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원자화 및 부동 유체학을 위한 두께 모드 압전 장치의 제조 및 특성화
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원자화 및 부동 유체학을 위한 두께 모드 압전 장치의 제조 및 특성화

Article DOI: 10.3791/61015-v 10:39 min August 5th, 2020
August 5th, 2020



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리튬 니오바테상 플레이트 전극의 직류 스퍼터링을 통한 압전 두께 모드 트랜스듀서의 제조가 설명된다. 또한, 트랜스듀서 홀더와 유체 공급 시스템으로 안정적인 작동을 달성하고 특성화는 임피던스 분석, 레이저 도플러 진동, 고속 이미징 및 레이저 산란을 이용한 액적 크기 분포를 통해 입증된다.


공학 문제 162 acoustofluidics 리튬 니오바테 분무 레이저 도플러 진동 고속 이미징 분무기
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