större version av denna siffra.

Figure 7
Figur S1: bild av RF sputtring system. Klicka här för att se en större version av denna siffra.

Subscription Required. Please recommend JoVE to your librarian.

Discussion

or Start trial to access full content. Learn more about your institution’s access to JoVE content here

Här har vi visat att denna metod kan användas för att förbereda LSMO ferromagnetiska nanopartiklar av jämn fördelning på SrTiO3 (STO) singel-kristall substrat. (Gd) BCO filmerna också kan deponeras på båda nakna och LSMO inredda STO substrat. Med en lämplig justering av deponerade parametrar, såsom tillväxt temperaturer och target-substrat avstånd, borde denna metod vara användbar för deponerade olika typer av magnetiska och icke-magnetiska partiklar eller lager, till exempel VD2, YSZ ( yttrium-stabiliserad zirkonoxid)24, och ITO (Indium tinoxiden).

Ett avgörande steg i protokollet är sputtring tiden för nedfall av LSMO partiklar. I protokollet behövs sputtring tid. Om sputtring tiden är för lång, kommer att detta utgöra kontinuerlig LSMO tunn film inte nanopartiklar. Däremot, om sputtring tiden är för kort, tätheten av LSMO nanopartiklar är inte tillräckligt och det kommer att påverka nuvarande redovisade möjlighet för övre GBCO filmer. För GBCO filmer, för att uppnå epitaxyen, behövs användning av en enda kristall substrate. I vårt fall behöver LSMO nanopartiklar inte uppnå epitaxyen, men behöver bara större täthet och rätt storlek att öka topp GBCO supraledande egenskaper. I detta betänkande används sputtring gånger för att styra olika morfologi för LSMO nanopartiklar.

En nackdel med kammaren nedfall är att eftersom det finns ingen i situ QCM (quartz crystal microbalance) sensor, vi inte kan övervaka i realtid filmtjocklek och nedfall under tillväxtprocessen. I vårt fall, kan tjockleken på GBCO filmer styras genom sputtering gånger. Nedfall är av de GBCO filmerna presenteras här ca 15 nm/min. Slutligen, som nämnts i inledningen, tillverkning av LSMO nanopartiklar har framgångsrikt uppnås antingen metall organiska nedbrytning metoder (MOD) eller pulsad laser nedfall metoder (PLD). Metoden PLD äger långsammare nedfall och innebär en större investering, medan MOD metod resultat enhetlig fördelning och låg reproduktion. När det gäller RF sputtring nedfall, kan det ge partiklar med enhetlig fördelning och lägre investeringar avseende PLD metod. Proceduren nanopartiklar nedfall kan också skalas upp att bestryka större ytor enkelt.

Sammanfattningsvis visar vi en RF sputtring metod att skapa ferromagnetiska LSMO nanopartiklar på STO substrat och GBCO supraledande filmer på kala och LSMO inredda STO substrat. Dessa ferromagnetiska LSMO nanopartiklar har aldrig syntetiserats av RF sputtring nedfall innan. Denna RF sputtring metod kan belägga nanopartiklar jämnt på SrTiO3 (STO) singel-kristall substrat eller hög texturerat substrat med olika partikel täthet och storlek17,25. Denna funktion möjliggör framtida tillämpning av RF sputtring ferromagnetiska nanopartiklar i elektronik anordningen på singel-kristall substrat eller flexibel och starkt texturerat substrat.

Subscription Required. Please recommend JoVE to your librarian.

Disclosures

Författarna har något att avslöja.

Acknowledgments

Detta arbete stöds av den nationella naturvetenskap Foundation i Kina (nr. 51502168; No.11504227) och Shanghai kommunala naturvetenskap Foundation (No.16ZR1413600). Författarna tackar tacksamt instrumentell analys Center av Shanghai Jiao Tong University och Ma-tek analytisk lab för behöriga tekniskt bistånd.

