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이온 스퍼터링에 응용 프로그램, 레이저 절제하고, Tribology 실험 : 화이트 빛 간섭 측정법에 의한 표면 수정의 특성
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Characterization of Surface Modifications by White Light Interferometry: Applications in Ion Sputtering, Laser Ablation, and Tribology Experiments
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이온 스퍼터링에 응용 프로그램, 레이저 절제하고, Tribology 실험 : 화이트 빛 간섭 측정법에 의한 표면 수정의 특성

DOI:
10.3791/50260-v

•

11:47 min

•

February 27, 2013

•

, , , , ,
1Materials Science Division,Argonne National Laboratory, 2Energy Systems Division,Argonne National Laboratory, 3MassThink LLC

Chapters

  • 00:05Title
  • 02:42Measurement of Wear Scar Volume using Optical Interferometry
  • 07:07Volume Analysis: Line Wear Scar
  • 08:53Volume Analysis: Ion Sputter Crater
  • 10:45Conclusion

Summary

Automatic Translation

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하얀 빛 현미경 간섭 측정법은 표면의 지형을 측정하기위한 광학, noncontact 빠르고 방법입니다. 과 재료 과학에 이온 빔 스퍼터링 또는 레이저 박리 볼륨과 깊이를 결정하기 위해, 그것은 방법은 마찰 테스트 샘플에 상처가 분석 착용 기계적 마모 분석,으로 적용 할 수있는 방법을 표시합니다.

Tags

White Light InterferometryOptical ProfilometrySurface TopographyIon SputteringLaser AblationTribologySurface RoughnessWearDepth ProfilingMaterials Characterization

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