A subscription to JoVE is required to view this content. Sign in or start your free trial.
Chapters
- 00:00Introduction
- 02:48Preparation of the Electrolytic Solution
- 03:55Substrate Cleaning
- 05:24Al Gate Electrode Evaporation
- 06:31Anodization of the Al Layer
- 07:41ZnO Active Layer Deposition
- 08:38Drain and Source Electrodes Deposition
- 09:36TFT Electrical Characterization
- 10:09Results
- 11:22Conclusion
Çinko-oksit ince film transistörlerinin (TFT) alüminyum-oksit dielektrik tabakasının büyümesi için anodizasyon parametreleri, elektriksel parametre yanıtları üzerindeki etkilerini belirlemek için çeşitlidir. Varyans analizi (ANOVA), optimize edilmiş cihaz performansıyla sonuçlanan üretim koşullarını belirlemek için Plackett-Burman deney tasarımına (DOE) uygulanır.
