Engineering
A subscription to JoVE is required to view this content.
You will only be able to see the first 2 minutes.
The JoVE video player is compatible with HTML5 and Adobe Flash. Older browsers that do not support HTML5 and the H.264 video codec will still use a Flash-based video player. We recommend downloading the newest version of Flash here, but we support all versions 10 and above.
If that doesn't help, please let us know.
التسليم الآلي لأهداف Microfabricated لتجارب مكثفة بالليزر
Chapters
Summary January 28th, 2021
Please note that all translations are automatically generated.
Click here for the English version.
يتم تقديم بروتوكول للإشعاع الآلي من رقائق الذهب رقيقة مع نبضات الليزر عالية الكثافة. ويتضمن البروتوكول وصفاً تفصيلياً لعملية تصنيع الأهداف الدقيقة ودليلاً مفصلاً لكيفية تحقيق الأهداف في تركيز الليزر بمعدل 0.2 هرتز.
Transcript
وتجري حاليا تجارب أشعة الليزر المكثفة لأهداف مقياس القياس الفرعي بمعدلات طلقات بطيئة. بروتوكول لدينا حل هذا التحدي من خلال وضع هذه الأهداف بسرعة في بؤرة الليزر بطريقة آلية. نظام هدفنا يتيح جمع البيانات التي تتضمن عددا كبيرا من الطلقات الليزر مع المعلمات الهدف تغيير في زيادات صغيرة، فضلا عن التطبيقات التي تستفيد من جرعة الإشعاع العامة عالية.
سوف تظهر العرض التوضيحي المرئي لهذا البروتوكول التفاصيل الدقيقة لعملية تصنيع الرقاقة والمحاذاة المستهدفة. ومن بين البرهان على عملية تصنيع الأهداف مهندسة العملية نيتري بوركي شاماي ونافار ليفني. لتصنيع المؤخر، استخدم 250 ميكرومتر سميكة 100 ملليمتر قطرها عالية الإجهاد سيليكون رقاقة في تشكيل الكريستال صفر صفر واحد المغلفة على كلا الجانبين مع نيتريد السيليكون.
تنظيف رقاقة مع الأسيتون ومع ايزبروبانول. ثم تدور معطف رقاقة مع HMDS يقاوم لتشكيل طبقة لاصقة. تدور معطف رقاقة مع AZ 1518 photoresist إيجابية.
خبز رقاقة في 100 درجة مئوية لمدة دقيقة واحدة. الضوئية 1، 000 1 000 فتحات مربع ميكرومتر تحت فراغ، وفضح رقاقة في دورة واحدة من أربع إلى سبع ثوان لمصباح الأشعة فوق البنفسجية 400 نانومتر بحيث يتعرض رقاقة لفلوروس الشاملة من 40 جول لكل سنتيمتر مربع. ثم استخدام المطور من الألف إلى الياء 726 لفضح نيتريد السيليكون وحمام من المياه المجففة لوقف هذه العملية.
استخدام مخرّب ايون ردّي لإزالة نتريد السيليكون في موقع المربعات. ضع الرقاقة في حمام NMP لمدة 20 دقيقة لإزالة المقاومة المتبقية وphotoresist ، وإنتاج نسخة طبق الأصل من القناع على طبقة نيتريد السيليكون. ثم يغسل تحت الماء العذب وندعه يجف.
بالوعة رقاقة في 30٪ 90 درجة مئوية هيدروكسيد البوتاسيوم حل لحفر السيليكون من خلال فتحات مربع. لتصنيع الجانب الأمامي، كرر الإجراء الموصوف سابقًا بقناع على شكل ثلاث حلقات متحدة المركز. استخدام الخرّفة الأيونية التفاعلية لإزالة نتريد السيليكون حيث تقع الحلقات، تليها حمام NMP لإزالة بقايا مقاومة وphotoresist.
اخشون حلقات السيليكون عن طريق إغراق الرقاقة في حمض النيتريك وفي محلول من 0.02 نترات الفضة الضروس وأربعة فلوريد الهيدروجين الضرس. على الجانب المحفور من رقاقة، واستخدام آلة ترسب بخار المادية لsputter طبقة من بضع مئات من نانومتر من الذهب على رأس فيلم نانومتر 10 من التيتانيوم اللاصقة، والنيكل، أو الكروم. منع شعاع وتقديم الهدف الأول في عرض تحت مجهر التكبير عالية.
