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용매 증발 기반 다공성 제어 기술을 사용한 Soft Capacitive Pressure Sensor의 감도 향상
Selective Area Modification of Silicon Surface Wettability by Pulsed UV Laser Irradiation in Liquid Environment
Journal (Engineering)
Selective Area Modification of Silicon Surface Wettability by Pulsed UV Laser Irradiation in Liquid Environment
Determination of the Excitation and Coupling Rates Between Light Emitters and Surface Plasmon Polaritons
Journal (Engineering)
Determination of the Excitation and Coupling Rates Between Light Emitters and Surface Plasmon Polaritons
 
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용매 증발 기반 다공성 제어 기술을 사용한 Soft Capacitive Pressure Sensor의 감도 향상

Article DOI: 10.3791/65143-v • 10:28 min • March 24th, 2023
March 24th, 2023 •
1, 1, 1, 1, 1
1State Key Laboratory of Industrial Control Technology, College of Control Science and Engineering, Zhejiang University

Chapters

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용매 증발 기술을 기반으로 하는 간단하고 비용 효율적인 제조 방법이 제시되어 성형 PDMS/톨루엔 용액의 다양한 질량비를 사용하여 유전층의 다공성 제어로 구현되는 소프트 용량성 압력 센서의 성능을 최적화합니다.

Tags

공학 소프트 용량 성 압력 센서 용매 증발 다공성 제어 미세 구조 탄성 도체
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