Journal
/
Chemistry
/
Effekten av anodiseringparametere på aluminiumoksiddielektrisk lag av tynnfilmtransistorer
JoVE Journal
Chemistry
Author Produced
A subscription to JoVE is required to view this content.  Sign in or start your free trial.
JoVE Journal Chemistry
The Effect of Anodization Parameters on the Aluminum Oxide Dielectric Layer of Thin-Film Transistors

Effekten av anodiseringparametere på aluminiumoksiddielektrisk lag av tynnfilmtransistorer

DOI:
10.3791/60798-v

•

12:32 min

•

May 24, 2020

•

, , , ,
1School of Technology and Sciences,São Paulo State University – UNESP, 2Scholl of Electronic Engineering,Bangor University, 3Institute of Geosciences and Exact Sciences,São Paulo State University – UNESP

Chapters

  • 00:00Introduction
  • 02:48Preparation of the Electrolytic Solution
  • 03:55Substrate Cleaning
  • 05:24Al Gate Electrode Evaporation
  • 06:31Anodization of the Al Layer
  • 07:41ZnO Active Layer Deposition
  • 08:38Drain and Source Electrodes Deposition
  • 09:36TFT Electrical Characterization
  • 10:09Results
  • 11:22Conclusion

Summary

Automatic Translation

Automatic Translation

Anodiseringsparametere for vekst av aluminiumoksiddielektrisk lag av sinkoksid tynnfilmtransistorer (TFTs) er varierte for å bestemme effekten på de elektriske parameterresponsene. Analyse av varians (ANOVA) brukes på en Plackett-Burman-design av eksperimenter (DOE) for å bestemme produksjonsforholdene som resulterer i optimalisert enhetsytelse.

Tags

Aluminum OxideAnodizationThin-film TransistorsDielectric LayerElectrolytic SolutionSubstrate CleaningAluminum Electrode DepositionAnodization ProcessElectrical CharacterizationPlackett-Burman Design Of Experiments

Article

Embed

ADD TO PLAYLIST

Usage Statistics

Related Videos

Fotokjemisk Oksidativt Vekst av Iridium Oxide Nanopartikler på CdSe @ CdS nanorods

Epitaxial Vekst av Perovskite strontium titanate på Germanium via Atomic Layer Nedfall

Effekten av interfacial kjemisk binding i TiO<sub> 2</sub> -SiO<sub> 2</sub> Kompositter på deres fotokatalytiske NOx-reduksjonsytelse

Syntese av porøse Barium Titanate tynn Film og termisk stabilisering av Ferroelectric fase av porøsitet-indusert stamme

Effekten av lading og utlading Lithium jern fosfat-grafitt celler ved forskjellige temperaturer på degradering

Effekten av ultrafiolett stråling på kjemiske bad avsetning av Bis(thiourea) kadmium klorid krystaller og den påfølgende CD-Obtention

Solvothermal syntese av MIL-96 og UiO-66-NH2 på Atomic lag avsatt metalloksid belegg på Fiber Mats

Utarbeidelse av Polyoxometalate-baserte Foto-responsive membraner for foto-aktivering av mangan oksid katalysatorer

Utvinning av Lignin med høy β-O-4 innhold av Mild etanol utvinning og dens effekt på Depolymerization avkastningen

Elektrokjemiske Roughening av Thin-Film Platinum makro og Microelectrodes

Read Article