Abstract
鋼は、一般に、それらの優れた機械的、腐食、および真空特性の真空システムの製造において材料を用いています。鋼のさまざまな高または超高真空用途に必要な低アウトガスの基準を満たしています。しかし、与えられた材料は、その製造工程や製造中に関与する様々な前処理プロセスに応じて異なるガス放出率を提示することができます。これにより、ガス放出率の測定は、特定の真空アプリケーションの非常に望ましいです。この理由のため、速度の圧力上昇（RoRの）方法は、多くの場合、ベークアウト後の水素のガス放出を測定するために使用されます。この記事では、RoRの方法に関与する実験プロトコルの設計と実行の詳細な説明が提供されています。 RoRの方法は、ガス放出や真空計のポンプ作用から生じる誤差を最小限にするために回転ローターゲージを使用しています。 2普通鋼のガス放出率（ステンレス鋼およびmILD鋼）を測定しました。測定は、鋼の熱前処理の前と後に行われました。鋼の熱前処理は、ガス放出を低減するために行きました。アウトガスの極めて低い割合（10のオーダー- 11 Paのメートル3秒- 1メートル - 2）日常的に比較的少量のサンプルを用いて測定することができます。
Introduction
鋼は、日常的に、それらの良好な機械的特性の構築に使用されます。特定の鋼（特に鉄鋼）真空を伴う用途のための好ましい材料です。または超高真空（UHV、10 -10 <P <10 - 7 Pa）でシステムタイプやグレードに応じて、これらの鋼は、高真空（ - - 7 <P <10 5 PaのHV、10）のために不可欠十分に低いガス放出率を持っています。さらに、大規模な調査はアウトガス1-3を減らす特別な前処理手順の開発に向けて行われています。前処理対策がポンピング投資を最小限にするために、またはHVからUHVまたはUHVから極端な高真空（ - 10 Paでp <10）に真空を改善するように設計されています。
多くの実用的な方法は、ガス放出ラットを低減するために提案されているが鉄鋼のEは、最近の方法は、低いガス放出率を得るために必要な時間と温度を低下させるに焦点を当てています。 800°C-950°Cで焼成350°C-450°Cではなく、真空での加熱処理は、このアプローチの良い例です。 1,4,5はさらに、特定の真空アプリケーションに理想的な材料を選択することが重要です。例えば、磁場遮蔽に使用するための非常に低いガス放出率でフェライト材料を選択します。 6,7
このような調査の間に、ガス放出率の正確な測定は、候補物質のスクリーニングや様々な前処理手順の有効性を検証するための前提条件です。脱ガスの測定に使用される8,9、最も一般的な実験技術は、スループットと速度の圧力上昇法です。 10近年 、種々の実験はスピンを用いたRoRの方法に基づいて、水素ガス放出速度を測定するために行われています寧ローターゲージ（SRG）。 1、SRGを用い11-13 RoRの方法は、多くの場合、鋼製の真空システムで達成可能な最低圧力を制限する非常に低い水素ガス放出速度を測定するのに非常に適しています。 SRGが無視できるポンプまたはガス放出作用を有するからです。また、SRGは、高真空および超高真空の範囲で優れた精度と良好な直線性を有しています。 14
RoRの実験に公開された文献は限られていることを考えると、方法のより深い理解を開発するために実験の詳細を説明するために価値があります。この動画の記事では、具体的に実験を設定するプロセスを説明し、RoRの方法を用いて脱ガスの測定を実行するための詳細な手順を提供します。この方法の有効性を実証するために、2つの一般的に使用される鋼（ステンレス鋼304と軟鋼S20C）のガス放出率は水素outgassinを低減するために予熱処理の前と後に測定しました。グラム率。治療前および治療後の値を比較しました。むしろ単純なセットアップを使用する典型的な実験の結果は、低水素脱ガス速度を評価するための最適化された方法の有効性を実証するために提示されます。
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Protocol
注意：機器およびサンプルチャンバーを組み立てながら、すべての適切な安全対策に従ってください。個人用保護具（安全眼鏡、手袋、安全靴など）を着用してください。
サンプル真空チャンバの1製作
- 真空チャンバーの設計と製作
- 準備や商業ベンダーやサンプル真空チャンバを製造するための社内機械工場に設計図面を提出します。 S20C鋼製の真空チャンバのため設計図の代表的な例は、図1に示されています。この実験で設計室は非常に基本的であり、一般に真空の企業で採用されています。