Materials

Name Company Catalog Number Comments
Sputter Deposition System Shenyang scientific instruments Limited by Share Ltd Bespoke
SrTiO3 Single Crystal Substrate Hefei Ke crystal material technology Co., Ltd Single-sided epi-polished (001) orientation
La0.67Sr0.33MnO3 sputtering target Hefei Ke crystal material technology Co., Ltd Bespoke 60 mm diameter
GdBa2Cu3O7δ sputtering target Hefei Ke crystal material technology Co., Ltd Bespoke 60 mm diameter
Atomic Force Microscope Brüker Dimension Icon
X-ray Diffractometer Brüker D8 Discover
Physical Property Measurement System Quantum Design PPMS 9

DOWNLOAD MATERIALS LIST

References

  1. Gong, J., Zheng, D., Li, D., Jin, C., Bai, H. Lattice distortion modified anisotropic magnetoresistance in epitaxial La0.67Sr0.33MnO3 thin films. Journal of Alloys and Compounds. 735, 1152-1157 (2018).
  2. Wang, J., Han, Z., Bai, J., Luo, B., Chen, C. Magnetoelectric coupling in oxygen deficient La0.67Sr0.33MnO3-δ/BaTiO3 composite film. Physica B: Condensed Matter. 534, 141-144 (2018).
  3. Duan, Z., et al. Facile fabrication of micro-patterned LSMO films with unchanged magnetic properties by photosensitive sol-gel method on LaAlO3 substrates. Ceramics International. 42, (12), 14100-14106 (2016).
  4. Xu, P., Huffman, T. J., Kwak, I. H., Biswas, A., Qazilbash, M. M. Temperature dependent infrared nano-imaging of La0.67Sr0.33MnO3 thin film. Journal of Physics-Condensed Matter. 30, (2), (2018).
  5. Bulaevskii, L. N., Chudnovsky, E. M., Maley, M. P. Magnetic pinning in superconductor-ferromagnet multilayers. Applied Physics Letters. 76, (18), 2594-2596 (2000).
  6. Chen, C. Z., et al. Flux pinning of stress-induced magnetic inhomogeneity in the bilayers of YBa2Cu3O7−δ/La0.67Sr0.33MnO3−δ. Journal of Applied Physics. 106, (9), 093902 (2009).
  7. Chen, C. Z., et al. Robust high-temperature magnetic pinning induced by proximity in YBa2Cu3O7−δ/La0.67Sr0.33MnO3 hybrids. Journal of Applied Physics. 109, (7), 073921 (2011).
  8. Huang, J., et al. Magnetic properties of (CoFe2O4)x:(CeO2)1−x vertically aligned nanocomposites and their pinning properties in YBa2Cu3O7−δ thin films. Journal of Applied Physics. 115, (12), 123902 (2014).
  9. Lange, M., Bael, M. J. V., Bruynseraede, Y., Moshchalkov, V. V. Nanoengineered Magnetic-Field-Induced Superconductivity. Physical Review Letters. 90, (19), 197006 (1970).
  10. Rakshit, R. K., Budhani, R. C., Bhuvana, T., Kulkarni, V. N., Kulkarni, G. U. Inhomogeneous vortex-state-driven enhancement of superconductivity in nanoengineered ferromagnet-superconductor heterostructures. Physical Review B. 77, (5), 052509 (2008).
  11. Guo, H., Ward, T. Z. Fabrication of Spatially Confined Complex Oxides. Journal of Visualized Experiments. 77, e50573 (2013).
  12. Wang, Y., Li, Y., Liu, L., Xu, D. Improvement of flux pinning in GdBa2Cu3O7-delta thin film by nanoscale ferromagnetic La0.67Sr0.33MnO3 pretreatment of substrate surface. Ceramics International. 44, (1), 225-230 (2018).
  13. Martín, J. I., Vélez, M., Nogués, J., Schuller, I. K. Flux Pinning in a Superconductor by an Array of Submicrometer Magnetic Dots. Physical Review Letters. 79, (10), 1929-1932 (1997).
  14. Morgan, D. J., Ketterson, J. B. Asymmetric Flux Pinning in a Regular Array of Magnetic Dipoles. Physical Review Letters. 80, (16), 3614-3617 (1998).
