Summary
Flexibele elektroden hebben een breed scala aan toepassingen in zachte robotica en draagbare elektronica. Het huidige protocol demonstreert een nieuwe strategie om zeer rekbare elektroden met hoge resolutie te fabriceren via lithografisch gedefinieerde microfluïdische kanalen, wat de weg vrijmaakt voor toekomstige hoogwaardige zachte druksensoren.
Abstract
Flexibele en rekbare elektroden zijn essentiële componenten in zachte kunstmatige sensorische systemen. Ondanks recente ontwikkelingen in flexibele elektronica, worden de meeste elektroden beperkt door de patroonresolutie of de mogelijkheid van inkjetprinten met superelastische materialen met een hoge viscositeit. In dit artikel presenteren we een eenvoudige strategie om op microkanalen gebaseerde rekbare composietelektroden te fabriceren, die kunnen worden bereikt door elastische geleidende polymeercomposieten (ECPC's) in lithografisch reliëf microfluïdische kanalen te schrapen. De ECPC's werden bereid met behulp van een verdampingsmethode met vluchtige oplosmiddelen, waarbij een uniforme dispersie van koolstofnanobuisjes (CNT's) in een polydimethylsiloxaan (PDMS) matrix wordt bereikt. In vergelijking met conventionele fabricagemethoden kan de voorgestelde techniek de snelle fabricage van goed gedefinieerde rekbare elektroden met slurry met hoge viscositeit vergemakkelijken. Omdat de elektroden in dit werk waren opgebouwd uit volledig elastomeermaterialen, kunnen sterke onderlinge verbindingen worden gevormd tussen de op ECPC's gebaseerde elektroden en het op PDMS gebaseerde substraat op de interfaces van de microkanaalwanden, waardoor de elektroden mechanische robuustheid kunnen vertonen onder spanningen met hoge treksterkte. Daarnaast werd ook de mechanisch-elektrische respons van de elektroden systematisch bestudeerd. Ten slotte werd een zachte druksensor ontwikkeld door een diëlektrisch siliconenschuim en een interdigitated electrodes (IDE) -laag te combineren, en dit toonde een groot potentieel voor druksensoren in zachte robotachtige tactiele detectietoepassingen.
Introduction
Zachte druksensoren zijn op grote schaal onderzocht in toepassingen zoals pneumatische robotgrijpers1, draagbare elektronica2, mens-machine-interfacesystemen3, enz. In dergelijke toepassingen vereist het sensorische systeem flexibiliteit en rekbaarheid om conformaal contact met willekeurige kromlijnige oppervlakken te garanderen. Daarom vereist het alle essentiële componenten, inclusief het substraat, het transducerende element en de elektrode, om consistente functionaliteit te bieden onder extreme vervormingsomstandigheden4. Om hoge detectieprestaties te behouden, is het bovendien essentieel om de veranderingen in de zachte elektroden tot het minimumniveau te beperken om interferentie in de elektrische detectiesignalen te voorkomen5.
Als een van de kerncomponenten in zachte druksensoren zijn rekbare elektroden die hoge spannings- en rekniveaus kunnen ondersteunen cruciaal voor het apparaat om stabiele geleidende paden en impedantie-eigenschappen te behouden 6,7. Zachte elektroden met uitstekende prestaties bezitten meestal 1) hoge ruimtelijke resolutie op micrometerschaal en 2) hoge rekbaarheid met sterke hechting aan het substraat, en dit zijn onmisbare kenmerken om sterk geïntegreerde zachte elektronica in een draagbare maat8 mogelijk te maken. Daarom zijn onlangs verschillende strategieën voorgesteld om zachte elektroden te ontwikkelen met de bovenstaande eigenschappen, zoals inkjetdruk, zeefdruk, spuitdruk en transferdruk, enz. 9. De inkjetdrukmethode6 is veel gebruikt vanwege de voordelen van eenvoudige fabricage, geen maskeringsvereiste en een lage hoeveelheid materiaalafval, maar het is moeilijk om patronen met een hoge resolutie te bereiken vanwege beperkingen in termen van de inktviscositeit. Zeefdruk10 en spuitdruk11 zijn eenvoudige en kosteneffectieve patroonmethoden die een schaduwmasker op het substraat vereisen. De werking van het plaatsen of verwijderen van het masker kan echter de helderheid van het patroon verminderen. Hoewel transfer printing4 naar verluidt een veelbelovende manier is om afdrukken met een hoge resolutie te bereiken, lijdt deze methode aan een gecompliceerde procedure en een tijdrovend afdrukproces. Bovendien hebben de meeste zachte elektroden die door deze patroonmethoden worden geproduceerd andere nadelen, zoals delaminatie van het substraat.