注：メーカーはUHVシステムの基本的な知識を持っている必要があります。 - 図面の遵守を確保するために、すべての寸法を検査します。
- 真空室（機械加工）を成形した後に、DAを防止するためにプラスチックで終了CFフランジをカバー輸送中の魔術師。
- 準備や商業ベンダーやサンプル真空チャンバを製造するための社内機械工場に設計図面を提出します。 S20C鋼製の真空チャンバのため設計図の代表的な例は、図1に示されています。この実験で設計室は非常に基本的であり、一般に真空の企業で採用されています。
- クリーニング
注：化学洗浄中に地域の環境、健康、および安全規制に従ってください。個人用保護具を着用します。ビニール手袋を使用してパーツを扱います。素手で部品に触れないでください。- 鋼のUHVクリーニング手順以下の鋼製部品を清掃してください。典型的なクリーニング手順について説明します。
- 5分間、室温で、アセトンなどの溶媒を使用して部品を脱脂。
- BNクリーナー液（pH 13）を用いて20分間超音波浴中の部品を清掃してください。
- 20分間、脱イオン水で徹底的にすすぎ、続いて10分間水道水で部品を洗浄します。
- アルコールで十分にすすぎ、乾燥窒素ガスを用いたドライ吹きます。
- きれいな、糸くずの出ない紙で部品をラップし、1日のために空気乾燥重量部を可能にします。
- 溶接
注：素手で部品に触れないでください。我々lderはUHV溶接で訓練する必要があります。- 溶接ベンチに部品を配置します。
- 部品をPreassembleし、設計図通りに部品を整列させます。
- 溶接時の腐食を防止するために、アルゴンガス（5 L /分）で逆パージ。
- タックは、タングステン不活性ガス（TIG）溶接法（8-9 L /分のアルゴン流量）を使用して、エンドフランジを溶接します。 15
- 溶接端部フランジは完全にTIG法と回転治具を用いて。熱影響部は、室温まで冷却することを可能にします。アルゴンガスの流れを停止します。
- 漏れ検査
- CFブランクフランジとチャンバーの一端をシール。
- ヘリウムリークディテクタ（HLD）にもう一方の端を接続します。
- HLDを使用して、サンプル真空チャンバをポンプダウン。
- ビニール袋に熱溶着シームを置き、ヘリウムガスで袋を埋めます。
- ヘリウムレベルの変化を測定します。チャンバーは漏れ防止であることを確認してください。ヘリウム漏れ率ショウ11 Paのメートル3秒- - 1（1×10から10ミリバールのL秒- 1）ldは<1×10です。
- 全く漏れが観察されない場合は、チャンバーをベント。それ以外の場合は、（繰り返しは1.4.5を介して1.3.3ステップ）排気した後、真空チャンバをreweld。
オーブンの2製作
- オーブンを製造するために、ベンダーまたは社内の機械工場に設計図面を作成し、提出します。 図2に示されている画像を参照してください。
- 具体的な材料/機器の一覧の温度制御に記載され、必要な部品および機器を調達。
- 冷却ラインを接続します。
- チラーに冷却水を供給。チラーを実行し、水漏れを確認してください。チラーを停止します。
RoRの測定のための3.実験のセットアップ
- で指定された必要な真空装置/ハードウェアを収集具体的な材料/機器のリスト。テストのセットアップは、主にSRG、残留ガス分析器（RGA）、粗引きポンプ（RP）を搭載したターボ分子ポンプ（TMP）、オールメタルアングルバルブ（AV Chの ）、ティー（CF35）で構成され、減速機（CF63へCF35）。具体的な材料/機器のリストに記載されているような追加項目は、ヘリウムリークディテクタとUHVゲージを含んでいてもよいです。 AV Chが SRGをオフレベルに座（シール）側に回転可能なフランジを持つ必要があります。
- 組み立てに必要なレンチ（M6とM8）、銅ガスケット（CF35とCF63）、およびボルト/ナット（M6とM8）を収集します。
- SRGを組み立てるために、産業レベルメーターを使用してください。
- ビニール手袋を使用してパーツを扱います。素手で真空にさらされる面には触れないでください。安全靴を着用してください。
- 実験装置の組立
- に示すように、試料側にポンプ側から銅ガスケットを用いた真空部品を順次組み立てます
- SRGフランジアセンブリとSRGヘッドの軸は、レベルメーターを使用して、垂直になるようにサンプルチャンバを調整します。 ±2℃（最大）（ 図4）内。 SRGフランジのレベルを維持しながら、対面、試料室とAV Chの間のフランジ継手を締めます。詳細な手順については、SRGのユーザーズマニュアルを参照してください。
