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성장 및 어닐링 중 산소 공극 제어에 의한 산화물 특성 조정
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성장 및 어닐링 중 산소 공극 제어에 의한 산화물 특성 조정

Article DOI: 10.3791/58737-v 06:44 min June 9th, 2023
June 9th, 2023



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산화물 물질은 산소 함량을 조정하여 제어할 수 있는 많은 이국적인 특성을 보여줍니다. 여기에서는 펄스 레이저 증착 매개변수를 변경하고 사후 어닐링을 수행하여 산화물의 산소 함량 조정을 보여줍니다. 예를 들어, SrTiO3 기반 헤테로 구조의 전자적 특성은 성장 변형 및 어닐링에 의해 조정됩니다.


화학 제 196 호 산화물 산소 공공 산화물 계면 전기적 특성 자기 특성 캐리어 밀도 펄스 레이저 증착 어닐링
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