Hierin presenteren we een nieuwe afdrukmethode voor de snelle fabricage van kosteneffectieve en hoge resolutie zachte elektroden op basis van microfluïdische kanaalconfiguraties. In vergelijking met andere conventionele fabricagemethoden maakt de voorgestelde strategie gebruik van elastische geleidende polymeercomposieten (ECPC's) als het geleidende materiaal en lithografisch reliëf microfluïdische kanalen om de elektrodesporen te modelleren. De ECPCs-slurry wordt bereid volgens de oplosmiddelverdampingsmethode en bestaat uit 7 wt.% koolstofnanobuisjes (CNT's) die goed zijn gedispergeerd in een polydimethylsiloxaan (PDMS) matrix. Door de drijfmest van de ECPC's in het microfluïdische kanaal te schrapen, kunnen elektroden met een hoge resolutie worden geproduceerd die worden gedefinieerd door lithografische patronen. Omdat de elektrode voornamelijk gebaseerd is op PDMS, wordt bovendien een sterke hechting gecreëerd op het grensvlak tussen de op ECPC's gebaseerde elektrode en het PDMS-substraat. Zo kan de elektrode een rekniveau zo hoog als het PDMS-substraat ondersteunen. De experimentele resultaten bevestigen dat de voorgestelde rekbare elektrode lineair kan reageren op axiale spanningen tot 30% en een uitstekende stabiliteit vertoont in een hogedrukbereik van 0-400 kPa, wat wijst op het grote potentieel van deze methode voor het fabriceren van zachte elektroden in capacitieve druksensoren, wat ook in dit werk wordt aangetoond.
Subscription Required. Please recommend JoVE to your librarian.
Protocol
1. Synthese van de ECPC's drijfmest
- Dispergeer de CNT's tot een tolueenoplosmiddel met een gewichtsverhouding van 1:30 en verdun de PDMS-basis met tolueen met een gewichtsverhouding van 1:1.
OPMERKING: De gehele experimentele procedure, die is weergegeven in figuur 1, moet worden uitgevoerd in een goed geventileerde zuurkast. - Roer de CNT's/tolueensuspensie en de PDMS/tolueenoplossing gedurende 1 uur magnetisch bij kamertemperatuur.
OPMERKING: Met deze stap kunnen de CNT's goed worden verspreid in de PDMS-matrix in de volgende stap. - Meng de CNT's/tolueensuspensie en de PDMS/tolueenoplossing tot een vloeibaar mengsel van CNT's/PDMS/tolueen en roer dit mengsel magnetisch op een kookplaat bij 80 °C om het oplosmiddel (tolueen) te verdampen.
OPMERKING: De verdamping van het oplosmiddel verhoogt de viscositeit van de oplossing, die nauwkeurig moet worden geregeld om het mengproces in de volgende stap te vergemakkelijken. De tijd die nodig is voor volledige verdamping van oplosmiddelen is 2 uur. - Voeg PDMS-uithardingsmiddel toe aan het CNT/PDMS/tolueenmengsel in een gewichtsverhouding van 10:1.
OPMERKING: In dit stadium is de synthese van de ECPCs-drijfmest voltooid.
