स्कैनिंग जांच एकल इलेक्ट्रॉन समाई स्पेक्ट्रोस्कोपी स्थानीयकृत उपसतह क्षेत्रों में एकल इलेक्ट्रॉन प्रस्ताव के अध्ययन की सुविधा. एक संवेदनशील आरोप पता लगाने सर्किट अर्धचालक नमूने की सतह के नीचे dopant परमाणुओं के छोटे प्रणालियों की जांच के लिए एक क्रायोजेनिक जांच स्कैनिंग माइक्रोस्कोप में शामिल किया है.