Journal
/
Engineering
/
Herstellung von Nanohöhenkanälen mit Oberflächen-Akustikwellenbetätigung über Lithiumniobat für akustische Nanofluidik
JoVE Journal
Engineering
A subscription to JoVE is required to view this content.  Sign in or start your free trial.
JoVE Journal Engineering
Fabrication of Nanoheight Channels Incorporating Surface Acoustic Wave Actuation via Lithium Niobate for Acoustic Nanofluidics
Please note that all translations are automatically generated. Click here for the English version.

Herstellung von Nanohöhenkanälen mit Oberflächen-Akustikwellenbetätigung über Lithiumniobat für akustische Nanofluidik

DOI:
10.3791/60648-v

•

07:23 min

•

February 05, 2020

•

,
1Medically Advanced Devices Laboratory, Center for Medical Devices, Department of Mechanical and Aerospace Engineering, Jacobs School of Engineering, and the Department of Surgery, School of Medicine,University of California San Diego

Chapters

  • 00:05Introduction
  • 00:54Nano-height Channel Mask Preparation
  • 01:53Nano-height Channel Fabrication
  • 02:49Room Temperature Plasma-activated Bonding
  • 04:56Experimental Setup and Testing
  • 05:54Results: Representative Fluid Capillary Filling and Surface Acoustic Wave (Saw)-Induced Fluid Draining
  • 06:45Conclusion

Summary

Automatic Translation

Automatic Translation

Wir demonstrieren die Herstellung von Nanohöhenkanälen mit der Integration von Oberflächen-Akustikwellenbetätigungsgeräten auf Lithiumniobat für akustische Nanofluidik mittels Liftoff-Photolithographie, nano-tiefen reaktiver Ionenätzung und Raumtemperatur-Plasma oberflächenaktivierte Mehrschichtbindung von Einkristall-Lithiumniobat, ein Prozess, der ähnlich nützlich ist, um Lithiumniobat mit Oxiden zu verkleben.

Tags

Nanoheight ChannelsSurface Acoustic WaveLithium NiobateAcoustic NanofluidicsNanofabricationPlasma BondingPhotolithographyReactive Ion EtchingChromium EtchingSolvent Cleaning

Article

Embed

ADD TO PLAYLIST

Usage Statistics

Related Videos

Synthese von Phase-shift Nanoemulsionen mit enger Größenverteilung für Acoustic Droplet Vaporisation und Bubble-enhanced Ultraschall-vermittelte Ablation

Solid-State-Graft Copolymer Elektrolyte für Lithium-Batterie-Anwendungen

Fabrication, Operation and Flow Visualization in Oberflächenschallwellen-wave-driven Acoustic-Gegenstrom Mikrofluidik

Herstellung von uniformen Nanoschuppen-Cavities über Silicon Direct Wafer Bonding

Strukturierung via Optical Saturable Transitions - Herstellung und Charakterisierung

Charakterisierung von Full Set Materialkonstanten und deren Temperaturabhängigkeit für piezoelektrische Materialien mit Resonanzultraschallspektroskopie

Freiform-Lichtaktoren - Herstellung und Steuerung der Betätigung in mikroskopischer Skala

Herstellung und Betrieb von Acoustofluidic Devices Unterstützung Bulk-Acoustic-Standing Waves für sheathless Fokussierung der Partikel

Fokussierte Ion Beam Herstellung von LiPON-basierten Solid-State-Lithium-Ionen-Nanobatteries zu Testzwecken In Situ

Mikropartikel Manipulation durch ständigen akustischen Oberflächenwellen mit Zweifrequenz-Erregungen

Read Article