2. Fabricage van de op microfluïdische kanalen gebaseerde rekbare elektroden
- Bereid de op SU-8 gebaseerde mal voor met verschillende patronen van microfluïdische kanalen met behulp van de conventionele lithografietechniek op een Si-wafer.
OPMERKING: Het lithografieproces van de mal volgt de standaardmethode die wordt voorgesteld in het gegevensblad van de gebruikte fotoresist; De dikte van mallen is ongeveer 100 μm, terwijl drie verschillende lijnbreedtes van 50 μm, 100 μm en 200 μm worden gebruikt voor alle sporenstructuren. - Voer een silanisatieproces uit op de SU-8-mal door de mal onder te dompelen in de (3-aminopropyl) triethoxysilaanoplossing.
OPMERKING: Deze stap vergemakkelijkt het afpellen van het PDMS. - Meng de PDMS-basisoplossing en het uithardingsmiddel met een gewichtsverhouding van 10:1 en plaats het niet-uitgeharde PDMS-mengsel in een vacuümexsiccator totdat alle luchtbellen verdwijnen.
- Giet het ontgaste mengsel op de mal vervaardigd in stap 2.1 en plaats de mal met de niet-uitgeharde PDMS-oplossing op een kookplaat bij 85 °C gedurende 1 uur om het PDMS volledig uit te harden en het patroon van de mal over te brengen op de uitgeharde PDMS-film. Verwijder de PDMS-laag met behulp van een mes.
- Giet een kleine hoeveelheid van de in stap 1 voorbereide ECPC's op het PDMS-oppervlak. Schraap de EBC-slurry voorzichtig langs het microfluïdische kanaal in reliëf met behulp van een scheermesje.
OPMERKING: Tijdens dit schraap-coatingproces wordt de zeer viskeuze ECPCs-slurry effectief gevangen in het microkanaalpatroon en kunnen residuen die op het PDMS-oppervlak achterblijven tegelijkertijd door het mes worden verwijderd. Als het moeilijk is om de drijfmest van ECPC's in het microkanaal te schrapen, wordt aanbevolen om het monster te verwarmen om de viscositeit te verhogen. Deze coatingstap kan meerdere keren worden herhaald totdat het microkanaal is gevuld en continu geleidende elektroden zijn gevormd. - Verwarm het monster gedurende 2 uur op 70 °C.
- Verbind koperdraden met de twee uiteinden van de elektroden die in de laatste stap zijn vervaardigd met behulp van geleidende zilverpasta. De aansluitplek wordt verder afgedicht en beschermd door de zelfklevende rubberen kit.
OPMERKING: In dit stadium is de fabricage van de op ECPC's gebaseerde rekbare elektroden voltooid, zoals weergegeven in figuur 2.
3. Fabricage van de capacitieve druksensor
- Fabriceer de zachte elektrode met een geïndigiteerd randeffectontwerp met behulp van de voorgestelde methode (stappen 2.1-2.7).
OPMERKING: De interelectrode gap en lijnbreedte van het geïnterdigiteerde fringe effect ontwerp zijn ingesteld op hetzelfde en er worden twee configuraties gefabriceerd: 200 μm en 300 μm. Vóór de verwarmingsprocedure (stap 2.6), die de elektrode kan uitharden, wordt aanbevolen om het elektrodeoppervlak te reinigen met plakband om mogelijke kortsluiting tussen de twee elektrodesporen in de geïntercenteerde structuur te voorkomen, omdat de scotch tape selectief kan blijven kleven aan de overmatige niet-uitgeharde ECPC-slurry die op het PDMS-oppervlak achterblijft en de ECPC's die in het microkanaal zijn gevuld, kunnen worden behouden. - Bereid een 3D-geprinte mal voor.
OPMERKING: De mal is ontworpen om een holte te hebben (3 cm breed, 4 cm lang en met een hoogte van 10 mm) met een opening waarin de vloeibare siliconen kunnen worden gegoten. - Meng de twee componenten van het flexibele platinasiliconenschuim grondig met gewichtsverhoudingen voor deel A: deel B van 1: 1 en 6: 1 om diëlektrische lagen zacht siliconenschuim met twee poriegroottes te bereiden. Roer snel.