- RPとTMPの排気端のクランプフランジ（KF）ポートにバルブを分離するとHLD（AV Roを 、AV HLD）を接続します。
注意：SRGフランジアセンブリまたは回転子に機械的衝撃がないことを確認してください。
- に示すように、試料側にポンプ側から銅ガスケットを用いた真空部品を順次組み立てます
- 漏れ検査
- HLDをオンにして、検出器があるまで待ちます準備が整いました。 AVのHLDを開き、AV ろを閉じます。
- HLDを使用してセットアップをポンプダウン。正しい操作手順のためのHLDのマニュアルを参照してください。セットアップから残留ヘリウムガスを送り出すために〜30分待ちます。ヘリウムレベルがHLDの最小検出限界の範囲内であることを確認してください。
- フランジにリークテストの溝を通ってヘリウムガスをスプレーします。
- ヘリウムレベルの変化を測定します。室がタイトに漏れていることを確認してください。 11 Paのメートル3秒- - 1（1×10から10ミリバールのL秒- 1）ヘリウムリーク率は<1×10でなければなりません。
- フランジからの漏れの場合には、フランジをretorque。
- 漏れが検出されなかった場合、漏れ試験を停止し、真空システムをベント。 AV ろを開き、AVのHLDを閉じます。
アウトガス料金の4測定
- 同時に、TMPおよびRPに切り替えることにより、真空システムをポンプダウン。
- ポンピングプロセスがオンの間、ベークアウトするために必要なアイテムを収集。電気ヒーターテープ、ヒータコントローラ、ハンドヘルド・マルチメーター、Al箔、及び温度センサ/ケーブル。
- フランジアセンブリからSRGヘッドを取り外します。バンドヒータに（SRGフランジアセンブリとTMPの入口フランジの間）真空コンポーネントをラップします。
- チェックして、ハンドヘルドマルチメータを使用してヒーターと真空部品の間に電気的短絡がないことを確認してください。
- 各コントローラにヒーターを接続し、Al箔でチャンバーを包みます。
- 1°C-2℃/分のランプ速度で150℃まで温度を上げます。
- ベークアウトプログラムコントローラを使用して、24〜48時間、150℃でチャンバを保持します。 RGAの温度を維持冷却ファンを使用して50℃の下で電子機器。
- ドガ、少なくとも5分間の電子衝撃によるRGAフィラメントの各。
- H 2 Oのピーク（M / E = 18）、H 2ピーク（M / E = 2）の半分以下であること。確実にするために1〜50のM / EをRGAスペクトラムを測定しますない場合は、ベークアウトを続けます。
- システムは、1°C-2℃/分のランプ速度で室温まで冷却することを可能にします。クールダウン中に測定されたRGAスペクトルを参照漏れがないか確認してください。
- 試料室に残留ガスを分析します。 RGAスペクトルを測定します。 AV Chのを閉じて、再びRGAスペクトルを測定します。試料室のRGAスペクトルは、前とAV CHで閉じた後、取得したスペクトル間の差に相当します。
- 例えばH 2 O、CO、及びCO 2のようなすべての不純物ガスの合計は、5％未満であることを確認します。そうでなければ、再びベークアウトを繰り返します。
注：SRGの適切な操作は非常に重要です。手順については、SRGのオペレーティングマニュアルを参照してください。
- SRGフランジアセンブリのSRGヘッドを組み立てます。
- SRGヘッドの軸が±2℃以内であることを確認してください（最大）（ 図4）。参考のためにレベルメーターを使用してください。
- SRGを起動し、通常は数時間かかる残留ドラッグ、SRGの圧力に依存しない信号の安定化を待ちます。
- このようなガス（H 2）、温度（24°C）、及び測定間隔（10秒）などの適切な入力パラメータを入力します。
- 信号が安定するのを待っている間に、試料の温度を安定させます。システムを介して冷却水を実行するには、チラーのスイッチをオンにします。 15°Cへの流体の温度を設定します。
- サンプル用ヒータコントローラを起動します。 24℃に目標温度を設定します。 foを待ってR温度は、オーブンのドアを閉じた後±0.1℃以内に安定化します。
- 信号のオフセット値の変動が±1×10の範囲内であることを確認します- 9 Paで/秒。そうでない場合は、システムからSRGを分解し、3.5から4.4を繰り返した後、ローターやフランジアセンブリを変更します。 （これが不可能な場合は、8〜24時間オフセットの傾きを取得する。これは、測定されたガス放出率データから減算されます。）
