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लाइट बढ़ी Hydrofluoric एसिड Passivation: थोक सिलिकॉन दोष का पता लगाने के लिए एक संवेदनशील तकनीक
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Light Enhanced Hydrofluoric Acid Passivation: A Sensitive Technique for Detecting Bulk Silicon Defects
DOI:

09:15 min

January 04, 2016

Chapters

  • 00:05Title
  • 01:02Cleaning and Etching the Silicon Wafers
  • 04:08Silicon Wafer Passivation and Photoconductive (PC) Measurement
  • 07:08Results: Silicon Wafer Photoconductive Measurement after Surface Passivation
  • 08:10Conclusion

Summary

Automatic Translation

थोक सिलिकॉन दोषों के पुनर्संयोजन गतिविधि की जांच करने के लिए एक आर टी तरल सतह passivation तकनीक में वर्णित है। 1 मिनट के लिए 15% Hydrofluoric एसिड और (iii) रोशनी में (मैं) रासायनिक सफाई और सिलिकॉन की नक़्क़ाशी, सिलिकॉन (ii) विसर्जन: तकनीक सफल होने के लिए, तीन महत्वपूर्ण कदम के लिए आवश्यक हैं।

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