Aerosol-assisted Chemical Vapor Deposition of Metal Oxide Structures: Zinc Oxide Rods

Stella Vallejos; Nade&#780;z&#780;da Pizu&#769;rova&#769;; Jan &#268;echal; Isabel Gr&#224;cia; Carles Can&#233;

doi:10.3791/56127

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Aerosol-assisted Chemical Vapor Deposition von Metall-Oxid-Strukturen: Zinkoxid-Stangen

Aerosol-assisted Chemical Vapor Deposition of Metal Oxide Structures: Zinc Oxide Rods

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Aerosol-assisted Chemical Vapor Deposition of Metal Oxide Structures: Zinc Oxide Rods

Aerosol-assisted Chemical Vapor Deposition von Metall-Oxid-Strukturen: Zinkoxid-Stangen

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06:39 min

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September 14, 2017

DOI:

10.3791/56127-v

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10.3791/56127-v

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September 14, 2017

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Stella Vallejos^1,2, Naděžda Pizúrová³, Jan Čechal⁴, Isabel Gràcia¹, Carles Cané¹

¹Instituto de Microelectrónica de Barcelona (IMB-CNM, CSIC), ²SIX Research Centre,Brno University of Technology, ³Institute of Physics of Material,Academy of Science of Czech Republic, ⁴Institute of Physical Engineering and Central European Institute of Technology,Brno University of Technology

Transcript

Summary

Säulenförmigen Zinkoxid Strukturen in Form von Stäben über Aerosol-gestützte chemische Aufdampfen ohne den Einsatz der bereits hinterlegten Katalysator-Samen Partikel synthetisiert. Diese Methode ist skalierbar und kompatibel mit verschiedenen Substraten, basierend auf Silikon, Quarz oder Polymere.