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리튬 니오바테에 표면 음향 파 장치의 제조
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리튬 니오바테에 표면 음향 파 장치의 제조

Article DOI: 10.3791/61013-v 07:55 min
June 18th, 2020


Summary June 18th, 2020

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두 가지 제조 기술, 리프트 오프 및 습식 에칭, 압전 기판에 디지털 전극 변환기를 생산에 설명, 리튬 niobate, 널리 표면 음향 파를 생성하는 데 사용되는 나노 스케일 유체에 마이크로에서 광범위한 유틸리티를 찾는. 생산된 전극은 레일리 표면 음향파를 효율적으로 유도하는 것으로 나타났다.


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