- SRGコントローラによって提供される信号のレベルを確認してください。それは、少なくとも-10 dBである必要があります。理想的には、0と6デシベルの間でなければなりません。しかし、最大12デシベルの値が許容されます。信号は> 14デシベルである場合は、SRGの動作を停止。ヘッドを外し、シンブル〜200℃に加熱します。ステップ4.5.1から始まる全体の動作を繰り返します。
- SRGコントローラが提供する減衰レベルを確認してください。最適値は、間にあります -; 35とゴムパッドの上に敷設されたTMPを使用して、システムとスクロールポンプで、通常は満足している-60デシベル、。それ以外の場合は、実行中のすべての機器を停止し、任意の機械的振動の発生源を除去します。
- 静かに圧力上昇を開始するためにAVを閉じます。機械的衝撃へのSRGをさらすしないように注意してください。
- オーブンのドアを閉じて、コンピュータを使用して、8月24日時間圧力データを取得します。
- 温度の変動が安定した後、±0.1℃の範囲内であると、圧力上昇が10％の誤差の範囲内で線形であることを確認するために事前チェック測定データ。これらの基準が満たされている場合、測定を停止します。そうでなければ、圧力上昇は、少なくとも16時間、10％の誤差内で線形になるまで測定を続け。
- すべての機器の電源をオフにします。
- 温度スタビ後に設定圧力を選択lization。
- フィッティング線形最小二乗を使用して、圧力上昇のデータをフィットし、スロープを計算します。バルブを閉じた後、スロープD P / D tは 、圧力上昇の測定された速度です。
- 式を用いて、ガス放出速度、Q（H 2当量）を算出
Q =（V / A）（DのP / DのT）[PA M 3秒1 - M - 2]
Vは、試料室（M 3）の体積であり、Aは、チャンバ（M 2）の幾何学的表面積です。
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Representative Results
予想されたように、ベークアウト後の残留ガスは主に水素でした。 7 SRGを用いて測定した圧力上昇は長期間（ 図5）の上に直線的でした。したがって、再吸着効果は無視できるかもしれないし、本研究で試験した鋼の固有のガス放出率（q）は RoRの方法を用いて評価することができます。 10測定された圧力上昇データを線形最小二乗フィッティング法を用いて分析しました。試料室のガス放出率は、傾き（ 図5）から決定しました。
9 Paのmを3秒- - 1メートル -2、報告された値と一致している未処理のSTS304鋼（サンプル1）のために測定されたガス放出率は5.1×10でした。アウトガス中1-7 A〜22倍の減少は、中temperatで達成されました450°C（ 表1）で36時間、真空炉内URE熱前処理。これにより、熱処理中の水素の脱ガスがバルク拡散機構によって支配されることを示す、ステンレス鋼の水素ガス放出速度を減少させる熱前処理の有効性を実証します。未処理の軟鋼用ガス放出率は（非常に低かった一方で<〜4×10から10 Paのメートル3秒- 1メートル - 2（サンプル2および3）、ガス放出率は、集中的な熱処理後のステンレス鋼の速度に二ました。1,3,4また、真空炉（ 表1）中で12時間850℃でのみ66％以下の熱処理によって減少軟鋼（試料2）のためのガス放出率、及びガス放出における有意な減少が観察されました。
これらの測定からの知見は、STRONGlyでステンレス鋼と軟鋼との間のガス放出の差は、製鋼プロセスの違いに起因することができ、特に、二次冶金プロセスは、その間に不純物ガスを抽出することを示唆しています。 16真空脱ガス処理は、例えばRuhrstahl-ハウゼン法として、一般軟鋼の製造中に使用されます。このように、モバイル水素が完全に製鋼プロセス中に脱気されています。対照的に、大気圧のアルゴン - 酸素脱炭などの混合ガス精製は、主にステンレス鋼の製造時に使用されます。これは、未処理のステンレス鋼に比べて未処理の軟鋼の観察下に水素ガス放出率のための合理的な説明を提供します。 7
図1.サンプル室。製の真空容器の例鋼の。スチールシリンダーとフランジ（CF35）を持つ2つのエンドプレートを直接溶接しました。内面の面積は〜2400センチメートル2であり、ボリュームが〜7 Lである。 この図の拡大版をご覧になるにはこちらをクリックしてください。
図2. オーブン。一緒に実験とサンプル真空チャンバとオーブンの俯瞰、。シンプル、箱形のオーブンは、この実験のために十分です。 この図の拡大版をご覧になるにはこちらをクリックしてください。