OPMERKING: De porositeit kan worden geregeld door de mengverhouding van deel A en deel B aan te passen. - Giet het mengsel van de laatste stap in de vorm gemaakt in stap 3.2.
- Gebruik een plank met verschillende gaten om de malopening te bedekken.
- Laat het mengsel gedurende 1 uur bij kamertemperatuur uitharden.
OPMERKING: Omdat het siliconenschuim na uitharding uitzet tot twee tot drie keer het oorspronkelijke volume, zal het schuim uit de gaten groeien, wat betekent dat de dikte van het schuim in de holte gelijk is aan de hoogte van de schimmelholte. - Knip het overtollige siliconenschuim dat door gaten komt en verwijder het bord.
- Plaats het voorbereide diëlektrische schuim bovenop de geïnterdigiteerde zachte elektrodelaag om de fabricage van de druksensor te voltooien.
OPMERKING: De dikte van het uitgeharde siliconenschuim is 10 mm.
4. Rekkarakterisering voor de elektrode
- Klem de in stap 2 vervaardigde elektrode tussen de bewegende trappen van een gemodificeerde stappenmotor.
- Breng uniaxiale spanning aan op de elektrode door de bewegende trap te regelen om de elektrode uit te rekken.
OPMERKING: De toegepaste rekbaarheid kan worden berekend uit de verplaatsing van de bewegende trap. - Gebruik een multimeter om de weerstandsmeting vast te leggen.
5. Drukkarakterisering voor de elektrode
- Fabriceer een zigzagelektrode met een ontwerp dat gelijkwaardig is aan de geïnterdigiteerde elektrode (stappen 2.1-2.7).
OPMERKING: Aangezien de kamelektroden van de geïnterdigiteerde elektrode meerdere vingers hebben, is de zigzagelektrode ontworpen om de vingers in één geleidend pad te assembleren om de elektrische eigenschappen van de geïnterdigiteerde elektrode te evalueren. De geteste elektrode omvat zes vingers met een breedte van 300 μm en de afstand tussen de vingers is 2 mm. - Monteer het druklaadplatform door een 3D-geprinte laadstang (2,5 cm in diameter), een standaard druksensor en de bewegende trap van een stappenmotor aan te sluiten.
- Plaats de gefabriceerde elektrode onder de 3D-geprinte laadstang.
- Oefen druk uit op de elektrode door de bewegende trap te regelen om de laadstang verticaal naar de elektrode te laten bewegen met een geprogrammeerde afstand.
OPMERKING: De druk kan worden geregeld door de verplaatsing van de bewegende trap in te stellen en de standaarddruk wordt berekend door de krachtmeting van de standaardkrachtsensor. - Gebruik een multimeter om de weerstandsmeting vast te leggen.
6. Drukkarakterisering voor de capacitieve druksensor
- Gebruik hetzelfde platform als in stap 5 om druk uit te oefenen op de capacitieve druksensor die in stap 3 is vervaardigd.
- Gebruik een LCR-meter om de capaciteitsmeting vast te leggen.
OPMERKING: De capaciteit wordt gemeten bij een testfrequentie van 1 kHz.
Subscription Required. Please recommend JoVE to your librarian.
