Waiting
Login processing...

Trial ends in Request Full Access Tell Your Colleague About Jove
Journal / Engineering / Kurban Nanopartiküller Kullanım E-ışın Litografi…
JoVE Journal
Engineering

A subscription to JoVE is required to view this content.

JoVE Journal Engineering
Kurban Nanopartiküller Kullanım E-ışın Litografi tarafından Fabrikasyon İletişim Holes Shot gürültü Etkilerinin çıkarmak
Fabrication of Nano-engineered Transparent Conducting Oxides by Pulsed Laser Deposition
Journal (Engineering)
Fabrication of Nano-engineered Transparent Conducting Oxides by Pulsed Laser Deposition
Ultrasonic Welding of Thermoplastic Composite Coupons for Mechanical Characterization of Welded Joints through Single Lap Shear Testing
Journal (Engineering)
Ultrasonic Welding of Thermoplastic Composite Coupons for Mechanical Characterization of Welded Joints through Single Lap Shear Testing
 
Click here for the English version

Kurban Nanopartiküller Kullanım E-ışın Litografi tarafından Fabrikasyon İletişim Holes Shot gürültü Etkilerinin çıkarmak

Article DOI: 10.3791/54551-v • 07:51 min • February 12th, 2017
February 12th, 2017 •
1, 2
1Department of Chemistry, Portland State University, 2Logic Technology Department, Intel Corporation

Chapters

Summary
Automatic Translation

Please note that all translations are automatically generated.

Click here for the English version.

Düzgün boyutlu nanopartiküller elektron demeti (E-ışını) litografi poli (metil metakrilat) desenli temas delik boyutları (PMMA) fotorezist filmlerde dalgalanmaları kaldırabilirsiniz. süreç fotorezist yeniden akıtma ve Plazma ve ıslak aşındırma adımları takip temas delik merkezi ve mevduat nanopartiküller, elektrostatik hunileflme- içerir.

Tags

Mühendislik Sayı 120 E-kiriş / EUV litografi elektrostatik hunileflme yeniden akış plazma aşındırma karşı
Read Article

Get cutting-edge science videos from JoVE sent straight to your inbox every month.

Waiting X
Simple Hit Counter