אנו משתמשים מתוקן-סטייה סריקה הילוכים מיקרוסקופ אלקטרוני להגדיר דפוסים חד-ספרתיות ננומטר מתנגד נפוץ קרינה שני: פולי (חומצתי) ו silsesquioxane מימן. להתנגד דפוסי ניתן לשכפל אותו בחומרים היעד של בחירה עם נאמנות ננומטר בעלי ספרה אחת באמצעות השיגור, פלזמה תצריב קו, ומתנגדים חדירה על-ידי organometallics.