Journal
/
Engineering
/
Real-Time DC-dynamisk Biasing metoden for veksling Tid Bedring i Alvorlig Underdamped Fringing-feltet Elektro MEMS Aktuatorer
JoVE Journal
Engineering
A subscription to JoVE is required to view this content.  Sign in or start your free trial.
JoVE Journal Engineering
Real-Time DC-dynamic Biasing Method for Switching Time Improvement in Severely Underdamped Fringing-field Electrostatic MEMS Actuators

Real-Time DC-dynamisk Biasing metoden for veksling Tid Bedring i Alvorlig Underdamped Fringing-feltet Elektro MEMS Aktuatorer

DOI:
10.3791/51251-v

•

11:44 min

•

August 15, 2014

•

, , , ,
1Department of Electrical and Computer Engineering,University of California, Davis, 2Digital Light Projection (DLP) Technology Development,Texas Instruments, 3Birck Nanotechnology Center and the Department of Electrical and Computer Engineering,Purdue University

Chapters

  • 00:05Title
  • 01:08Fabrication of Electrostatic Fringing-field Actuated (EFFA) MEMS Fixed-fixed Beams
  • 08:28Experimental Validation of Dynamic Waveform Biasing
  • 10:23Results: Measured Pull-down and Released States of a MEMS Bridge
  • 11:16Conclusion

Summary

Automatic Translation

Automatic Translation

Den robuste enhet utforming av fringing-feltelektro MEMS aktuatorer resultater i iboende lave klemme-film demping forhold og lang settling ganger når du utfører bytte operasjoner ved hjelp av konvensjonelle skritt vekting. Sanntids skiftetid forbedring med DC-dynamiske kurver reduserer innsovningstid av fringing-feltet MEMS aktuatorer når overgangen mellom up-to-ned og down-to-up stater.

Tags

Real-time DC-dynamic BiasingSwitching Time ImprovementUnderdamped Fringing-field Electrostatic MEMS ActuatorsFast Switching OperationSettling TimeTransient Applied Bias WaveformsMechanical Quality FactorSubstrate RemovalReliabilityStictionCharge PumpCMOS ProcessingExperimental ValidationSwitching Time Improvement

Article

Embed

ADD TO PLAYLIST

Usage Statistics

Related Videos

Fabrikasjon Process av silikon-baserte Transformator Elastomer Aktuatorer

Kompakt Lens-mindre Digital Holografisk mikroskop for MEMS inspeksjon og karakterisering

Frihånds Lys Aktuatorer - Fabrikasjon og kontroll av aktivering i Mikroskopisk Scale

Fremstilling av 3D-karbon mikroelektromekaniske systemer (C-MEMS)

Design og karakterisering metodikk for effektiv bredt spekter Tunable MEMS filtre

Vekst og elektrostatiske/kjemiske egenskaper av metall/LaAlO3/SrTiO3 Heterostructures

Fabrikasjon av myke pneumatiske nettverk aktuatorer med skrå Chambers

Optimert tetting forarbeide og virkelig-tid avlytting av glass-å-metallisk sel strukturer

Rask fremstilling av tynne, myke pneumatiske aktuatorer og roboter

In Situ Transmission Electron Mikroskopi med biasing og fabrikasjon av asymmetriske tverrligger basert på blandet faset a-VOx

Read Article