Representative Results
Volgens het protocol kunnen ECPC's worden gemodelleerd via het microfluïdische kanaal, wat leidt tot de vorming van rekbare elektroden met een hoge resolutie. Figuren 3A, B tonen foto's van zachte elektroden met verschillende sporenontwerpen en printresoluties. Figuur 3C toont de verschillende lijnbreedtes van de gefabriceerde elektroden, waaronder 50 μm, 100 μm en 200 μm. De weerstand van elke elektrode is weergegeven in figuur 3D, die laat zien dat de weerstand toenam met afnemende lijnbreedtes, zoals verwacht op basis van de wet van Ohm. De serpentijnelektroden vertoonden ook een hogere weerstand dan de elektroden van dezelfde breedte met een lijnstructuur vanwege de langere effectieve lengte van de serpentijnelektroden. De rekbaarheid van de zachte elektroden wordt ook aangetoond in figuur 3E, waaruit blijkt dat de sterke interfaces tussen de ECPC's en de microkanaalwand de elektrode in staat stelden een grote rekbaarheid te vertonen die vergelijkbaar is met het PDMS-substraat. Er werd ook opgemerkt dat de weerstand van zowel de lijn- als de serpentijnelektroden lineair toenam met de trekspanning in de lengterichting binnen het testbereik van 0% -30%. De resultaten geven aan dat de verandering in de weerstand puur kan worden toegeschreven aan het geometrische effect. Door het spanningsvrijgevende effect was de gevoeligheid van de serpentijnelektrode (S p) lager dan die van de lijnstructuurelektrode (Sl) voor dezelfde lijnbreedte. Bovendien werd met succes een complexer ontwerp van de interdigitated elektroden (IDE) ontwikkeld met een hoge ruimtelijke resolutie op basis van de voorgestelde fabricagemethode, zoals weergegeven in figuur 4. Een zigzag-elektrode (ZZE) ontwerp met een gelijkwaardige structuur werd ook vervaardigd om de elektrische stabiliteit van de IDE te testen. De gemeten weerstand vertoonde een variatie van 0,71% binnen het drukbereik van 0-415 kPa omdat er geen structurele schade in de elektrode was, wat aangeeft dat de IDE geschikt is voor drukdetectie.
Zoals te zien is in figuur 5A, werd in deze studie een zachte druksensor ontwikkeld door een diëlektrisch siliconenschuim en de IDE-laag te combineren. Wanneer externe druk op het schuim werd uitgeoefend, nam de diëlektrische constante toe als gevolg van de vermindering van de luchtvolumefractie (figuur 5B), wat leidde tot een toename van de sensorcapaciteit. De invloed van de IDE-lijnbreedtes en luchtvolumefracties op de capacitieve detectieprestaties werd onderzocht, zoals weergegeven in figuur 5C. Het bleek dat het apparaat met een lijnbreedte van 200 μm een hogere gevoeligheid had vanwege het sterkere randveldeffect. Het schuim met een hogere deel A:deel B gewichtsverhouding van 6:1 had ook een hogere gevoeligheid dan het schuim met een lagere luchtfractie; Dit resultaat kan worden verklaard door het feit dat het schuim met een gewichtsverhouding van 1: 1 veel meer lucht had, dus de impact van vervorming op de diëlektrische constante was lager, wat leidde tot een lagere gevoeligheid12. Bovendien wordt de herhaalbaarheid van de sensor aangetoond in figuur 5D; , Hier onthulde de cyclische test dat de gefabriceerde zachte capacitieve sensor een hoge herhaalbaarheid behield door 1.000 cyclische drukbelastingen. Dit komt omdat de schuimen met gesloten cellen weinig visco-elastisch gedrag vertonen, zodat het schuim geen permanente vervorming vertoont onder cyclische belasting.
Figuur 1: Fabricageproces van de ECPC's geleidende drijfmest . (A) Bereiding van de CNT's/tolueen suspensie. B) Bereiding van de PDMS/tolueenoplossing. C) Bereiding van de CNT's/PDMS/tolueensuspensie. D) Verdamping van het overtollige tolueenoplosmiddel. e) bereiding van de drijfmest van de EPC's. Klik hier om een grotere versie van deze figuur te bekijken.
Figuur 2: Fabricageproces van de zachte elektroden op basis van microfluïdische kanalen . (A) Lithografisch gedefinieerde SU-8-mal. (B) Ontwikkeling van het SU-8 matrijspatroon. (C) PDMS-patronen. (D) Scrape-coating van ECPC's drijfmest. Klik hier om een grotere versie van deze figuur te bekijken.
