A subscription to JoVE is required to view this content. Sign in or start your free trial.
Chapters
- 00:00Introduction
- 02:48Preparation of the Electrolytic Solution
- 03:55Substrate Cleaning
- 05:24Al Gate Electrode Evaporation
- 06:31Anodization of the Al Layer
- 07:41ZnO Active Layer Deposition
- 08:38Drain and Source Electrodes Deposition
- 09:36TFT Electrical Characterization
- 10:09Results
- 11:22Conclusion
تتنوع معلمات الأنويد لنمو الطبقة العازلة ثنائية أكسيد الألومنيوم من الترانزستورات الرقيقة (TFTs) من أكسيد الزنك لتحديد الآثار على استجابات المعلمة الكهربائية. يتم تطبيق تحليل التباين (ANOVA) على تصميم Plackett-Burman للتجارب (DOE) لتحديد ظروف التصنيع التي تؤدي إلى تحسين أداء الجهاز.
