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Réglage des propriétés de l’oxyde par contrôle de la vacance d’oxygène pendant la croissance et le recuit
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Tuning Oxide Properties by Oxygen Vacancy Control During Growth and Annealing
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Réglage des propriétés de l’oxyde par contrôle de la vacance d’oxygène pendant la croissance et le recuit

DOI:
10.3791/58737-v

•

06:44 min

•

June 09, 2023

•

, , , , , ,
1Department of Energy Conversion and Storage,Technical University of Denmark, 2Beijing National Laboratory for Condensed Matter Physics and Institute of Physics,Chinese Academy of Sciences

Chapters

  • 00:05Introduction
  • 00:48Controlling Properties by Varying Growth Conditions
  • 03:26Controlling Properties by Thermal Annealing
  • 04:23Results: Electronic Properties of SrTiO3-Based Heterostructures Tuned by Growth Modifications and Annealing
  • 06:13Conclusion

Summary

Automatic Translation

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Les matériaux oxydés présentent de nombreuses propriétés exotiques qui peuvent être contrôlées en réglant la teneur en oxygène. Ici, nous démontrons l’ajustement de la teneur en oxygène dans les oxydes en faisant varier les paramètres de dépôt laser pulsé et en effectuant un post-recuit. À titre d’exemple, les propriétés électroniques des hétérostructures à base de SrTiO3 sont ajustées par des modifications de croissance et un recuit.

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Keywords: Oxygen VacancyOxide Thin FilmsDefect EngineeringStrontium TitanateSubstrate CleaningSurface TerminationThin Film DepositionGamma Alumina

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