Figuur 3: Fabricage en weerstand van de rekbare elektroden. Foto's van elektroden in de vorm van (A) een strip en (schaalbalk, 5 mm) (B) een serpentijnontwerp met verschillende patroonresoluties (schaalbalk, 5 mm). (C) Optische microscoopafbeelding van de gefabriceerde elektroden met lijnbreedtes van respectievelijk 50 μm, 100 μm en 200 μm. d) De weerstand van de verschillende elektroden met verschillende lijnbreedtes. (E) De veranderingen in de weerstanden van de verschillende elektroden onder een trekspanning tot 30%. Klik hier om een grotere versie van deze figuur te bekijken.
Figuur 4: Stabiliteit van de weerstand van de geteste elektrode. De weerstand van de zachte elektrode met een IDE-equivalent ontwerp bleef ongewijzigd in een normaal drukbereik van 0-400 kPa. Klik hier om een grotere versie van deze figuur te bekijken.
Figuur 5: Karakterisering van de voorgestelde zachte druksensor. (A) Foto van de voorgestelde zachte capacitieve druksensor op basis van IDE en siliconen diëlektrisch schuim (schaalbalk, 5 mm). (B) Werkingsprincipe van de voorgestelde druksensor. (C) De veranderingen in de capaciteit van de druksensoren met verschillende IDE-lijnbreedtes en diëlektrische schuimporositeiten. (D) Cyclische test van de druksensor gedurende 1.000 cycli. Klik hier om een grotere versie van deze figuur te bekijken.
Subscription Required. Please recommend JoVE to your librarian.
Discussion
In dit protocol hebben we een nieuwe microfluïdische kanaalgebaseerde printmethode voor rekbare elektroden gedemonstreerd. Het geleidende materiaal van de elektrode, de ECPCs-slurry, kan worden bereid met behulp van de oplosmiddelverdampingsmethode, waardoor de CNT's goed kunnen worden gedispergeerd in de PDMS-matrix, waardoor een geleidend polymeer wordt gevormd dat een rekbaarheid vertoont die zo hoog is als het PDMS-substraat.
In het schraapproces wordt de drijfmest van ECPC's snel gevuld in het PDMS-microfluïdische kanaal met behulp van een scheermesje. Daarom speelt de viscositeit van de drijfmest een cruciale rol bij het schrapen. Een lagere viscositeit van de ECPC-slurry zou resulteren in gedeeltelijk gevulde microkanalen, wat een open-circuittoestand of een aanzienlijk hogere weerstand kan veroorzaken. Aan de andere kant kan een hogere viscositeit leiden tot overmatige slurry die op het PDMS-oppervlak achterblijft, waardoor kortsluiting in IDE-structuren met hoge resolutie ontstaat. Er moet ook worden opgemerkt dat hoewel de geleidende CNT's slechts een klein deel van 7 wt.% in de ECPC's slurry vertegenwoordigen, de megaohm-niveau hoge weerstand van de elektrode een verwaarloosbare invloed heeft op de detectieprestaties in zachte capacitieve druksensoren.
De voorgestelde methode is niet geschikt voor het vervaardigen van sterk geleidende elektroden. Daarom moet een verbeterd elektrisch netwerk van CNT-gedopeerd PDMS verder worden onderzocht om de geleidbaarheid van de elektroden te behouden wanneer ze worden uitgerekt.
Vergeleken met elektroden geproduceerd door de bestaande fabricagemethoden, zoals inkjetdruk6, zeefdruk10, spuitdruk11 en transferdruk4, hebben de voorgestelde microfluïdische kanaalgebaseerde zachte elektroden de voordelen van een hoge afdrukresolutie en hoge rekbaarheid met een sterke hechting aan het substraat.
