ويقدم هذا البروتوكول إعداد يو2س5 الأغشية الرقيقة التي تم الحصول عليها في عين المكان تحت الفراغ فائقة. وتتضمن العملية الأكسدة والحد من الأفلام2 ثالث أكسيد اليورانيوم مع الأكسجين الذري والهيدروجين الذري، على التوالي.