Journal
/
Chemistry
/
Niobium oxid filmer deponeras genom reaktiv sputtring: effekten av syre flöde
JoVE Journal
Chemistry
A subscription to JoVE is required to view this content.  Sign in or start your free trial.
JoVE Journal Chemistry
Niobium Oxide Films Deposited by Reactive Sputtering: Effect of Oxygen Flow Rate
Please note that all translations are automatically generated. Click here for the English version.

Niobium oxid filmer deponeras genom reaktiv sputtring: effekten av syre flöde

DOI:
10.3791/59929-v

•

08:23 min

•

September 28, 2019

•

, , , , ,
1Chemistry Department,Federal University of São Carlos (UFSCAR), 2Physics Department, School of Sciences,São Paulo State University (UNESP)

Chapters

  • 00:04Title
  • 00:47Niobium Oxide Film Deposition
  • 03:55Solar Cell Construction
  • 05:46Results: The Effects of Oxygen Flow Rates on Reactive Sputtering
  • 07:23Conclusion

Summary

Automatic Translation

Automatic Translation

Här presenterar vi ett protokoll för niob oxid filmer deposition av reaktiv sputtring med olika syre flöden för användning som ett elektrontransport skikt i Perovskit solceller.

Tags

Reactive SputteringNiobium Oxide FilmsOxygen Flow RateThin Film DepositionSubstrate PreparationSputtering Process ParametersFilm ThicknessPlasma CleaningImpedance Matching

Article

Embed

ADD TO PLAYLIST

Usage Statistics

Related Videos

Atomically definierade mallar för epitaxiell tillväxt av Complex Oxide Thin Films

Tillverkning av Stor-området Fristående Ultratunna Polymer Films

Unraveling Entropic Rate Accelerations Inducerad genom lösningsmedels Dynamisk i Membrane Enzymer

Kylningshastighet Beroende ellipsometri Mätningar som Bestäm Dynamisk av tunna glas- Films

Framställning av Makroporösa epitaxiella kvarts filmer Silicon av Chemical Solution Deposition

Upplösning Dynamic Nuclear Polarisering Instrument för Realtids enzymatisk reaktion Rate Mätningar av NMR

Aerosol-assisted kemisk förångningsdeposition av metalloxid strukturer: zinkoxid stavar

Reaktiva förångningsdeposition av konjugerad Polymer filmer på godtyckliga substrat

Solvothermal syntes av MIL-96 och UiO-66-NH2 på atomlager deponeras metalloxid beläggningar på Fiber mattor

Tuning oxidegenskaper genom syrevakanskontroll under tillväxt och glödgning

Read Article