Het protocol dat in dit onderzoek wordt gepresenteerd, combineert de verdiensten van de rekbare materialen en microfluïdische kanalen, waardoor een goedkope en snelle fabricagemethode mogelijk is voor het produceren van rekbare elektroden met hoge resolutie voor zachte robotachtige tactiele detectietoepassingen.
Subscription Required. Please recommend JoVE to your librarian.
Disclosures
De auteurs hebben niets te onthullen.
Acknowledgments
Dit werk werd ondersteund door de National Natural Science Foundation of China onder Grant 62273304.
Materials
| Name | Company | Catalog Number | Comments |
| Camera | OPLENIC DIGITAL CAMERA | ||
| Carbon nanotubes (CNTs) | Nanjing Xianfeng Nano-technology | Diameter:10-20 nm,Length:10-30 μm | |
| Hotplate stirrer | Thermo Scientific | Super-Nuova+ | Stirring and Heating Equipment |
| LCR meter | Keysight | E4980AL | Capacitance Measurment Equipment |
| Microscope | SDPTOP | ||
| Multimeter | Fluke | Resistance measurment Equipment | |
| Oven | Yamoto | DX412C | Heating equipment |
| Photo mask | Shenzhen Weina Electronic Technology | ||
| Photoresist | Microchem | SU-8 3050 | |
| Polydimethylsiloxane (PDMS) | Dow Corning | Sylgard 184 | Silicone Elastomer |
| Silicone foam | Smooth on | Soma Foama 25 | Two-component Platinum Silicone Flexible Foam |
| Silicone wafer | Suzhou Crystal Silicon Electronic & Technology | Diameter:2 inches | |
| Stirrer | IKA | Color Squid | Stirring Equipment |
| Toluene | Sinopharm Chemical Reagent | Solvent for the Preparation of ECPCs | |
| Triethoxysilane | Macklin |
References
- Sun, Z. D., et al. Artificial intelligence of things (AIoT) enabled virtual shop applications using self-powered sensor enhanced soft robotic manipulator. Advanced Science. 8 (14), 2100230 (2021).
- Lo, L. -W., et al. Inkjet-printed soft resistive pressure sensor patch for wearable electronics applications. Advanced Materials Technology. 5 (1), 1900717 (2020).
- Zhu, M. L., et al. Haptic-feedback smart glove as a creative human-machine interface (HMI) for virtual/augmented reality applications. Science Advances. 6 (19), (2020).
- Woo, S. -J., Kong, J. -H., Kim, D. -G., Kim, J. -M. A thin all-elastomeric capacitive pressure sensor array based on micro contact printed elastic conductors. Journal of Materials Chemistry C. 2 (22), 4415-4422 (2012).
- Tang, J., et al. Highly stretchable electrodes on wrinkled polydimethylsiloxane substrates. Scientific Reports. 5, 16527 (2015).
- Lo, L. -W., et al. An inkjet-printed PEDOT:PSS-based stretchable conductor for wearable health monitoring device applications. ACS Applied Materials & Interfaces. 13 (18), 21693-21702 (2021).
- Luo, R. -B., Li, H. -B., Du, B., Zhou, S. -S., Zhu, Y. -X. A simple strategy for high stretchable, flexible and conductive polymer films based on PEDOT:PSS-PDMS blends. Organic Electronics. 76, 105451 (2020).
- Zhang, Y., et al. Highly stable flexible pressure sensors with a quasi-homogeneous composition and interlinked interfaces. Nature Communications. 13, 1317 (2022).
- Hong, S., Lee, S., Kim, D. -H. Materials and design strategies of stretchable electrodes for electronic skin and its applications. Proceedings of the IEEE. 107 (10), 2185-2197 (2019).
- Shi, H., et al. Screen-printed soft capacitive sensors for spatial mapping of both positive and negative pressures. Advanced Functional Materials. 29 (23), 1809116 (2019).
- Mahmoudinezhad, M. H., Anderson, I., Rosset, S. Interdigitated sensor based on a silicone foam for subtle robotic manipulation. Macromolecular Rapid Communications. 42 (5), 2000560 (2019).
