Journal
/
Engineering
/
Plasma-Assisted molekylär stråle epitaxy tillväxt av mg3n2 och Zn3n2 tunna filmer
JoVE Journal
Engineering
Author Produced
A subscription to JoVE is required to view this content.  Sign in or start your free trial.
JoVE Journal Engineering
Plasma-Assisted Molecular Beam Epitaxy Growth of Mg3N2 and Zn3N2 Thin Films
Please note that all translations are automatically generated. Click here for the English version.

Plasma-Assisted molekylär stråle epitaxy tillväxt av mg3n2 och Zn3n2 tunna filmer

DOI:
10.3791/59415-v

•

13:05 min

•

May 11, 2019

•

,
1Department of Electrical and Computer Engineering,University of Victoria

Chapters

  • 00:00Title
  • 00:57MgO Substrate Preparation
  • 01:50Operation of VG V80 MBE
  • 02:13Substrate Loading
  • 04:04Metal Flux Measurements
  • 05:59Nitrogen Plasma
  • 06:51In-situ Laser Light Scattering
  • 08:35Growth Rate Determination
  • 09:13Results
  • 10:46Conclusion

Summary

Automatic Translation

Automatic Translation

Denna artikel beskriver tillväxten av epitaxiell filmer av mg3n2 och Zn3n2 på MgO substrat av plasma-Assisted molekylstråle epitaxyen med N2 gas som kvävekälla och optisk tillväxt övervakning.

Tags

Plasma-assisted Molecular Beam EpitaxyMg3N2Zn3N2II-V Compound SemiconductorsAnti-bixbyite Crystal StructureMBE GrowthMgO SubstrateHigh-temperature AnnealingRHEEDQuartz Crystal MicrobalanceSample DegassingSample Transfer

Article

Embed

ADD TO PLAYLIST

Usage Statistics

Related Videos

Molekylär Beam masspektrometri med sökbara Vacuum Ultraviolet (VUV) Synkrotronljusfysik

Speciering och biotillgänglighet Mätningar av miljö Plutonium Använda Diffusion i Thin Films

Plasma-assisterad Molecular Beam epitaxi av N-polära InAlN barriär hög elektron rörlighet transistorer

In Situ Övervakning av den accelererade prestandaförsämring av solceller och moduler: en fallstudie för Cu (i, Ga) Se2 solceller

Fokuserad Ion Beam tillverkning av LiPON-baserade SSD Lithium-ion Nanobatteries för In Situ testning

Tillverkning av ultra-tunn färg filmer med mycket absorberande medier med sned vinkel nedfall

Film kontroll att studera bidrag av vågor till Droplet inverkan Dynamics på tunna flödar flytande filmer

Tillverkning av Schottky dioder på Zn-polar BeMgZnO/ZnO heterostrukturfotoniska odlas av Plasma-assisted molekylärt stråla epitaxyen

Demonstration av lika intensitet stråle generation av dielektriska Metasurfaces

Förfarande för överföring av Polymerfilmer på porösa substrat med minimerade defekter

Read Article