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斜め蒸着を使用してメディアを高吸収極薄カラーフィルムの作製

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Fabrication of Ultra-thin Color Films with Highly Absorbing Media Using Oblique Angle Deposition

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斜め蒸着を使用してメディアを高吸収極薄カラーフィルムの作製

DOI:

10.3791/56383-v

•

06:30 min

•

August 29, 2017

•

Young Jin Yoo, Gil Ju Lee, Kyung-In Jang, Young Min Song

¹School of Electrical Engineering and Computer Science,Gwangju Institute of Science and Technology, ²Department of Robotics Engineering,Daegu Gyeongbuk Institute of Science and Technology

Chapters

00:05Title
00:56Substrate Preparation and Oblique Angle Deposition of Germanium
03:23Oblique Angle Deposition of Ge on Large Substrates
04:50Results: Ultra-thin Color Films
05:40Conclusion

Summary

Automatic Translation

光学コーティングの改良された特性を持つ極薄カラーフィルムを製造する詳細な方法を提案します。電子ビーム蒸発器を用いて斜め蒸着法では、改良された色可変特性と純度をことができます。反射率測定とカラー情報の変換による Ge と Au の Si 基板上の薄膜作製を行った.

Tags

Ultra-thin Color Films Oblique Angle Deposition Porosity Control Thin Film Coloration Optical Resonance Applications Nanofabrication Germanium Deposition Titanium Adhesion Layer Gold Reflection Layer

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