  15. Gutierrez, J., et al. Anisotropic c-axis pinning in interfacial self-assembled nanostructured trifluoracetate-YBa2Cu3O7−x films. Applied Physics Letters. 94, (17), 172513 (2009).
  16. Tran, D. H., et al. Enhanced critical current density in GdBa2Cu3O7-δ thin films with substrate surface decoration using Gd2O3 nanoparticles. Thin Solid Films. 526, (0), 241-245 (2012).
  17. Jha, A. K., Khare, N., Pinto, R. Interface engineering using ferromagnetic nanoparticles for enhancing pinning in YBa2Cu3O7-delta thin film. Journal of Applied Physics. 110, (11), (2011).
  18. Casotti, D., et al. Ageing effects on electrical resistivity of Nb-doped TiO2 thin films deposited at a high rate by reactive DC magnetron sputtering. Applied Surface Science. 455, 267-275 (2018).
  19. Li, Y., et al. Preparation of single-phase Ti2AlN coating by magnetron sputtering with cost-efficient hot-pressed Ti-Al-N targets. Ceramics International. 44, (14), 17530-17534 (2018).
  20. Mahdhi, H., Djessas, K., Ben Ayadi, Z. Synthesis and characteristics of Ca-doped ZnO thin films by rf magnetron sputtering at low temperature. Materials Letters. 214, 10-14 (2018).
  21. Shen, H., Wei, B., Zhang, D., Qi, Z., Wang, Z. Magnetron sputtered NbN thin film electrodes for supercapacitors. Materials Letters. 229, 17-20 (2018).
  22. Sinnarasa, I., et al. Influence of thickness and microstructure on thermoelectric properties of Mg-doped CuCrO2 delafossite thin films deposited by RF-magnetron sputtering. Applied Surface Science. 244-250 (2018).
  23. Thi-Thuy-Nga, N., Chen, Y. -H., Chen, Z. -M., Cheng, K. -B., He, J. -L. Microstructure near infrared reflectance, and surface temperature of Ti-O coated polyethylene terephthalate fabrics prepared by roll-to-roll high power impulse magnetron sputtering system. Thin Solid Films. 1-8 (2018).
  24. Wang, Y., Xu, D., Li, Y., Liu, L. Texture and morphology developments of Yttria-stabilized zirconia (YSZ) buffer layer for coated conductors by RF sputtering. Surface & Coatings Technology. 232, 497-503 (2013).
  25. Petrisor, T. Jr, et al. Magnetic pinning effects of epitaxial LaxSr1-xMnO3 nanostructured thin films on YBa2Cu3O7-delta layers. Journal of Applied Physics. 112, (5), (2012).
Radiofrekvens Magnetron Sputtering av GdBa<sub>2</sub>Cu<sub>3</sub>O<sub>7</sub><sub>−</sub><sub>δ</sub>/ La<sub>0,67</sub>Sr<sub>0,33</sub>MnO<sub>3</sub> kvasi lipidens filmer på SrTiO<sub>3</sub> (STO) singel-kristall substrat
Play Video
PDF DOI DOWNLOAD MATERIALS LIST

Cite this Article

Wang, Y., Li, Z., Liu, Y., Li, Y., Liu, L., Xu, D., Luo, X., Gao, T., Zhu, Y., Zhou, L., Xu, J. Radio Frequency Magnetron Sputtering of GdBa2Cu3O7−δ/ La0.67Sr0.33MnO3 Quasi-bilayer Films on SrTiO3 (STO) Single-crystal Substrates. J. Vis. Exp. (146), e58069, doi:10.3791/58069 (2019).More

Wang, Y., Li, Z., Liu, Y., Li, Y., Liu, L., Xu, D., Luo, X., Gao, T., Zhu, Y., Zhou, L., Xu, J. Radio Frequency Magnetron Sputtering of GdBa2Cu3O7δ/ La0.67Sr0.33MnO3 Quasi-bilayer Films on SrTiO3 (STO) Single-crystal Substrates. J. Vis. Exp. (146), e58069, doi:10.3791/58069 (2019).

Less
Copy Citation Download Citation Reprints and Permissions
View Video

Get cutting-edge science videos from JoVE sent straight to your inbox every month.

Waiting X
simple hit counter