バルクシリコンの欠陥の再結合活性を調べるRT液体表面パッシベーション技術が記載されています。 1分間15%のフッ酸と、(iii)照明(I)において、化学洗浄及びシリコンのエッチング、シリコンの(ii)の浸漬:技術を成功させるには、3つの重要な手順が必要です。