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Herstellung und Charakterisierung von Piezoelektrischen Geräten für Zerstäubung und Akustofluidik
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Engineering
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Fabrication and Characterization of Thickness Mode Piezoelectric Devices for Atomization and Acoustofluidics
DOI:

10:39 min

August 05, 2020

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Chapters

  • 00:04Introduction
  • 01:03Electrical and Mechanical Transducer Contact
  • 01:48Resonance Frequency Identication
  • 02:26Vibration Characterization
  • 04:02Fluid Supply System Fabrication
  • 05:21Dynamics Observation
  • 06:33Droplet Size Measurement
  • 09:01RESULTS: Representative Device Characterization
  • 09:53Conclusion

Summary

Automatic Translation

Die Herstellung von piezoelektrischen Dickenmodus-Wandlern durch Gleichstrom-Sputtern von Plattenelektroden auf Lithiumniobat wird beschrieben. Darüber hinaus wird ein zuverlässiger Betrieb mit einem Messumformerhalter und Flüssigkeitsversorgungssystem erreicht und die Charakterisierung wird durch Impedanzanalyse, Laserdopplervibrometrie, Hochgeschwindigkeits-Bildgebung und Tröpfchengrößenverteilung mittels Laserstreuung demonstriert.

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