Étalonnage de l’instrument, configuration expérimentale et réglage des paramètres pour l’imagerie de topographie de plaquettes de semi-conducteurs avec AFM

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Microscopie à force atomique à sonde active réseaux en porte-à-faux quattro-parallèles inspection d’échantillons à grande échelle à haut débit microscope à force atomique études de surface à l’échelle nanométrique images de topographie 3D débit d’imagerie systèmes AFM à grande vitesse vidéos de processus dynamiques réactions chimiques et biologiques plaquettes de semi-conducteurs structures nanofabriquées imagerie à résolution spatiale à l’échelle nanométrique échantillon statique haute productivité sonde en porte-à-faux passive système de déviation de faisceau optique débit d’imagerie Porte-à-faux actifs capteurs piézorésistifs intégrés actionneurs thermomécaniques fonctionnement en parallèle débit d’imagerie nano-positionneurs à grande portée algorithmes de contrôle algorithmes de post-traitement basés sur les données