Chapters
Summary
Please note that all translations are automatically generated.
Denne metode sigter mod at lokalisere vertikale undergrundsfejl. Her kobler vi en laser med en rumlig lysmodulator og udløser dens videoindgang for at opvarme en prøveoverflade deterministisk med to anti-fasede modulerede linjer, samtidig med at man opnår højt solide termiske billeder. Defektpositionen hentes fra evaluering af termisk bølgeinterferensminima.
