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Fabrication de dispositifs d’ondes acoustiques de surface sur lithium niobate
 

Fabrication de dispositifs d’ondes acoustiques de surface sur lithium niobate

Article doi: 10.3791/61013
June 18th, 2020

Summary June 18th, 2020

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Deux techniques de fabrication, le décollage et la gravure humide, sont décrites dans la production de transducteurs d’électrodes internumériques sur un substrat piézoélectrique, le niobate de lithium, largement utilisé pour générer des ondes acoustiques de surface qui trouvent maintenant une large utilité dans les fluides micro à nanométriques. Les électrodes produites sont montrées pour induire efficacement les mégahertz commandent des ondes acoustiques de surface de Rayleigh.

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