JoVE Journal
Chemistry
Chemistry
A subscription to JoVE is required to view this content.
Chapters
Summary
Please note that all translations are automatically generated.
Este trabajo detalla los procedimientos para el crecimiento y caracterización de SrTiO cristalina 3 directamente sobre sustratos de germanio por deposición de capas atómicas. El procedimiento ilustra la capacidad de un método de crecimiento de todos los productos químicos para integrar óxidos monolíticamente en semiconductores para dispositivos semiconductores de óxido de metal.