本作品提出了微加工方案,用于使用光刻和干蚀刻在SiO 2/Si晶圆上实现具有可重入和双重入型的腔和柱。产生的微纹理表面表现出显著的液体排斥性,其特点是在润湿液体下对空气进行长期粘固,尽管二氧化硅具有固有的润湿性。