/
/
Ljus Enhanced fluorvätesyra Passive: En känslig teknik för att upptäcka Bulk Silicon Defekter
A subscription to JoVE is required to view this content. Sign in or start your free trial.
Chapters
- 00:05Title
- 01:02Cleaning and Etching the Silicon Wafers
- 04:08Silicon Wafer Passivation and Photoconductive (PC) Measurement
- 07:08Results: Silicon Wafer Photoconductive Measurement after Surface Passivation
- 08:10Conclusion
En RT vätske ytpassivering teknik för att undersöka rekombinationsaktivitet av bulkkiseldefekter beskrivs. För tekniken för att vara framgångsrik, är tre kritiska steg krävs: (i) kemisk rengöring och etsning av kisel, (ii) nedsänkning av kisel i 15% fluorvätesyra och (iii) belysning för en minut.