نقطة جهاز استشعار المدى التثليث إلى الحلقة خشنة الأقرب إلى الهدف وتسجيل القراءة النزوح لها. ترك المجهر في مكانها، نقل رقاقة بعيدا لمسح مسار شعاع. استخدم المرايا القابلتين للطي والمرايا المكافئة خارج المحور لمحاذاة الحزمة في طاقة منخفضة في مجال الرؤية للمجهر.
ضبط هذه المرايا الثلاثة لتصحيح الاستجماتيزمات في الشعاع. وينبغي أن تكون النتيجة نقطة محورية محدودة تقريبا. منع شعاع الليزر وجلب الهدف مرة أخرى إلى التركيز من المجهر.
ثم التحقق من موقفها باستخدام المجهر ودقات الاستشعار القراءة. استخدام البرمجيات لتنفيذ ردود فعل حلقة مغلقة بين محور محوري من المتلاعب الهدف ولاستشعار النزوح قراءة باستخدام قيمة النزوح المسجلة سابقا كنقطة. بمجرد أن تصل موضع الحلقة المغلقة إلى مسافة التسامح المرغوبة من نقطة setpoint ، تشعع الهدف بنبض ليزر واحد عالي الطاقة.
سجل البيانات من تشخيص الجسيمات وتكرار العملية مع الهدف التالي التي يتم التركيز عليها من قبل البرنامج. وقد استخدم هذا النظام المستهدف للتسليم لتسريع الأيونات من المؤخر من 600 نانومتر رقائق الذهب سميكة. وتظهر هنا سلسلة زمنية من التشريد المستهدف على محور التركيز.
القيم نسبية إلى نقطة تعيين موضع التنسيق. تشير النقاط الخضراء إلى وقت النزوح المستهدف ضمن قيمة تحملية قدرها ميكرومتر واحد من نقطة تحديد النقطة، وهو عندما تم أخذ لقطة ليزر. تم الحصول على آثار مطياف أيونات مظلي من 14 إشعاع متتالي من 600 من أهداف رقائق الذهب السميكة نانومتر.
وقد استمدت أطياف الطاقة من هذه الآثار. وكان استقرار الذروة إلى الذروة من الطاقة البروتون الأقصى ضمن 10٪ بعد هذا الإجراء، ويمكن إجراء التحقيقات من أيون وتسارع الإلكترون من رقائق صلبة توليد الخلايا العصبية بطريقة منهجية.
Related Videos
You might already have access to this content!
Please enter your Institution or Company email below to check.
has access to
Please create a free JoVE account to get access
Login to access JoVE
Please login to your JoVE account to get access
We use/store this info to ensure you have proper access and that your account is secure. We may use this info to send you notifications about your account, your institutional access, and/or other related products. To learn more about our GDPR policies click here.
If you want more info regarding data storage, please contact gdpr@jove.com.
Please enter your email address so we may send you a link to reset your password.
We use/store this info to ensure you have proper access and that your account is secure. We may use this info to send you notifications about your account, your institutional access, and/or other related products. To learn more about our GDPR policies click here.
If you want more info regarding data storage, please contact gdpr@jove.com.
Your JoVE Unlimited Free Trial
Fill the form to request your free trial.
We use/store this info to ensure you have proper access and that your account is secure. We may use this info to send you notifications about your account, your institutional access, and/or other related products. To learn more about our GDPR policies click here.
If you want more info regarding data storage, please contact gdpr@jove.com.
Thank You!
A JoVE representative will be in touch with you shortly.
Thank You!
You have already requested a trial and a JoVE representative will be in touch with you shortly. If you need immediate assistance, please email us at subscriptions@jove.com.
Thank You!
Please enjoy a free 2-hour trial. In order to begin, please login.
Thank You!
You have unlocked a 2-hour free trial now. All JoVE videos and articles can be accessed for free.
To get started, a verification email has been sent to email@institution.com. Please follow the link in the email to activate your free trial account. If you do not see the message in your inbox, please check your "Spam" folder.
