Сканирующего зонда одноэлектронными емкостной спектроскопии облегчает изучение одного движения электронов в локализованных подземных регионах. Чувствительный заряда схема обнаружения включена в криогенных сканирующий зондовый микроскоп для исследования небольших системах атомов легирующей примеси под поверхностью полупроводникового образцов.