図3. エクスペリリットルのセットアップ。 RoRの方法を用いて、ガス放出速度の測定のための実験装置の概略図。円筒状のサンプルチャンバは、単純な炉の内部に置き、すべての金属アングル弁（AV）を介してポンピングされます。ベークアウトした後、SRGのピックアップヘッドが取り付けられており、オンになっています。アクティブ温度制御は、次に開始されます。 CF：フランジ、KF：クランプフランジ、RGA：残留ガス分析器、およびTMP：ターボ分子ポンプ。 この図の拡大版をご覧になるにはこちらをクリックしてください。
真空室にSRGヘッドの図4.取り付け。示すように、SRGヘッドの軸は、±2℃（max）の中で垂直でなければなりません。レベルメーターは、ヘッドを整列させるために使用されるべきです。pgの "ターゲット=" _空白 ">この図の拡大版をご覧になるにはこちらをクリックしてください。
図5.代表的生RoRのデータ（点線）はベークアウト後SRGを用いて測定しました。 （青）の実線は、データの最小二乗法です。 10 Paのメートル3秒- - 1（H 2換算）曲線の傾きは、4×10のガス放出率に相当します。 （赤）下部の実線は±0.1℃以内である測定された温度変化を示しています。 この図の拡大版をご覧になるにはこちらをクリックしてください。
図6. Modifica商業SRGフランジの化。フランジはガス放出を減らすために72時間（Foは 〜6.4）400℃で処理された設計図と熱ごとに薄くされます。一緒に（SRG側に露出面から）角度弁を有するSRGフランジ上の被測定ガス負荷は、（±0.1）8.3だった10× - 12 Paのメートル3秒- 1、15％-28％に達します熱処理（ 表1）後のサンプルからアウトガス。このバックグラウンドガス負荷は、サンプル真空チャンバのガスの全負荷から差し引かなければなりません。 この図の拡大版をご覧になるにはこちらをクリックしてください。
| 材料 | サンプルなし。 | D（mm）と | D（センチメートル2 /秒） | 熱処理 | フォー | Q（PAメートル3秒-1メートル-2） |
| ステンレス鋼（304） | 1 | 3.3 | - | 5.1×10 -9 | ||
| 5×10 -7 | 450°C、36時間 | 2.4 | 2.3×10 -10 | |||
| マイルドスチール（S20C） | 2 | 10 | - | 2.6×10 -10 | ||
| 1×10 -4 | 850°C、12時間 | 17 | 8.8×10 -11 | |||
| 3 | 10 | - | 4.0×10 -10 |
表1： 測定outgassingの料金。率（q）は水素当量単位で、総ガス放出率であり、48時間150℃でその場ベーキングに後に測定しました。 FOは、熱処理（無次元）の強度を表します。 Dは、熱前処理温度及びdにおける拡散定数であるFO = 4 Dtの / D 2は 、チャンバの厚さです。 12,13
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Discussion
ガス放出率を測定するための多数の方法が文献に報告されています。実験方法は、スループット、コンダクタンス変調、2パス、RoRの、およびこれらの方法の変形を含みます。しかし、一つの方法は、必要なガス放出データを取得するための理想的ではありません。 10 SRGを用いたRoRの方法は、しかしながら、低ガス放出材料の測定のための選択の方法となりました。 11-13 SRG 17は、多くの場合、誤ったポンプまたはガス放出作用することなく、高真空システムにおける二次標準として使用されます。 SRGを用いたRoRの方法は、ベークアウト後に、室温で水素ガス放出を測定するのに特に適しています。これとは対照的に、他のUHVゲージは、ゲージ自体によって生成された重大なエラーが発生することがあります。抽出ゲージは、例えば、低アウトガスとUHVイオンゲージのタイプです。 11 P -しかし、ゲージ自身と周囲の壁は、1×10ほどの大きなガス負荷を発生させます1から3秒です。 18これは、熱処理（ 表1）は、次のサンプルからのガス負荷の14％-30％に達します。
面積の小さいサンプルを測定する場合SRGフランジ（CF35）からのガス放出を考慮に入れなければなりません。 12 Paのmを3秒- -サイズが小さいものの、フランジからの水素のアウトガスは、7.5×10と大きく、1とフランジは発射せずに脱水素に厚すぎます。これは、熱処理（ 表1）の後にサンプルからのガス放出の約12％-26％に達します。このように、被測定ガス負荷のこの系統誤差を修正する必要があります。商業SRGフランジ（ 図6）を間伐し、真空中で、適切な熱処理を行うことによりアウトガスを最小限に抑えることができます。しかし、実際の状況で、組み合わせたバックグラウンドガスSRGフランジアセンブリから負荷と角度VALVEは、メインの測定前に測定して補正する必要があります。また、直接試料室に溶接されたフランジなしシンブルを使用する代わりに、アングル弁のピンチオフ銅管を使用して、非常に少量の試料（表面積<500 cm 2）でのガス放出を測定するための別の良い技術です。 12,13
