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Real-Time DC-dynamique Méthode de sollicitation pour Temps de commutation amélioration de franges champ gravement sous-amorti électrostatiques MEMS Actionneurs
 
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Real-Time DC-dynamique Méthode de sollicitation pour Temps de commutation amélioration de franges champ gravement sous-amorti électrostatiques MEMS Actionneurs

Article DOI: 10.3791/51251-v 11:44 min August 15th, 2014
August 15th, 2014

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La conception du dispositif robuste de franges-champ électrostatique actionneurs MEMS résultats dans des conditions d'amortissement retrait films intrinsèquement faible et longs de décantation pour effectuer des opérations de commutation à l'aide de polarisation de l'étape classique. L'amélioration de la commutation du temps avec des formes d'onde DC-dynamiques en temps réel réduit le temps de stabilisation de champ de dispersion MEMS actionneurs lors de la transition entre la mise à bas et terre-à-up États.

Tags

Physique Numéro 90 les systèmes micro-électromécaniques actionneurs temps de commutation temps de stabilisation dispositifs électrostatiques le micro-usinage dispositifs à couches minces
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