Engineering
This content is Open Access.
Chapters
Summary
Please note that all translations are automatically generated.
Эта работа представляет протоколы микрофабрикации для достижения полостей и столбов с реантентировать и вдвойне reentrant профилей на SiO2/ Si пластин с использованием фотолитографии и сухой травления. В результате микротекстурированные поверхности демонстрируют замечательную жидкое отталкивание, характеризующееся надежным длительным захватом воздуха под смачивающие жидкости, несмотря на внутреннюю влажность кремнезема.