また、SRGの適切な動作は非常に低いガス放出率の正確な測定を確保することが重要です。 10から8 Paの- -測定が引き継がれる圧力範囲は10からです。3 Paの温度制御が特に重要です。 0.14°C /時間の緩慢、一定の温度変化は、測定値の10％の誤差が生じます。
したがって、15℃の一定温度と比例積分微分制御ヒータでコイルを冷却する銅を含む能動温度制御ユニットは、この中に配備されました調査。温度を測定（ 図5）の間に±0.1℃以内に安定化しました。この温度安定性では、1×10という低いRoRの測定- 3 Paの/日を一日で作ることができます。
同じ厚さの試料室の個々の部品の製造には、加熱処理（ 図1）は、以下のガス放出速度に影響を与える別の重要な因子です。先に述べたように、バルク拡散は、少なくとも熱処理の初期段階では、移動水素の脱気を支配します。 RoRの方法では、ガス放出率は、熱処理時間にも強く、試料厚さだけでなく、依存します。 19このように、熱処理（例えば、Foを = 4 には、Dt / D 2、 表1）12,13の強度に対するガス放出率が推奨される報告。単に熱の持続時間を報告治療は、熱処理の強度に対する誤解を招く恐れがあります。
10 Paのメートル3秒- - 1メートル - 2は、日常的に鋼製の真空チャンバから測定することができます可能な限り商用部品を使用して、本研究で報告されたプロトコル、ガス放出率1×10よりも低いを使用しました。注意深い設計で、最適な実験条件下で、そのような低速度で、比較的小さな面積を有するサンプルから測定することができます。本研究で用いた真空チャンバの表面積は、同様の測定を行うために、前の実験で使用したチャンバの表面積（7,600 cm 2）での三分の一のみ2,400 cm 2です。 5このプロトコルで同定された機器は、最も好適な市販のものに固有のものです。これは、適切な、慎重に設計実験プロトコル、他の機器または方法とことに留意すべきです同じ目的のために使用することができます。
鉄鋼はこのビデオプロトコルで使用されたが、また、同じ技術は、真空チャンバの製造に使用することができる多くの他の材料からのガス放出速度の測定に適用可能です。
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Materials
| Name | Company | Catalog Number | Comments |
| Sample chamber | |||
| Stainless steel, 304 | POSCO (www.posco.co.kr) |
||
| Mild steel, D3752 | Xiangtan Iron&Steel co.,LTD (http://www.hnxg.com) | ||
| Mild steel, D3752 | SeAh Besteel (www.seahbesteel.co.kr) | ||
| Name | Company | Catalog Number | Comments |
| Cleaning | |||
| Cleaning bath | Samill IDS | Ultrasonic cleaning, heating, timer, concentration control | |
| Acetone | Samchun Chemical (www.samchun.com) | A1759 | HPLC grade (99.7%) |
| Tekusolv | NCH Co. (www.nch.com) | 0368-0058J | Solvents |
| BN cleaner | Henkel surface technologies (na.henkel-adhesives.com) | 6610263775 | Alkaline, pH 13 |
| Ethanol | Fisher Scientific (www.fishersci.com) | A995-4 | HPLC Reagent (99.9%) |
| Deionized water (Electro deionizer SYSTEM) | A.T.A (www.atagroup.co) | EDI SYSTEM | |
