Journal
/
Engineering
/
Rendering SiO2/Si Surfaces Omniphobic by Carving Gas-Entrapping Microtextures Comprising Reentrant og Dobbelt reentrant Kavities eller Søjler
JoVE Journal
Engineering
This content is Free Access.
JoVE Journal Engineering
Rendering SiO2/Si Surfaces Omniphobic by Carving Gas-Entrapping Microtextures Comprising Reentrant and Doubly Reentrant Cavities or Pillars

Rendering SiO2/Si Surfaces Omniphobic by Carving Gas-Entrapping Microtextures Comprising Reentrant og Dobbelt reentrant Kavities eller Søjler

DOI:
10.3791/60403-v

•

08:02 min

•

February 11, 2020

•

, , , , , ,
1Water Desalination and Reuse Center (WDRC), Biological and Environmental Science and Engineering (BESE) Division,King Abdullah University of Science and Technology (KAUST), 2Core Labs,King Abdullah University of Science and Technology (KAUST)

Chapters

  • 00:04Introduction
  • 01:08Cavity Design and Wafer Cleaning
  • 02:17Photolithography
  • 03:15Silica (SiO2) and Silicon (Si) Layer Etching
  • 04:30Thermal Oxide Growth and Etching
  • 06:00Results: Representative Wetting Behaviors of Gas-Entrapping Microtextures (GEMs)
  • 07:08Conclusion

Summary

Automatic Translation

Automatic Translation

Dette arbejde præsenterer mikrofabrikationsprotokoller for at opnå hulrum og søjler med reentrant og dobbelt reentrant profiler på SiO2/ Si wafers ved hjælp af fotolithografi og tør ætsning. Resulterende mikroteksturerede overflader demonstrerebemærkelsesværdige flydende afvisende, karakteriseret ved robust langsigtet fastklemning af luft under befugtning væsker, på trods af den iboende vådhed silica.

Tags

SiO2/Si SurfacesOmniphobicGas-entrapping MicrotexturesReentrant CavitiesDoubly Reentrant CavitiesPillarsPhotolithographyDry EtchingMicrofabricationSilicon WaferThermal OxidePiranha SolutionHexamethyldisilazanePhotoresistSpin CoatingUV Exposure

Article

Embed

ADD TO PLAYLIST

Usage Statistics

Related Videos

Sondering og kortlægning elektrodeoverflader i Solid Oxide Fuel Cells

Fabrication And Characterization Of Photonic Crystal Slow Light Waveguides And Cavities

Fremstilling af Nano-manipuleret ledende gennemsigtige Oxider af Impuls Laser Deposition

High-speed Particle Billede Velocimetri nærheden Surfaces

Enkeltlags Kontakt doping af silicium overflader og nanotråde Brug organophosphorforbindelser

Fremstilling af ensartede nanoskala hulrum via Silicon Direct Wafer Bonding

Kortvarigt felt Baseret Photoacoustics: Optisk Property Evaluering ved Overflader

Udviklingen af ​​Silica Nanopartikel-polyester Belægninger på overflader udsat for sollys

Pool-Kogning Heat-Transfer Enhancement på cylindriske flader med Hybrid Fugtelige Mønstre

En blød Tooling proceskæden for sprøjtestøbning af en 3D komponent med Micro søjler

Read Article