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JoVE Journal Engineering
Herstellung von Nanohöhenkanälen mit Oberflächen-Akustikwellenbetätigung über Lithiumniobat für akustische Nanofluidik
In Vitro Culture of Epicardial Cells From Mouse Embryonic Heart
Journal (Engineering)
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Journal (Engineering)
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Herstellung von Nanohöhenkanälen mit Oberflächen-Akustikwellenbetätigung über Lithiumniobat für akustische Nanofluidik

Article DOI: 10.3791/60648-v • 07:23 min • February 5th, 2020
February 5th, 2020 •
1, 1
1Medically Advanced Devices Laboratory, Center for Medical Devices, Department of Mechanical and Aerospace Engineering, Jacobs School of Engineering, and the Department of Surgery, School of Medicine, University of California San Diego

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Wir demonstrieren die Herstellung von Nanohöhenkanälen mit der Integration von Oberflächen-Akustikwellenbetätigungsgeräten auf Lithiumniobat für akustische Nanofluidik mittels Liftoff-Photolithographie, nano-tiefen reaktiver Ionenätzung und Raumtemperatur-Plasma oberflächenaktivierte Mehrschichtbindung von Einkristall-Lithiumniobat, ein Prozess, der ähnlich nützlich ist, um Lithiumniobat mit Oxiden zu verkleben.

Tags

Engineering Ausgabe 156 Akustofluidik Nanofluidik Nanofabrikation Oberflächenakustikwellen Raumtemperaturbindung Lithiumniobat Plasmaaktivierte Verklebung
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