טכניקת פסיבציה פני נוזל RT לחקור את פעילות רקומבינציה של פגמי סיליקון תפזורת מתוארת. לטכניקה כדי להצליח, שלושה שלבים קריטיים נדרשים: ניקוי (i) כימי ותחריט של סיליקון, (ii) טבילה של סיליקון ב -15% חומצה הידרופלואורית (iii) תאורה 1 דקות.