| Liquid N2 gas | Hanyoung (www.gasmaster.co.kr) | B/T 176 L | LN2 dewar, purity 99.999% |
| Name | Company | Catalog Number | Comments |
| Welding | |||
| Tungsten Inert Gas wedling machine | Thermal Arc (www.victortechnologies.com/thermalarc) | 400GTSW | Ar gas preflow and postflow 8 L/min, backflow 5 L/min |
| turning jig | Vactron (www.vactron.co.kr) |
Made to order | Made to order |
| Ar gas | Lindekorea (www.lindekorea.com) | Purity 99.999% | |
| Name | Company | Catalog Number | Comments |
| Leak test | |||
| Leak detector | Adixen (www.adixen.fr/en/) |
ASM380 | Pumping Speed (air): 9.7 L/sec |
| He gas | Lindekorea (www.lindekorea.com) | Purity 99.999% | |
| Name | Company | Catalog Number | Comments |
| Vacuum equipment | |||
| Spinning rotor gauge | MKS Instruments (www.mks.com) | SRG-3 | Controller, head, and thimble set |
| Oscilloscope | Tektronix (www.tek.com) |
TDS2012B | |
| Residulal gas analyser | Balzers | QMA200 | m/e 0-100 |
| TMP (HiPace 80) | Pfeiffer Vacuum (www.pfeiffer-vacuum.com) | PMP03941 | Pumping Speed (N2): 67 L/sec |
| Scroll pump | Anest Iwata (www.anest-iwata.co.jp) |
ISP 90 | Pumping Speed (Air): 1.8 L/sec |
| All-metall easy close angle valve (CF35) | VAT Inc. (www.vatvalve.com) |
54032-GE02-0002 | Rotatable flange |
| Angle valve (KF25) | MDC Vacuum Inc. (www.mdcvacuum.com) | KAV-100 | |
| Name | Company | Catalog Number | Comments |
| Temperature control | |||
| Chiller | JEIO Tech (www.jeiotech.com) |
RW-2025G | |
| Cooling line | LS Metal (www.lsmetal.biz) |
C1100 | Level Wound Coil, Diameter 10 mm |
| Heater controllers | HMT | Made to order | Bakeout program controller |
| Electrical heater tapes | Brisk heat (www.briskheat.com) | BIH101080L | |
| Thermocouple (K type) | miraesensor (www.miraesensor.com) | MR-2290 | |
| Handheld multimeter | Saehan (www.saehan.co.kr) |
3234 | |
| Data recorder (Temp.) | Yokogawa (www.yokogawa.com) | GP10-1E1F-UC10 |
References
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