在压电基板上生产数字电极传感器(镍氢锂)时,介绍了两种制造技术,即升降和湿蚀刻,这种传感器广泛用于产生表面声波,现在在微到纳米级流体中具有广泛的效用。作为生产的电极被显示,以有效地诱导兆赫顺序雷利表面声波。