Engineering
A subscription to JoVE is required to view this content. Sign in or start your free trial.
Chapters
Summary
Please note that all translations are automatically generated.
Den robuste enhet utforming av fringing-feltelektro MEMS aktuatorer resultater i iboende lave klemme-film demping forhold og lang settling ganger når du utfører bytte operasjoner ved hjelp av konvensjonelle skritt vekting. Sanntids skiftetid forbedring med DC-dynamiske kurver reduserer innsovningstid av fringing-feltet MEMS aktuatorer når overgangen mellom up-to-ned og down-to-up stater.