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Aerossol-assistida de deposição de Vapor químico de estruturas de óxido de Metal
 
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Aerossol-assistida de deposição de Vapor químico de estruturas de óxido de Metal: hastes de óxido de zinco

Article doi: 10.3791/56127
September 14th, 2017 •
1,2, 3, 4, 1, 1
1Instituto de Microelectrónica de Barcelona (IMB-CNM, CSIC), 2SIX Research Centre, Brno University of Technology, 3Institute of Physics of Material, Academy of Science of Czech Republic, 4Institute of Physical Engineering and Central European Institute of Technology, Brno University of Technology

Summary
Automatic Translation
September 14th, 2017

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Estruturas de colunar de óxido de zinco na forma de barras são sintetizadas por deposição de vapor químico assistida por aerossol sem o uso de partículas de catalisador-semente previamente depositadas. Este método é escalável e compatível com vários substratos baseados em silício, quartzo ou polímeros.

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