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प्लाज्मा की मदद से आणविक बीम एन-ध्रुवीय InAlN बाधा उच्च इलेक्ट्रॉन गतिशीलता ट्रांजिस्टर के Epitaxy
 
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प्लाज्मा की मदद से आणविक बीम एन-ध्रुवीय InAlN बाधा उच्च इलेक्ट्रॉन गतिशीलता ट्रांजिस्टर के Epitaxy

Article doi: 10.3791/54775
November 24th, 2016

Summary November 24th, 2016

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आणविक बीम epitaxy एन-ध्रुवीय InAlN बाधा उच्च इलेक्ट्रॉन गतिशीलता ट्रांजिस्टर (HEMTs) विकसित करने के लिए प्रयोग किया जाता है। 1,750 सेमी 2 / वी ∙ सेकंड के रूप में उच्च गतिशीलता के साथ चिकनी, compositionally सजातीय InAlN परतों और HEMTs में परिणाम वेफर तैयारी का नियंत्रण, परत विकास की स्थिति और epitaxial संरचना।

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